使用近场微波的介电谱显微测量制造技术

一种使用近场微波的介电谱显微测量的系统或方法，包括：微波源，可调微波谐振器，探头，微波检测电路，位置装置和介电谱计算电路。微波源生成微波信号施加到可调微波谐振器；调整或固定探头距离被测物目标区域的位置；调谐可调微波谐振器；探头将微波信号施加到被测物目标区域；探测反射微波信号；确定被测物目标区域的介电谱。为研究被测物目标区域微波范围的极化机制提供更为完整，直接和准确的信息。填补了微波介电谱显微测量系统的技术空白。增加温控装置，可进一步提供微波介电温谱显微测量功能。

【技术实现步骤摘要】
使用近场微波的介电谱显微测量
本专利技术涉及一种微波频率下被测物的介电参数频谱显微测量技术，尤其涉及一种基于近场微波的介电谱显微测量系统及方法，属于微波测量

技术介绍
Asami在1994年专利技术了扫描介电显微镜(SDM)。SDM在较宽的频率范围，用三端子电极系统，测量非均匀体系：如生物膜体系，胶体悬浊液以及如胶团、囊泡等分子集合体系的局部介电常数和电导率。SDM工作频率低于100MHz。主要研究低频非均匀体系界面极化。微波是指频率从300MHz到300GHz，波长范围从1m到1mm的电磁波谱。受到阿贝尔衍射现象的限制，远场成像的空间分辨能力只能达到λ/2(λ为电磁波波长)级别。利用传感器探头在目标区域近场内与被测物的电磁相互作用，扫描电容显微镜(SCM)或近场微波扫描显微镜可以突破衍射极限，实现小于λ/2的空间分辨率，在微波频率范围实现高灵敏度材料物性显微分析，特别是局部阻抗测量。这些系统通常工作在单一微波频率附近很窄的频段内，难以对被测物目标区域的极化机制进行分析。椭偏仪的电磁波谱范围为从红外到深紫外。椭偏仪分析本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微波介电谱显微测量系统，其特征在于， 包括微波源（1），可调微波谐振器（2），探头（3），微波检测电路（4），位置装置（5）和介电谱计算电路（6）；/n微波源（1），耦合到可调微波谐振器（2），被配置为产生满足测试采样频率和功率要求的微波信号；/n可调微波谐振器（2），被配置为可调谐微波谐振器的微波网络频率特性；/n探头（3），耦合到可调微波谐振器（2），并且在靠近被测物目标区域的近场中，被配置为将微波信号施加到被测物目标区域；/n微波检测电路（4），被配置为探测来自被测物目标区域的响应于所施加的微波信号的反射微波信号；/n位置装置（5），被配置为调整或固定探头距离被测物目标区域的位置...

【技术特征摘要】
1.一种微波介电谱显微测量系统，其特征在于，包括微波源（1），可调微波谐振器（2），探头（3），微波检测电路（4），位置装置（5）和介电谱计算电路（6）；
微波源（1），耦合到可调微波谐振器（2），被配置为产生满足测试采样频率和功率要求的微波信号；
可调微波谐振器（2），被配置为可调谐微波谐振器的微波网络频率特性；
探头（3），耦合到可调微波谐振器（2），并且在靠近被测物目标区域的近场中，被配置为将微波信号施加到被测物目标区域；
微波检测电路（4），被配置为探测来自被测物目标区域的响应于所施加的微波信号的反射微波信号；
位置装置（5），被配置为调整或固定探头距离被测物目标区域的位置；
介电谱计算电路（6），根据探测到的反射微波信号及探头距离被测物目标区域的位置来确定被测物目标区域的介电谱。


2.一种基于权利要求1所述的微波介电谱显微测量系统，其特征在于，所述微波源（1）提供参考信号输入到微波检测电路（4）。


3.一种基于权利要求1所述的微波介电谱显微测量系统，其特征在于，所述微波检测电路（4）包括微波信号分离装置，微波幅相接收装置。


4.一种基于权利要求3所述的微波介电谱显微测量系统，其特征在于，所述微波信号分离装置包括微波功分器或微波定向耦合器或微波环形器。


5.一种基于权利要求1所述的微波介电谱显微测量系统，其特征在于，所述介电谱计算电路（6）的输入参数包括探头（3）的几何形状和几何尺寸，可调微波谐振器（2）的微波网络频率特性，微波检测电路（4）的微波网络频率特性。


6.一种微波介...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洮，
申请(专利权)人：李赞，
类型：发明
国别省市：上海;31