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一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备制造技术
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文档序号:24770312
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一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备,涉及芯棒制造领域,激光接收端用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置,包括:底板,其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座;连接柱,其一端垂直设置于所述底板;旋臂,其转动设置于所述连接柱的另一端,所述...
该专利属于武汉智纤科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉智纤科技有限公司授权不得商用。
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