放电灯及照明装置制造方法及图纸

提供放电灯及照明装置，能够使密封管的温度降低，减少对密封管施加的应力，并防止裂纹。一种放电灯，其特征在于，该放电灯具有：放电管；一对密封管，其与放电管的两侧连接设置；以及筒状的防风部件，其覆盖至少一个密封管，在防风部件的至少一部分形成有抑制向密封管反射来自该密封管的辐射热的热反射抑制单元。

Discharge lamp and lighting device

【技术实现步骤摘要】
放电灯及照明装置
本专利技术涉及一种在曝光装置等中利用的放电灯及照明装置，尤其涉及一种短弧型放电灯。
技术介绍
在曝光装置、照明装置等中使用的短弧型放电灯中，在放电期间内，有时电极支撑杆等成为高温而使得密封管成为过热状态。其结果，可能会在密封管内的金属部分与玻璃部分之间的接合部分产生裂纹。为了防止过热状态，对放电灯吹送冷却风。另一方面，当对放电管进行过度冷却时，在点亮开始后不久的时间段中，水银未充分蒸发，发光强度弱。此外，通过使冷却风直接吹到密封管，从而产生高温部分、低温部分，会导致在密封管中产生热应变。由此，为了从点亮开始时起以适当的状况维持密封管的温度，将大致筒状的防风板(适当称为防风筒)配置成覆盖密封管(例如，参照专利文献1)。包含密封管与防风筒之间的距离间隔在内，必须精确地设定防风筒的配置位置，以便控制沿着放电管、密封管的表面的冷却风的流动，适当地维持密封管的温度。例如，在专利文献2中，根据密封管与放电管之间的连接部分的灯形状，将防风筒配置在规定位置，仅使冷却风的一部分在密封管与防风筒之间的间隙流动，在从点亮开始时到稳定点亮状态为止的期间内，有效地对灯进行冷却。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001－135134号公报专利文献2：日本特开2011－70833号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，仅通过设定防风筒的配置位置，不能将密封管维持在适当的温度，密封管可能会成为过热状态。由此，需要在从点亮开始起到稳定点亮状态为止的期间内防止放电管的过冷却，并且在稳定点亮后的连续点亮期间内防止密封管的过热。因此，本专利技术的目的在于提供一种放电灯及照明装置，能够在从点亮开始起到稳定点亮状态为止的期间内防止放电管的过冷却，并且在稳定点亮后的连续点亮期间内防止密封管的过热。用于解决问题的手段本专利技术涉及一种放电灯，其特征在于，所述放电灯具有：放电管；一对密封管，其与放电管的两侧连接设置；以及筒状的防风部件，其覆盖至少一个密封管，在防风部件的至少一部分形成有热反射抑制单元，热反射抑制单元抑制向密封管反射来自密封管的辐射热。此外，本专利技术涉及一种照明装置，其特征在于，该照明装置具有：放电灯，其具有放电管以及与放电管的两侧连接设置的一对密封管；以及筒状的防风部件，其覆盖至少一个密封管，在防风部件的至少一部分形成有热反射抑制单元，热反射抑制单元抑制向密封管反射来自密封管的辐射热。专利技术效果根据至少一个实施方式，在防风筒上形成热反射抑制单元(氧化铝膜处理)，防风筒的辐射率上升，吸收来自密封管的热(抑制热反射)，因此能够降低密封管温度。当降低了密封管的温度时，密封管内的金属部件的温度降低，金属部件膨胀而使得按压密封管的力减小，因此施加给密封管的应力减小，能够防止裂纹。另外，这里描述的效果不一定是限定性的，可以是本说明书中描述的任何效果或与它们不同的效果。附图说明图1为示意性地示出能够应用本专利技术的短弧型放电灯的图。图2为示出本专利技术的一个实施方式的阴极侧的结构的剖视图。标号说明：10···放电灯、11···放电管、12a，12b···密封管、13a，13b···灯座、20···阴极、30···阳极、31···玻璃管、32···玻璃部件、34···金属箔、35，36···金属环(环状部件)、40，50···防风筒(防风部件)、60，70···保温膜(膜)具体实施方式参照附图，对本专利技术的一个实施方式进行说明。图1为示意性地示出一个实施方式即短弧型放电灯的图。短弧型放电灯10为能够在进行图案形成的曝光装置的光源等中使用的放电灯，具有透明的石英玻璃制的放电管(发光管)11。在放电管11中，阴极20、阳极30隔着规定间隔对置地配置。在管球状的放电管11的两侧，石英玻璃制的密封管12a、12b以彼此对置的方式与放电管11一体地形成，密封管12a、12b的两端连接有灯座13a、13b。灯座13a、13b例如通过粉末粘合剂而被固定在密封管12a、12b上。放电灯10沿垂直方向以阳极30成为上侧、阴极20成为下侧的方式配置。在密封管12a、12b的内部，配设有用于支撑金属制的阴极20、阳极30的导电性的电极支撑杆14a、14b，经由环状部件(金属环)、钼等的金属箔分别与导电性的引线棒连接。密封管12a、12b与设置在密封管12a、12b内的玻璃管、玻璃部件等焊接到一起，由此，封入有水银以及稀有气体的放电空间被密封。引线棒与外部的电源部连接，经由金属环、金属箔以及电极支撑杆14a、14b对阴极20、阳极30之间施加电压。当对放电灯10供给了电力时，在电极间产生电弧放电，发出由水银产生的亮线(紫外线)。另外，在放电灯10的周围配置有作为旋转椭圆体的反射镜(聚光镜)(未图示)而构成照明装置。在灯点亮时，从放电灯10发出的光被反射镜反射。反射光会聚于二次焦点，经由未图示的照明光学系统等被引导向照射对象物。例如，在照明装置设置在曝光装置内的情况下，对基板的感光面照射光。进而，在放电灯10的密封管12a侧以及密封管12b侧分别配置有冷却喷嘴，通过来自冷却喷嘴的冷风，在灯点亮期间，对密封管12a和灯座13a、密封管12b和灯座13b分别进行冷却。作为筒状薄板的防风部件的防风筒40以及50是包围密封管12a、12b、并延伸到灯座13a、13b的端部为止的金属筒状部件(在此，为铝)，分别被螺丝紧固到灯座13a、13b上。例如，通过将一对的半圆筒彼此组合，从而构成防风筒40以及50。通过防风筒40、50，来自冷却喷嘴的冷风不会直接吹到密封管12a、12b，防止从点亮开始起到稳定点亮时为止的过冷却，并且使稳定点亮时的密封管12a、12b的温度成为适当的范围。如下所述，在防风筒40、50的至少一部分形成有用于抑制将来自密封管12a、12b的辐射热向其密封管反射的热反射抑制单元。在放电管11与密封管12a、12b之间的接口部分的外表面形成有保温膜60以及70。保温膜60以及70是为了将点亮中的最冷点温度维持得较高而设置的。图2为更详细地示出包括阴极20侧的密封管12a以及灯座13a的结构的剖视图。放电管11以及密封管12a一体地形成，从与密封管12a的接口部分周边开始，以从密封管12a朝向放电管11直径变大的方式形状产生变化。电极支撑杆14a贯穿插入到中空状壁厚的玻璃管31、作为环状部件的内侧金属环35中，进而延伸至筒状的玻璃部件32，而贯穿插入到玻璃部件32中。电极支撑杆14a沿着灯轴上被玻璃管31、金属环35、玻璃部件32所保持。玻璃管31、玻璃部件32与密封管12a的内表面焊接在一起。此外，内侧金属环35设置在玻璃管31与玻璃部件32之间，在玻璃部件32与外侧玻璃管37之间，设置有作为环状部件的外侧金属环36。另外，在玻璃管31与内侧金属环35之间、玻璃部件32与外侧金属环36之间等各部件之间可以设置盘状的圆板箔(未图示)。引线棒33贯穿插入到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放电灯，其特征在于，所述放电灯具有：/n放电管；/n一对密封管，其与所述放电管的两侧连接设置；以及/n筒状的防风部件，其覆盖至少一个所述密封管，/n在所述防风部件的至少一部分形成有热反射抑制单元，该热反射抑制单元抑制向该密封管反射来自所述密封管的辐射热。/n

【技术特征摘要】
20181226 JP 2018-2430341.一种放电灯，其特征在于，所述放电灯具有：
放电管；
一对密封管，其与所述放电管的两侧连接设置；以及
筒状的防风部件，其覆盖至少一个所述密封管，
在所述防风部件的至少一部分形成有热反射抑制单元，该热反射抑制单元抑制向该密封管反射来自所述密封管的辐射热。


2.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，
所述热反射抑制单元至少形成在所述防风部件的与所述密封管对置的面上。


3.根据权利要求1或2所述的放电灯，其特征在于，
利用氧化铝膜形成所述热反射抑制单元。


4.根据权利要求1或2所述的放电灯，其特征在于，
在所述密封管内具有：导电性的电极支撑杆；以及玻璃管，其保持所述电极支撑杆，并与所述密封管焊接在一起，
在所述密封管的表面形成有膜，
在与所述玻璃管对置的区域的至少一部分未形成有所述膜。


5.根据权利要求4所述的放电灯，其特征在于，
所述密封管中还具有导电性的环状部件，该导电性的环状部件与所述电极支撑杆连接，并使沿轴向配设的金属箔与所述电极支撑杆电连接，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：林武弘，细木裕介，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP