光子集成芯片测试系统探针卡微调装置、耦合装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，包括有垂直设置的第一角度调节机构与第二角度调节机构，所述微调装置可带动设置于所述微调装置上的探针卡在垂直的两个方向实现角度微调。本发明专利技术还提供一种光子集成芯片测试系统探针卡耦合装置，包括有微调装置以及与所述微调装置固定连接的主调节装置，主调节装置可实现对探针卡进行空间上三个方向的位置调整。基于光子集成芯片测试系统探针卡耦合方法，可使得探针卡上每个探针均可良好的接触到光子集成芯片的焊垫或凸块，从而使得测试过程更加稳定，结果更加准确。

【技术实现步骤摘要】
光子集成芯片测试系统探针卡微调装置、耦合装置及方法
本专利技术涉及光子集成芯片测试
，尤其是一种光子集成芯片测试系统探针卡微调装置、耦合装置及方法。
技术介绍
随着网络升级压力的增加和绿色减排呼声的日益增强，运营商不仅需要以较低的成本实现网络的升级，更需要付出更少的能耗代价。与电子集成电路技术类似，光子集成电路技术的逐渐成熟必将会引起光信息
的又一次革命。包括光子器件和微电路的半导体芯片被称为“光子集成芯片”，这些光子器件被配置为通过光传输来中继信号。为确保制造质量和性能，在被封装且运送到客户处并安装在各种电子系统中之前，必须对每个光子集成芯片进行测试以便评估其功能，保证其不是有缺陷的。为了执行测试，生产厂家大多通过探针卡耦合的技术手段来实现测试效果，探针卡用作测试仪和芯片之间的接口，探针卡的探针可以与芯片上的焊垫或凸块接触，在测试期间，通过探针尖端的机械摩擦动作来摩擦焊垫或凸块，这样，可以实现测试仪与要测试的芯片之间的测试信号的交换。在测试过程中，只有保证探针尖端与芯片上的焊垫或凸块的接触稳定才能保证测试的稳定及其结果的准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，其特征在于：所述微调装置包括有垂直设置的第一角度调节机构(2)与第二角度调节机构(3)，所述微调装置可带动设置于所述微调装置上的探针卡(1)在垂直的两个方向实现角度微调。/n

【技术特征摘要】
1.光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，其特征在于：所述微调装置包括有垂直设置的第一角度调节机构(2)与第二角度调节机构(3)，所述微调装置可带动设置于所述微调装置上的探针卡(1)在垂直的两个方向实现角度微调。


2.根据权利要求1所述的光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，其特征在于：所述第一角度调节机构(2)包括有第一支架(21)与第一旋转架(22)，所述第一旋转架(22)通过第一旋转轴(28)旋转设置于所述第一支架(21)上，所述第一支架(21)的另一端设置有第一微调机构，通过调节所述第一微调机构，带动所述第一旋转架(22)围绕所述第一旋转轴(28)相对于所述第一支架(21)进行旋转。


3.根据权利要求2所述的光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，其特征在于：所述第一旋转架(22)包括平行设置的第一支杆(24)、第二支杆(25)和第三支杆(23)；所述第三支杆(23)通过第一旋转轴(28)旋转设置于所述第一支架(21)上，所述第一支杆(24)上设置有第一微调机构。


4.根据权利要求3所述的光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，其特征在于：所述第一微调机构包括第一旋钮(26)和第一弹簧(27)，所述第一旋钮(26)穿过第一支杆(24)与第一支架(21)螺接，第一弹簧(27)套装于第一旋钮(26)上并设置于第一支杆(24)与第一支架(21)之间。


5.根据权利要求3所述的光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，其特征在于：所述第二角度调节机构(3)包括有第二旋转架(31)，所述第二旋转架(31)通过一第二旋转轴(32)旋转设置于第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李静婷，赵复生，赵俊洋，
申请(专利权)人：天津蓝鳍科技有限公司，纤瑟天津新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12