一种非接触式超声清洗装置移动导轨制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及清洗机械设备领域，具体涉及到一种非接触式超声清洗装置移动导轨。其包括支架、横向支撑板、纵向支撑板、纵向移动板和支撑杆；所述横向支撑板两端设置有所述支架，所述移动导轨平行设置有两个横向支撑板；所述纵向支撑板两端设置在平行设置的两个横向支撑板上；所述纵向移动板的一端竖直向下设置有支撑杆；所述纵向移动板设置在纵向支撑板上。

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式超声清洗装置移动导轨
本技术涉及清洗机械设备领域，具体涉及到一种非接触式超声清洗装置移动导轨。
技术介绍
光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上(通常到所述衬底的目标位置上)的机器。而这种光刻机等设备(如浸没式光刻机)的投影隔水罩，以及硅片晶元平台等经常与带有光刻胶的硅片接触，带来投影隔水罩脏污，硅片台上有颗粒物导致硅片畸变等问题，导致高精度设备的作业精度、硅片的处理工艺等受到较严重的影响。因此需要对该经常与光刻胶等接触的，容易被污染的特殊部件进行清洗。现有技术中对此类设备的清洗主要是采用大理石打磨或者整个部件浸泡清洗，费时费力，效率比较低而且由于大理石打磨采用的是接触式清理，因而存在损坏部件的风险。因此需要设置一种能够避免与光刻设备直接接触，但又能高度清洗光刻设备，操作简单，安全的清洗装置，但是这种设备出了需要避免与光刻设备直接接触之外，还能在被清洗物表面自由移动，清洗被清洗物的整个表面，同时还能避开硅片晶元表面的易泄漏清洗液的凹点，否则不能充分的清洗硅片晶元等物品，还会因为清洗液的泄漏等带来浪费、污染和安全问题。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术提供了一种非接触式超声清洗装置移动导轨，其包括支架、横向支撑板、纵向支撑板、纵向移动板和支撑杆；所述横向支撑板两端设置有所述支架，所述移动导轨平行设置有两个横向支撑板；所述纵向支撑板两端设置在平行设置的两个横向支撑板上；所述纵向移动板的一端竖直向下设置有支撑杆；所述纵向移动板设置在纵向支撑板上。作为一种优选的技术方案，所述纵向支撑板两端设置有第一微型电机。作为一种优选的技术方案，所述第一微型电机上设置有横向移动轮。作为一种优选的技术方案，所述纵向移动板底部设置有第二微型电机。作为一种优选的技术方案，所述第二微型电机上设置有纵向移动轮。作为一种优选的技术方案，所述支撑杆下端设置有电动推杆。作为一种优选的技术方案，所述非接触式超声清洗装置移动导轨还包括控制系统，所述控制系统与电动推杆、第一微型电机和第二微型电机通讯连接。有益效果：本技术中的非接触式超声清洗装置移动导轨中利用纵向支撑板两端的横向移动轮，带动支撑杆在被清洗物水平面上横向移动，而由于纵向支撑板上的纵向移动板通过其底部的纵向移动轮，带动支撑杆在被清洗物表面发生纵向移动，而当支撑杆底部连接清洗装置时，能够带动清洗装置在被清洗物表面横向纵向自由移动，使清洗装置清洗区域覆盖整个被清洗部件的表面。其中通过设置在纵向支撑杆两端和纵向移动板底部的微型电机控制清洗装置的移动速度，利用支撑杆底部的电动推杆来控制清洗装置的上下高度，从而有助于避开被清洗物表面的特定区域。而且，用控制系统自动化控制上述微型电机和电动推杆，协同其运行速度来达到完美控制清洗装置对被清洗物的充分清洗。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术中非接触式超声清洗装置移动导轨结构示意图。其中：1-支架、2-横向支撑板、3-纵向支撑板、4-纵向移动板、5-纵向移动轮、6-支撑杆、7-电动推杆、8-横向移动轮、9-第一微型电机、10-第二微型电机。具体实施方式参选以下本技术的优选实施方法的详述以及包括的实施例可更容易地理解本技术的内容。除非另有限定，本文使用的所有技术以及科学术语具有与本技术所属领域普通技术人员通常理解的相同的含义。当存在矛盾时，以本说明书中的定义为准。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中央”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。针对上述技术问题，本技术提供了一种非接触式超声清洗装置移动导轨，其包括支架、横向支撑板、纵向支撑板、纵向移动板和支撑杆；所述横向支撑板两端设置有所述支架，所述移动导轨平行设置有两个横向支撑板；所述纵向支撑板两端设置在平行设置的两个横向支撑板上；所述纵向移动板的一端竖直向下设置有支撑杆；所述纵向移动板设置在纵向支撑板上。本技术中纵向支撑板两端活动设置在平行设置的两个横向支撑板上，可以沿着平行的两个横向支撑板横向移动。对纵向支撑板在横向支撑板上的移动方式不做特殊限定，可以采用卡槽式导轨移动，即在横向支撑板上设置横向凹槽，在纵向支撑板上固定设置滚动轮，使滚动轮沿着横向凹槽带动纵向支撑板横向移动。也可以通过设置在纵向支撑板底部的滚动条在横向支撑板上横向移动。对其移动的驱动力不做特殊限定，可以采用电动方式，也可以手动方式进行。进一步地，所述纵向支撑板两端设置有第一微型电机；进一步地，所述第一微型电机上设置有横向移动轮。本技术中在纵向支撑板的两端底部设置微型电机，利用设置在微型电机上的横向移动轮，控制微型电机的运行、停止，以及速度等参数，带动纵向支撑板横向移动，而由于竖直向下设置在纵向支撑板的支撑杆上可以连接清洗装置，也即，随着纵向支撑板的移动，可以带动清洗装置横向移动，而且通过微型电机控制其移动速度，达到在横向自由移动，充分洗涤的效果。进一步地，所述纵向移动板底部设置有第二微型电机；进一步地，所述第二微型电机上设置有纵向移动轮。本技术中在纵向移动板底部设置微型电机，利用微型电机上设置的纵向移动轮，带动纵向移动板纵向移动，也即，带动设置在支撑杆上的清洗装置发生纵向移动，通过控制微型电机的运行、停止，以及速度等参数来控制清洗装置在纵向水平面的自由移动。进一步地，所述支撑杆下端设置有电动推杆。本技术中的支撑杆上可选的设置电动推杆，电动推杆的上端与支撑杆固定连接，其下端可以连接清洗装置。通过电动推杆的电机控制推杆的伸缩量，从而有助于控制清洗装置的上下高度，灵活控制清洗状态，有助于减少浪费。进一步地，所述非接触式超本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非接触式超声清洗装置移动导轨，其特征在于，其包括支架、横向支撑板、纵向支撑板、纵向移动板和支撑杆；所述横向支撑板两端设置有所述支架，所述移动导轨平行设置有两个横向支撑板；所述纵向支撑板两端设置在平行设置的两个横向支撑板上；所述纵向移动板的一端竖直向下设置有支撑杆；所述纵向移动板设置在纵向支撑板上。/n

【技术特征摘要】
1.一种非接触式超声清洗装置移动导轨，其特征在于，其包括支架、横向支撑板、纵向支撑板、纵向移动板和支撑杆；所述横向支撑板两端设置有所述支架，所述移动导轨平行设置有两个横向支撑板；所述纵向支撑板两端设置在平行设置的两个横向支撑板上；所述纵向移动板的一端竖直向下设置有支撑杆；所述纵向移动板设置在纵向支撑板上。


2.如权利要求1所述的非接触式超声清洗装置移动导轨，其特征在于，所述纵向支撑板两端设置有第一微型电机。


3.如权利要求2所述的非接触式超声清洗装置移动导轨，其特征在于，所述第一微型电机上设置有横向移动轮。

【专利技术属性】
技术研发人员：岳力挽，毛智彪，顾大公，马潇，许从应，
申请(专利权)人：宁波南大光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33