【技术实现步骤摘要】
一种RBDT动态特性测试装置及测试方法
本专利技术属于功率半导体器件特性测试领域，更具体地，涉及一种RBDT动态特性测试装置及测试方法。
技术介绍
脉冲功率技术是指在较长的时间内存储起来，然后通过开通器件将储存起来的能量在很短的时间内释放到负载上，产生高功率电脉冲的电物理技术，在高功率微波、核物理技术、污水净化等领域有广泛应用；现有技术中的脉冲功率发生电路的储能方式多以电容储能和电感储能为主。在脉冲功率系统中，常用的一般为气体开关和液体开关，例如火花间隙、闸流管和油浸式开关，这些开关耐压高、通流大，但是工作不稳定，寿命低和工作频率低。随着近年来半导体开关的发展迅速，越来越多的半导体开关被应用到脉冲功率应用上，如电力电子中的晶闸管、绝缘栅双极性晶体管。这些开关工作频率高，工作稳定和寿命长，但是耐压低通流能力较弱。为了适应脉冲功率技术的发展，专门应用于脉冲功率技术的脉冲功率半导体器件也得到进一步的研究，例如RBDT(reverseblockingdiodethyristor，反向阻断晶体管晶闸管)。RBDT是一种...
【技术保护点】
1.一种RBDT动态特性测试装置，其特征在于，包括：Marx发生器，包括待测RBDT的脉冲放电电路，充电器，第一限流电阻，第一二极管；/n其中，所述充电器用于控制对所述Marx发生器和所述脉冲放电电路的充电过程并进行充电；所述Marx发生器串联所述待测RBDT构成环路，用于在所述充电之后向所述待测RBDT输出不同动态特性的触发电压脉冲；所述脉冲放电电路用于当所述待测RBDT在所述触发电压脉冲的触发下开通后进行放电，放电电流流经所述待测RBDT，以进行待测RBDT动态特性分析，所述第一限流电阻和所述第一二极管均设置于所述Marx发生器和所述待测RBDT构成的环路上，所述第一二...
【技术特征摘要】
1.一种RBDT动态特性测试装置，其特征在于，包括：Marx发生器，包括待测RBDT的脉冲放电电路，充电器，第一限流电阻，第一二极管；
其中，所述充电器用于控制对所述Marx发生器和所述脉冲放电电路的充电过程并进行充电；所述Marx发生器串联所述待测RBDT构成环路，用于在所述充电之后向所述待测RBDT输出不同动态特性的触发电压脉冲；所述脉冲放电电路用于当所述待测RBDT在所述触发电压脉冲的触发下开通后进行放电，放电电流流经所述待测RBDT，以进行待测RBDT动态特性分析，所述第一限流电阻和所述第一二极管均设置于所述Marx发生器和所述待测RBDT构成的环路上，所述第一二极管用于防止所述待测RBDT开通前所述脉冲放电电路向所述Marx发生器放电，所述第一限流电阻用于在RBDT开通时避免Marx发生器内部的开关器件流过过大的电流而损坏
所述动态特性包括所述触发电压脉冲的上升速率、幅值和脉宽。
2.根据权利要求1所述的一种RBDT动态特性测试装置，其特征在于，所述Marx发生器包括：第一控制模块，一一对应的n个第一驱动模块、n个第一开关器件和n个第一储能电容，多个第二限流电阻，以及多个第二二极管；
其中，所述第一控制模块用于分别独立地向n个第一驱动模块发送控制信号以驱动n个第一开关器件在对应开通时刻开通；各时刻下，各开通的第一开关器件所对应的第一储能电容之间串联并向所述待测RBDT输出触发电压；
所述多个第二限流电阻用于在所述n个第一开关器件均断开且所述充电器同时向所述n个第一储能电容充电时，限制每个第一储能电容的充电电流；另外在所述充电之后且存在第一开关器件开通时，限制各所述第一储能电容放电，防止开通的第一开关器件因第一储能电容放电电流过大而损坏；所述多个第二二极管用于防止在存在多个第一开关器件开通时该多个第一开关器件所对应的多个第一储能电容之间构成放电环路而影响所述第一控制模块的控制精度。
3.根据权利要求1所述的一种RBDT动态特性测试装置，其特征在于，所述Marx发生器输出的所述触发电压脉冲的脉宽大于所述脉冲放电电路放电所输出的电流脉冲的脉宽。
4.根据权利要求1所述的一种RBDT动态特性测试装置，其特征在于，所述第一限流电阻的阻值基于所述Marx发生器输出...
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