一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备制造技术

一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备，涉及芯棒制造领域，激光接收端用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置，包括：底板，其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座；连接柱，其一端垂直设置于所述底板；旋臂，其转动设置于所述连接柱的另一端，所述旋臂安装有激光接收器；当所述旋臂处于第一位置时，所述激光接收器接收到所述激光发射端发射的激光束，且激光束所在的直线是所述旋臂带动激光接收器转动轨迹的切线；VAD工艺设备安装有上述激光接收端；本实用新型专利技术使得激光接收端的调节工作变得操作简便、高效省力且能准确恢复至原位。

An adjustable laser receiver and VaD process equipment

【技术实现步骤摘要】
一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备
本技术涉及芯棒制造领域，具体为一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备。
技术介绍
在用VAD(VaporAxialDeposition，气相轴向沉积法)法在靶棒表面沉积疏松体的过程中，一般需要用激光发射端和激光接收端来确定靶棒的位置。在沉积开始前，通过激光发射端发射的激光束打在靶棒上，另一端激光接收端接收到透过靶棒的激光信号，用以定位靶棒端部初始位置(即靶棒下端头部)；当激光束的位置确定完毕后，将靶棒下端头部调整至被激光束穿过的位置，开始沉积，之后靶棒的疏松体逐渐长大，靶棒被匀速向上提升，保证沉积形成疏松体的下端头部一直处于激光束确定的初始位置。在现有的VAD工艺设备中，激光发射端位于沉积腔内侧，在设备安装时即将激光发射端的激光束调整至预定位置，然后固定不动；激光接收端位于沉积腔外侧，且其所在位置与设备仓门的开启和关闭均会发生干涉，每次沉积开始前或结束后均需移动激光接收端。该激光接收端存在以下缺陷：1、在关闭仓门之后，需将激光接收端准确恢复至原来的位置；如果在这一过程中，激光接收端的位置发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节的激光接收端，用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置，其特征在于，包括：/n底板(4)，其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座；/n连接柱(3)，其一端垂直设置于所述底板(4)；/n旋臂(1)，其转动设置于所述连接柱(3)的另一端，所述旋臂(1)安装有激光接收器(6)；当所述旋臂(1)处于第一位置时，所述激光接收器(6)接收到所述激光发射端发射的激光束，且激光束所在的直线是所述旋臂(1)带动激光接收器(6)转动轨迹的切线。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调节的激光接收端，用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置，其特征在于，包括：
底板(4)，其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座；
连接柱(3)，其一端垂直设置于所述底板(4)；
旋臂(1)，其转动设置于所述连接柱(3)的另一端，所述旋臂(1)安装有激光接收器(6)；当所述旋臂(1)处于第一位置时，所述激光接收器(6)接收到所述激光发射端发射的激光束，且激光束所在的直线是所述旋臂(1)带动激光接收器(6)转动轨迹的切线。


2.如权利要求1所述的一种可调节的激光接收端，其特征在于：所述旋臂(1)包含卡座(11)和伸缩臂(12)，所述卡座(11)的一端可转动连接于所述连接柱(3)，另一端开设矩形开口；所述伸缩臂(12)的一端伸缩设置于所述矩形开口中，另一端的侧部设置有激光接收器(6)。


3.如权利要求2所述的一种可调节的激光接收端，其特征在于：所述卡座(11)开设有一对以上的圆弧形槽(8)，每对圆弧形槽(8)位于同一个圆周上，不同的圆周圆心相同；每个圆弧形槽(8)对应设置一个旋钮(2)，所述旋钮(2)穿过所述圆弧形槽(8)与连接柱(3)螺纹连接；当旋钮(2)拧紧时，旋臂(1)相对于连接柱(3)固定；当旋钮(2)拧松时，旋臂(1)相对于连接柱(3)转动。


4.如权利要求3所述的一种可调节的激光接收端，其特征在于：所述连接柱(3)上还固定安装有一个用于限位的销轴(7)，所述销轴(7)穿设在其中一个所述圆弧形槽(8)中；...

【专利技术属性】
技术研发人员：张亮，甘发勇，沈文义，邹鑫鹏，
申请(专利权)人：武汉智纤科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42