力检测装置以及机器人制造方法及图纸

一种力检测装置，以正交的第一轴线和第二轴线中的所述第一轴线为力的检测轴，其具有：层叠体，依次层叠有第一电极、第一石英板、第二电极、第二石英板、第三电极、第三石英板、第四电极、第四石英板、以及第五电极；以及力检测电路，基于从第二电极输出的电荷和从第四电极输出的电荷，检测第一轴线方向的力，第一石英板的+X方向与第二石英板的+X方向朝向相反方向，第三石英板的+X方向与第四石英板的+X方向朝向相反方向，第二石英板的+X方向与第一轴线的一方向所成的角不同于第四石英板的+X方向与第一轴线的一方向所成的角，第二石英板的+X方向与第二轴线的一方向所成的角等于第四石英板的+X方向与第二轴线的一方向所成的角。

【技术实现步骤摘要】
力检测装置以及机器人
本专利技术涉及力检测装置以及机器人。
技术介绍
作为检测所受到的力的力检测装置，已知有专利文献1中记载的力传感器。专利文献1所记载的力传感器具备：传感器基部；前端部，通过四角锥状的面与该传感器基部连结；保持部，将该前端部预先以一定的力按压并保持在传感器基部；四个接触压传感器，设于传感器基部与前端部的四角锥状的面之间；以及运算处理部，处理来自接触压传感器的信号。上述的力传感器能够检测施加于前端部的垂直方向的力和水平方向的力这两者。专利文献1：日本特开昭61-122539号公报另一方面，在专利文献1中，对接触压传感器的方式没有特别地记载，但近年来，由于具有优异的特性，有时使用了采用了石英压电元件的石英压电传感器。但是，在石英压电元件中，由于从石英输出的电荷较微弱，因此，无法忽视将电荷转换成电压的切换电路的泄漏电流引起的输出漂移的影响。为了减少该输出漂移，例如已知有在石英压电传感器彼此之间计算输出信号的差量的结构。根据该结构，能够抵消输出漂移，从而能够提高力传感器的检测精度。然而，在设有多个石英压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种力检测装置，其特征在于，以正交的第一轴线和第二轴线中的所述第一轴线为力的检测轴，/n所述力检测装置具有：/n层叠体，依次层叠有第一电极、作为Y切割石英板的第一石英板、第二电极、作为Y切割石英板的第二石英板、第三电极、作为Y切割石英板的第三石英板、第四电极、作为Y切割石英板的第四石英板、以及第五电极；以及/n力检测电路，基于从所述第二电极输出的电荷和从所述第四电极输出的电荷，检测所述第一轴线方向的力，/n在将所述Y切割石英板的电轴作为X轴时，所述第一石英板的+X方向与所述第二石英板的+X方向朝向相反方向，所述第三石英板的+X方向与所述第四石英板的+X方向朝向相反方向，所述第二石英板的+X...

【技术特征摘要】
20181226 JP 2018-2434861.一种力检测装置，其特征在于，以正交的第一轴线和第二轴线中的所述第一轴线为力的检测轴，
所述力检测装置具有：
层叠体，依次层叠有第一电极、作为Y切割石英板的第一石英板、第二电极、作为Y切割石英板的第二石英板、第三电极、作为Y切割石英板的第三石英板、第四电极、作为Y切割石英板的第四石英板、以及第五电极；以及
力检测电路，基于从所述第二电极输出的电荷和从所述第四电极输出的电荷，检测所述第一轴线方向的力，
在将所述Y切割石英板的电轴作为X轴时，所述第一石英板的+X方向与所述第二石英板的+X方向朝向相反方向，所述第三石英板的+X方向与所述第四石英板的+X方向朝向相反方向，所述第二石英板的+X方向与所述第一轴线的一方向所成的角不同于所述第四石英板的+X方向与所述第一轴线的一方向所成的角，所述第二石英板的+X方向与所述第二轴线的一方向所成的角等于所述第四石英板的+X方向与所述第二轴线的一方向所成的角。


2.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，
所述第二石英板的+X方向与所述第二轴线的一方向所成的角、以及所述第四石英板的+X方向与所述第二轴线的一方向所成的角是90°。


3.根据权利要求1所述的力检测装置，其特征在于，
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【专利技术属性】
技术研发人员：神谷俊幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP