温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种气相法制备光纤预制棒的尾气循环利用系统。该系统包含泵端输气密封装置、粉尘余热收集装置、过滤网、脱水除尘装置、气体过滤器、真空发生器、气体存储罐、气体分离装置、Cl2存储罐、O2/He存储罐、过滤调压装置、气体缓存罐、检测器、...
该专利属于黄宏琪所有，仅供学习研究参考，未经过黄宏琪授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。