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本发明提供一种光子集成芯片测试系统探针卡微调装置，包括有垂直设置的第一角度调节机构与第二角度调节机构，所述微调装置可带动设置于所述微调装置上的探针卡在垂直的两个方向实现角度微调。本发明还提供一种光子集成芯片测试系统探针卡耦合装置，包括有微调...该专利属于天津蓝鳍科技有限公司;纤瑟(天津)新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津蓝鳍科技有限公司;纤瑟(天津)新材料科技有限公司授权不得商用。