一种抛光液的供给装置制造方法及图纸

技术编号:24760138 阅读:15 留言:0更新日期:2020-07-04 10:05
本实用新型专利技术涉及一种抛光液的供给装置,包括储液盒、加压机构和橡胶管道,储液盒内部设有搅拌轴,搅拌轴的两端通过轴承连接储液盒内壁,搅拌轴平行于储液盒的底面。本实用新型专利技术的有益效果是:抛光液储存在储液盒中,为了解决抛光液的沉淀问题,在使用抛光液之前,先启动电机,电机带动搅拌轴转动,搅拌轴上的搅拌叶片对储液盒中的颗粒进行搅拌。之后使抛光液通过橡胶管道输送储液盒,为了提高输送流畅度,搅拌轴通过连杆带动旋转轴的曲轴段转动,转盘随着旋转轴转动,这样流经加压机构的抛光液就会受到加压辊与外壳的挤压而获得压力,从而提高输送流畅度。

A polishing fluid supply device

【技术实现步骤摘要】
一种抛光液的供给装置
本技术涉及抛光液,尤其涉及一种抛光液的供给装置。
技术介绍
抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,抛光液具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能。性能稳定、无毒,对环境无污染等优点。在半导体抛光液中通常具有悬浮颗粒,用来提高抛光效果。但是在抛光液输送过程中,长期静置的抛光液内的颗粒会发生沉淀,并且颗粒也会影响其在管道中的输送。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足,提供一种抛光液的供给装置。本技术是通过以下技术方案予以实现:一种抛光液的供给装置,其特征在于:包括储液盒、加压机构和橡胶管道,所述储液盒内部设有搅拌轴,所述搅拌轴的两端通过轴承连接储液盒内壁,所述搅拌轴平行于储液盒的底面,所述搅拌轴设有搅拌叶片,所述储液盒连接橡胶管道,所述加压机构包括转盘和外壳,所述转盘通过旋转轴连接外壳,所述转盘上设有多个加压辊,多个所述加压辊均匀分布在转盘的边缘,所述外壳设有圆形凹槽,所述橡胶管道通过加压辊和圆形凹槽内壁之间,所述搅拌轴连接电机,所述旋转轴设有曲轴段,所述搅拌轴和曲轴段分别铰接连杆的两端。本技术的有益效果是:抛光液储存在储液盒中,为了解决抛光液的沉淀问题,在使用抛光液之前,先启动电机,电机带动搅拌轴转动,搅拌轴上的搅拌叶片对储液盒中的颗粒进行搅拌。之后使抛光液通过橡胶管道输送储液盒,为了提高输送流畅度,搅拌轴通过连杆带动旋转轴的曲轴段转动,转盘随着旋转轴转动,这样流经加压机构的抛光液就会受到加压辊与外壳的挤压而获得压力,从而提高输送流畅度。附图说明图1示出了本技术的实施例的主视结构示意图。图2示出了本技术的实施例的连杆连接结构示意图。图中:1.储液盒,2.橡胶管道,3.搅拌轴,4.搅拌叶片,5.转盘,6.外壳,7.加压辊,8.圆形凹槽,9.旋转轴,10.曲轴段,11.连杆。具体实施方式为了使本
的技术人员更好地理解本技术的技术方案,下面结合附图和最佳实施例对本技术作进一步的详细说明。如图所示,本技术一种抛光液的供给装置,其特征在于:包括储液盒1、加压机构和橡胶管道2,所述储液盒内部设有搅拌轴3,所述搅拌轴的两端通过轴承连接储液盒内壁,所述搅拌轴平行于储液盒的底面,所述搅拌轴设有搅拌叶片4,所述储液盒连接橡胶管道,所述加压机构包括转盘5和外壳6,所述转盘通过旋转轴9连接外壳,所述转盘上设有多个加压辊7,多个所述加压辊均匀分布在转盘的边缘,所述外壳设有圆形凹槽8,所述橡胶管道通过加压辊和圆形凹槽内壁之间,所述搅拌轴连接电机,所述旋转轴设有曲轴段10,所述搅拌轴和曲轴段分别铰接连杆11的两端。本技术的有益效果是:抛光液储存在储液盒中,为了解决抛光液的沉淀问题,在使用抛光液之前,先启动电机,电机带动搅拌轴转动,搅拌轴上的搅拌叶片对储液盒中的颗粒进行搅拌。之后使抛光液通过橡胶管道输送储液盒,为了提高输送流畅度,搅拌轴通过连杆带动旋转轴的曲轴段转动,转盘随着旋转轴转动,这样流经加压机构的抛光液就会受到加压辊与外壳的挤压而获得压力,从而提高输送流畅度。以上所述仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种抛光液的供给装置,其特征在于:包括储液盒、加压机构和橡胶管道,所述储液盒内部设有搅拌轴,所述搅拌轴的两端通过轴承连接储液盒内壁,所述搅拌轴平行于储液盒的底面,所述搅拌轴设有搅拌叶片,所述储液盒连接橡胶管道,所述加压机构包括转盘和外壳,所述转盘通过旋转轴连接外壳,所述转盘上设有多个加压辊,多个所述加压辊均匀分布在转盘的边缘,所述外壳设有圆形凹槽,所述橡胶管道通过加压辊和圆形凹槽内壁之间,所述搅拌轴连接电机,所述旋转轴设有曲轴段,所述搅拌轴和曲轴段分别铰接连杆的两端。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光液的供给装置,其特征在于:包括储液盒、加压机构和橡胶管道,所述储液盒内部设有搅拌轴,所述搅拌轴的两端通过轴承连接储液盒内壁,所述搅拌轴平行于储液盒的底面,所述搅拌轴设有搅拌叶片,所述储液盒连接橡胶管道,所述加压机构包括转盘和外...

【专利技术属性】
技术研发人员:伊观兰
申请(专利权)人:天津西美科技有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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