滤光片和近红外线截止滤光片制造技术

本发明专利技术提供光学特性优良的滤光片和近红外线截止滤光片。滤光片(16)具备基板(20)、设置在基板(20)上的光学多层膜(22)、设置在光学多层膜(22)上的整合层(24)、和设置在整合层(24)上且具有含有红外线吸收成分的透明基体的吸收层(26)。整合层(24)抑制由吸收层(26)引起的透射率的强度变动。

【技术实现步骤摘要】
滤光片和近红外线截止滤光片
本专利技术涉及光学设备中所使用的滤光片。特别涉及可作为数字静态照相机及摄像机中使用的CCD(ChargeCoupledDevice：电荷耦合装置)及CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor：互补金属氧化物半导体)等固体摄像元件的可见度校正滤光片而使用的近红外线截止滤光片。
技术介绍
数字静态照相机及摄像机中所使用的CCD及CMOS等固体摄像元件的光谱灵敏度具有与人类的可见度特性相比对近红外区域的光有较强的灵敏度的特点。于是，通常使用可使这些固体摄像元件的光谱灵敏度与人类的可见度特性相一致的可见度校正滤光片。作为这样的可见度校正滤光片，专利文献1中公开了使氟磷酸盐玻璃或磷酸盐玻璃等玻璃中存在Cu2+离子，对光谱特性进行了调整的近红外线截止滤光片玻璃。此外，已知一种近红外线截止滤光片：为了正确地确定透射的波长区域，且使其变锐(日文：シャープ)，在如上所述的近红外线截止滤光片玻璃的表面上设置将多个高折射率层和低折射率层交替层叠而得的光学多层膜，具有使可见光区域的波长(400～600nm)高效地透过、且将近红外区域的波长(700nm)锐截止的优异的特性(例如参照专利文献2)。此外，为了抑制玻璃基板表面的反射并提高透射率，有时也在近红外线截止滤光片玻璃的表面上设置防反射膜。近红外线截止滤光片的情况下，光学多层膜例如通过将由氧化钛、氧化钽、氧化铌等构成的高折射率层和由氧化硅等构成的低折射率层交替层叠在玻璃基板上而形成，通过适当地选择高折射率层和低折射率层的构成材料、厚度、层数等，利用光的干涉使光选择性地透过。此外，作为在可见光区域具有高透明性、并且在近红外线区域具有优良的阻止性能的近红外线截止滤光片，提出了将含有吸收红外线的色素或颜料的树脂吸收层和光学多层膜设置在基板上而得的滤光片(例如参照专利文献3、4)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开平06-16451号公报专利文献2：日本专利特开平02-213803号公报专利文献3：日本专利特开2006-301489号公报专利文献4：国际公开第2014/030628号
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题专利文献3和专利文献4中记载的滤光片具有优良的光学特性。但是，本专利技术人发现，在光学多层膜上设置树脂层的构成可能会对光学特性造成不良影响。在基板或光学多层膜上设置树脂层的情况下，通常采用旋涂、浸涂、印刷等湿式涂布法。采用这些制造方法而形成的树脂层的膜厚虽然存在具有比光学多层膜的膜厚大很多的厚度的树脂层，但多数在数十微米以下，特别是数微米以下的膜厚接近光的波长，从而成为具有光学干涉特性的层。该情况下，在光学多层膜上构成了树脂层的情况下，特别是有可能对光学特性造成预料不到的影响。即，与光学多层膜的膜厚精度相比时，由上述湿式涂布法形成的树脂层的膜厚均匀性及批次间的偏差大，特别是在光学多层膜上存在这样的树脂层的情况下，可知由于光学多层膜的干涉，所设计的光学特性可能会因树脂层的存在而大大地变差。此外，为了得到所需的光学特性而想要改变树脂层的膜厚时，每次都需要重新设计光学多层膜，还存在设计的自由度小的问题。本专利技术是鉴于上述技术问题而完成的，其目的是提供光学特性优良的滤光片及近红外线截止滤光片。解决技术问题所采用的技术方案为了解决上述的技术问题并达到目的，本公开的滤光片具备：基板、设置在上述基板上的光学多层膜、设置在上述光学多层膜上的整合层、和设置在上述整合层上且具有含有近红外线吸收成分的透明基体的吸收层，上述整合层抑制由上述吸收层引起的透射率的强度变动。上述整合层优选由多个的折射率高的高折射率膜和折射率比上述高折射率膜低的低折射率膜层叠而构成，或者由中折射率膜的单层构成，上述高折射率膜在波长500nm处的折射率为1.8以上，上述低折射率膜在波长500nm处的折射率小于1.6，上述中折射率膜在波长500nm处的折射率为1.6以上且小于1.8。