基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器技术

本发明专利技术提供基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器，基板收纳容器(1)的成形方法具有：容器主体成形工序，在具有定模(M2)和动模(M1)的模具(M)的内部的成形空间(M0)中，在正交于通过容器主体(2)的开口周缘部(28)的端缘整个周向的平面(P1)的方向(P2)相对于作为动模(M1)相对于定模(M2)的移动方向的水平方向(L1)，向成规定的角度(a2)的方向倾斜的状态下，对容器主体(2)进行成形；以及拉拔工序，使动模(M1)以从定模(M2)后退的方式移动，从动模(M1)拔出在成形空间(M0)中成形的容器主体(2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器
本专利技术涉及对由半导体晶片等构成的基板进行收纳、保管、输送、运输等时使用的基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器。
技术介绍
作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并在工厂内的工序中进行输送的基板收纳容器以往公知一种包括容器主体和盖体的结构的(例如参照专利文献1～专利文献4)。容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于开口周缘部装拆，并且能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部。盖体未封闭容器主体开口部时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承多个基板的边缘部。在盖体的部分、且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分设置有前部保持构件。由盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。此外，以与前部保持构件成对的方式在壁部设置有后侧基板支承部。后侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。由盖体封闭容器主体开口部时，后侧基板支承部与前部保持构件协同动作来支承多个基板，由此在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下保持多个基板。现有技术文献专利文献1：日本专利公开公报特开2016-186967号专利文献2：日本专利公报4584023号专利文献3：日本专利公报4030280号专利文献4：日本专利公报4150465号在以往的基板收纳容器中，需要相对于侧方基板支承部在X、Y、Z方向的各方向上将基板承载于精密的位置。这是因为在对基板进行各种处理来制作成半导体芯片的过程中，通过装置基板频繁地进出基板收纳容器，此时为了防止基板的破损、擦伤等。因此，一般来说，在承载基板的侧方基板支承部的上表面的部分即与基板接触的部分设置有突起，为了通过突起进行基板的精密的位置调整并成为相对于基板的最小的接触面积，突起具有与基板的外周点接触或线接触数毫米的形状。通过注塑成形来成形并制造基板收纳容器。并且，为了形成所述突起，需要在对基板收纳容器进行成形的模具的对侧方基板支承部进行成形的部分刻有成为突起的形状的部分。但是，以往，相对于未将侧方基板支承部一体成形于容器主体的情况，在想要将侧方基板支承部一体成形于容器主体的内表面的情况下，从模具对容器主体进行脱模时，突起成为底切。因此，在一体成形的情况下需要在模具上设置滑动结构。如果在模具上设置滑动结构，则模具的工作动作变得复杂，为了防止模具破损而需要降低动作速度。其结果，产生成形周期变长而生产效率下降的问题。此外，由于模具的结构复杂，所以难以为了吸收熔化树脂的热量而将使冷却水在模具内循环的模具的冷却回路以最佳回路设置在最佳的位置，从而产生冷却时间延长的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供基板收纳容器的成形方法、模具和基板收纳容器，不在模具上设置滑动结构而能够将容器主体和侧方基板支承部一体成形。本专利技术涉及一种基板收纳容器的成形方法，所述基板收纳容器包括：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，所述基板收纳容器的成形方法的特征在于具有：容器主体成形工序，在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形；以及拉拔工序，使所述动模以从所述定模后退的方式移动，从所述动模拔出在所述成形空间中成形的所述容器主体。此外，优选的是，所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，在所述容器主体成形工序中成形并位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。此外，优选的是，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。此外，本专利技术还涉及一种对基板收纳容器进行成形的模具，所述基板收纳容器包括：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，所述模具的特征在于具有：定模；动模，能够相对于所述定模移动；以及成形空间，是由所述定模和所述动模形成的模具内部的成形空间，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形。此外，优选的是，所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。此外，优选的是，所述规定的角度为0.1°以上、1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳容器的成形方法，/n所述基板收纳容器包括：/n容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；/n盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及/n侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，/n所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，/n所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，/n所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，/n所述基板收纳容器的成形方法的特征在于具有：/n容器主体成形工序，在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形；以及/n拉拔工序，使所述动模以从所述定模后退的方式移动，从所述动模拔出在所述成形空间中成形的所述容器主体。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板收纳容器的成形方法，
所述基板收纳容器包括：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及
侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，
所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，
所述侧方基板支承部的上表面具有在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触的基板接触部，
所述基板接触部具有凸块，所述凸块的顶部在支承所述基板的边缘部时与所述基板接触，所述容器主体和所述侧方基板支承部一体成形，
所述基板收纳容器的成形方法的特征在于具有：
容器主体成形工序，在具有定模和动模的模具的内部的成形空间中，在正交于通过所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向相对于作为所述动模相对于所述定模的移动方向的水平方向，向成规定的角度的方向倾斜的状态下，对所述容器主体进行成形；以及
拉拔工序，使所述动模以从所述定模后退的方式移动，从所述动模拔出在所述成形空间中成形的所述容器主体。


2.根据权利要求1所述的基板收纳容器的成形方法，其特征在于，
所述凸块的所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部侧和所述容器主体的另一端部侧分别由作为平坦面的一端部侧斜面和另一端部侧斜面构成，
在所述容器主体成形工序中成形并位于所述成形空间的所述容器主体中的所述凸块的所述另一端部侧斜面以水平方向为基准倾斜的方向与正交于通过位于所述成形空间的所述容器主体的开口周缘部的端缘整个周向的平面的方向以水平方向为基准倾斜的方向，向将水平方向作为边界线的相同侧倾斜。


3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器的成形方法，其特征在于，所述规定的角度为0.1°以上、1°以下。


4.一种模具，用于对基板收纳容器进行成形，
所述基板收纳容器包括：
容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有开口周缘部，所述开口周缘部形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部装拆，能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及
侧方基板支承部，以在所述基板收纳空间内成对的方式一体成形地设置于所述容器主体，在所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，能够在使所述多个基板中相邻的基板彼此以规定的间隔分离而并列的状态下支承所述多个基板的边缘部，
所述侧方基板支承部形成为具有沿连接所述容器主体的一端部的所述容器主体开口部和所述容器主体的相对于所述一端部的另一端部的方向延伸的上表面和下表面的板状，
所述侧方基板支承部的上表...

【专利技术属性】
技术研发人员：松鸟千明，
申请(专利权)人：未来儿股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP