下载一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备的技术资料

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一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备,涉及芯棒制造领域,激光接收端用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置,包括:底板,其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座;连接柱,其一端垂直设置于所述底板;旋臂,其转动设置于所述连接柱的另一端,所述...
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