【技术实现步骤摘要】
一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用系统
本专利技术属于光纤预制棒制备
，更具体地，涉及一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用系统。
技术介绍
随着科技的发展，光纤材料在通讯、工业加工、军事、医疗、航天等领域的应用取得巨大的成功。其中尤以二氧化硅光纤的应用最为广泛。光纤预制棒作为光纤的基体材料，成分为高纯的二氧化硅及共掺剂。目前制备光纤预制棒的方法为气相沉积法，主要是MCVD、PCVD、OVD、VAD四种制备方法。其沉积原理是将高纯O2、高纯He、高纯SiCl4、高纯GeCl4、高纯POCl3、高纯Cl2（纯度都在99.999%）等工艺气体输送至沉积区域在加热条件下发生化学反应生成高纯的SiO2、GeO2、P2O5等物质。其中He以其高导热性用于沉积时使衬管内的温度分布均匀，有利于提高光纤预制棒的品质；O2作为反应气体，为了使反应充分进行以及维持管内合适的压力，通常相对于反应来说都是过量的。所以在反应的尾端存在大量的粉尘、尾气和热量，其中粉尘主要以SiO2、GeO2、P2O5等颗粒为主，尾气则主要为O2、He、Cl2...
【技术保护点】
1.一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用装置，其特征在于，所述装置包括泵端输气装置、粉尘余热收集装置、过滤网、脱水除尘装置、第一气体过滤器、真空发生器、气体缓存罐、气体分离装置、Cl2存储罐、O2/He存储罐、第一过滤调压装置、第二过滤调压装置，储气罐、检测器、流量计、第二气体过滤器及相应的管道，其中所述泵端输气装置包括依次连接的气柜供气装置、气相沉积设备的气端夹头及密封装置、衬管、气相沉积设备的泵端夹头及密封装置，所述泵端输气装置的出口连接所述粉尘余热收集装置，所述粉尘余热收集装置、过滤网、脱水除尘装置、第一气体过滤器、真空发生器、气体缓存罐、气体分离装置依次连接，气体...
【技术特征摘要】
1.一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用装置，其特征在于，所述装置包括泵端输气装置、粉尘余热收集装置、过滤网、脱水除尘装置、第一气体过滤器、真空发生器、气体缓存罐、气体分离装置、Cl2存储罐、O2/He存储罐、第一过滤调压装置、第二过滤调压装置，储气罐、检测器、流量计、第二气体过滤器及相应的管道，其中所述泵端输气装置包括依次连接的气柜供气装置、气相沉积设备的气端夹头及密封装置、衬管、气相沉积设备的泵端夹头及密封装置，所述泵端输气装置的出口连接所述粉尘余热收集装置，所述粉尘余热收集装置、过滤网、脱水除尘装置、第一气体过滤器、真空发生器、气体缓存罐、气体分离装置依次连接，气体分离装置的第一输出口依次连接O2/He存储罐、第一过滤调压装置、储气罐、检测器、流量计、第二气体过滤器，气体分离装置的第一输出口连接Cl2存储罐、第二过滤调压装置后与所述储气罐连接。
2.根据权利要求1所述的一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用装置，其特征在于，所述粉尘余热收集装置，呈圆柱体状、结构类似于保温瓶，内层选用0.5-1mm的高纯二氧化硅玻璃，外层为金属或非金属材料覆盖的保温层，两者之间为水，通过所述水对尾气中的热量吸收，可以使粉尘在收集装置内的沉积。
3.根据权利要求1所述的一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用装置，其特征在于，所述过滤网依次由规格为10μm、5μm、2μm、0.5μm的过滤网组成。
4.根据权利要求1所述的一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用装置，其特征在于，所述脱水除尘装置对过滤网过来的气体和剩余的少量水份进行脱水处理，并进一步用0.05...
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