在将上述光学多层膜的设计上的中心波长作为中心波长的情况下，当将上述高折射率膜的QWOT记为QH、将上述低折射率膜的QWOT记为QL时，上述整合层从上述基板侧起由(aQLbQHcQL)的三层构成，a和c在0.2以上且小于0.5，b在0.07以上且小于0.5，且优选b＜a。优选还具有设置在上述吸收层上、且抑制入射的可见光区域的波长带的光被上述吸收层反射的辅助整合层。上述吸收层的厚度优选在100nm以上且5000nm以下。上述基板优选是白板玻璃、蓝玻璃和树脂中的任一种。上述光学多层膜优选可见光区域的波长带的光的平均透射率在80％以上，近红外区域的波长带的光的平均透射率在10％以下。为了解决上述的技术问题并达到目的，本公开的近红外线截止滤光片优选具有上述滤光片。专利技术效果根据本专利技术，可提供光学特性优良的滤光片和近红外线截止滤光片。附图说明图1是本实施方式的摄像装置的示意剖视图。图2是本实施方式的滤光片的示意剖视图。图3是表示反射光的状态的示例的示意图。图4是示出实施例1的各膜厚的透射率的值的图。图5是示出比较例1的各膜厚的透射率的值的图。图6是示出实施例2的各膜厚的透射率的值的图。图7是示出实施例3的各膜厚的透射率的值的图。图8是示出比较例2的各膜厚的透射率的值的图。符号说明10摄像装置16滤光片18摄像元件20基板22光学多层膜24整合层26吸收层28辅助整合层30背面层。具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的优选的实施方式进行详细说明。本专利技术并不是由该实施方式来限定，并且，在存在多种实施方式的情况下，还包括将各实施方式组合而构成的专利技术。图1是本实施方式的摄像装置的示意剖视图。如图1所示，本实施方式的摄像装置10具有框体12、透镜14、滤光片16和摄像元件18。框体12是保持透镜14、滤光片16和摄像元件18的构件。透镜14、滤光片16和摄像元件18在框体12内，从光L入射的一侧起，以该顺序设置。从透镜14入射的光L通过滤光片16入射至摄像元件18。滤光片16将从透镜14入射的光L中的规定的波长带的光阻隔、并且使未阻隔的波长带的光透过，并使其入射至摄像元件18。本实施方式中，滤光片16起到使可见光区域的波长带的光透过、且阻隔近红外区域的波长带的光的近红外线截止滤光片的作用。摄像元件18将透过滤光片16而入射的光转换为电信号，并作为图像信号输出。通过由此得到图像信号，摄像装置10对被拍摄物进行摄像。另外，摄像元件18例如是CCD(电荷耦合装置)或CMOS(互补金属氧化物半导体)等固体摄像元件。另外，图1的摄像装置10的构成是一例，摄像装置10只要是从透镜入射的光L通过滤光片16入射至摄像元件18的构成即可。图2是本实施方式的滤光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤光片，其特征在于，具备：/n基板、/n设置在所述基板上的光学多层膜、/n设置在所述光学多层膜上的整合层、和/n设置在所述整合层上且具有含有近红外线吸收成分的透明基体的吸收层，/n所述整合层抑制由所述吸收层引起的透射率的强度变动。/n

【技术特征摘要】
20181228 JP 2018-248621;20191111 JP 2019-2037831.一种滤光片，其特征在于，具备：
基板、
设置在所述基板上的光学多层膜、
设置在所述光学多层膜上的整合层、和
设置在所述整合层上且具有含有近红外线吸收成分的透明基体的吸收层，
所述整合层抑制由所述吸收层引起的透射率的强度变动。


2.如权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述整合层由多个的折射率高的高折射率膜和折射率比所述高折射率膜低的低折射率膜层叠而构成，或者由中折射率膜的单层构成，
所述高折射率膜在波长500nm处的折射率为1.8以上，所述低折射率膜在波长500nm处的折射率小于1.6，所述中折射率膜在波长500nm处的折射率为1.6以上且小于1.8。


3.如权利要求2所述的滤光片，其特征在于，在将所述光学多层膜的设计上的中心波长作为中心波长的情况下...

【专利技术属性】
技术研发人员：馆村满幸，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP