一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器及其制作方法技术

本发明专利技术公开一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器及其制作方法，包括基座、窄带滤光片和四腔标准具，所述基座上设有窄带滤光片和四腔标准具，所述四腔标准具由四腔融石英配合真空镀膜构成，且各腔融石英之间由一层1/4光学厚度的SiO2耦合成四腔结构，所述窄带滤光片匹配所述四腔标准具，所述窄带滤光片由WMS15基片及镀膜构成；本发明专利技术设计成窄带滤光片加四腔标准具组合实现，窄带滤光片通过WMS15基片及镀膜镀膜制备,四腔标准具由四腔融石英配合真空镀膜和键合工艺制作，满足通带10GHz隔离度30dB的间隔小于21GHz，且四腔标准具的滤波输出以自由光谱区为周期的尖顶多峰，应用于波长锁定，能达到双峰及陡峭截止。

【技术实现步骤摘要】
一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器及其制作方法
本专利技术涉及滤波器
，尤其涉及一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器及其制作方法。
技术介绍
在超高精度光纤陀螺仪项目中,要求通带间隔7GHz(0.056nm)双峰插损小于3dB，21Ghz(0.17nm)波段外隔离度大于30dB的超窄带滤波器,能在太空中使用；这就需要用到光学干涉滤波器，它是利用干涉原理，截止不需要或有害的波长光源，仅通过信号光，结构简单，使用方便，广泛使用于光通讯，生物识别，及各种光信号探测领域，这类滤波器大部分是真空镀膜技术，镀制多腔结构的膜系在玻璃基片上实现，目前镀膜技术受监控光源带宽，信号处理能力，膜层折射率稳定性等因素限制，在1550nm波段最窄平顶陡峭滤光片通带只能做到30GHz，另一种是标准具做滤波器，可以做1GHz以下通带的滤波器，通常标准具是单腔结构，无法实现平顶和双峰，未见三腔以上结构的标准具，因此，本专利技术提出一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器及其制作方法以解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器，包括基座(1)、窄带滤光片(2)和四腔标准具(3)，其特征在于：所述基座(1)上设有窄带滤光片(2)和四腔标准具(3)，所述四腔标准具(3)由四腔融石英配合真空镀膜构成，且各腔融石英之间由一层1/4光学厚度的SiO2耦合成四腔结构，所述窄带滤光片(2)匹配所述四腔标准具(3)，所述窄带滤光片(2)由WMS15基片及镀膜构成，所述镀膜由高折射率材料、低折射率材料交替组成。/n

【技术特征摘要】
1.一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器，包括基座(1)、窄带滤光片(2)和四腔标准具(3)，其特征在于：所述基座(1)上设有窄带滤光片(2)和四腔标准具(3)，所述四腔标准具(3)由四腔融石英配合真空镀膜构成，且各腔融石英之间由一层1/4光学厚度的SiO2耦合成四腔结构，所述窄带滤光片(2)匹配所述四腔标准具(3)，所述窄带滤光片(2)由WMS15基片及镀膜构成，所述镀膜由高折射率材料、低折射率材料交替组成。


2.根据权利要求1所述的一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器，其特征在于：所述窄带滤光片(2)抑制所述四腔标准具(3)的傍瓣,且窄带滤光片(2)通带两侧截止区间隔小于两倍的所述四腔标准具(3)的自由光谱区。


3.根据权利要求2所述的一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器，其特征在于：所述四腔标准具(3)的单臂的反射率在50％-90％，单腔的自由光谱区在0.4-1.8nm。


4.根据权利要求1所述的一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器，其特征在于：所述高折射率材料为Ta2O5，TiO2，Nb2O5构成的反射臂，所述低折射率材料为SiO2。


5.一种双峰超窄带陡峭光学干涉滤波器的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：准备融石英基片，将其抛成20×20×0.458(t)mm3大小的基片；
步骤二：设定H代表:Ta2O5的1/4中心波长1550nm的光学厚度，折射...

【专利技术属性】
技术研发人员：王启平，林贤良，彭启荣，颜贻崇，杜冬辉，
申请(专利权)人：腾景科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35