【技术实现步骤摘要】
一种半离线式等离子体处理设备及其使用方法
本专利技术涉及等离子体处理设备
,具体地说是一种半离线式等离子体处理设备及其使用方法。
技术介绍
等离子体是不同于固体、液体和气体,是物质存在的第四态,等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体技术在众多领域都具有十分显著的优点,在对材料表面进行改性处理方面,具有成本低、无废弃物、无污染等优点;在杀菌消毒方面具有安全性高、无药物残留、灭菌时间短、无环境污染等优点;在对各类污染物(废气、废水)处理方面具有能耗低、效率高、处理流程短、适用范围广等优点。现有生产加工设备多为流水线式的在线加工,如果需要对现有流水线加工的产品进行等离子体处理,则需要对流水线进行改造,一方面,设备改造成本高,另一方面,需要额外的设备放置场地。针对产品加工流水线,企业更需要可以灵活调整工位的等离子体处理设备,避免对现有流水线进行改造,而现有等离子体处理设备多为固定机箱结构,灵活性差,不能适应流水线式的作业生产。如中国专 ...
【技术保护点】
1.一种半离线式等离子体处理设备,其特征在于,包括输送线机架(1)、传输组件(2)、真空腔(3)、运动组件(4)、真空吸盘组件(5)及支撑架(6);/n所述传输组件(2)设置在所述输送线机架(1)上方,所述传输组件(2)用于传输工件托盘(8);/n所述动力组件设置在所述支撑架(6)上方,所述动力组件用于驱动所述真空吸盘组件(5)的上下、左右移动。/n
【技术特征摘要】
1.一种半离线式等离子体处理设备,其特征在于,包括输送线机架(1)、传输组件(2)、真空腔(3)、运动组件(4)、真空吸盘组件(5)及支撑架(6);
所述传输组件(2)设置在所述输送线机架(1)上方,所述传输组件(2)用于传输工件托盘(8);
所述动力组件设置在所述支撑架(6)上方,所述动力组件用于驱动所述真空吸盘组件(5)的上下、左右移动。
2.根据权利要求1所述的半离线式等离子体处理设备,其特征在于,所述真空吸盘组件(5)包括托架(501)、吸盘横支架(502)及真空吸嘴(503),所述吸盘横支架(502)按一定间隔均匀分布在所述托架(501)下端,所述真空吸嘴(503)固定在所述吸盘横支架(502)上。
3.根据权利要求1所述的半离线式等离子体处理设备,其特征在于,所述真空腔(3)包括腔体(301)和上盖(302),所述腔体(301)和上盖(302)通过连杆固定连接;
所述腔体(301)的底部设置有绝缘平板,所述绝缘平板上方设置有正极板(311);所述腔体(301)的四周设置有绝缘条(312)。
4.根据权利要求3所述的半离线式等离子体处理设备,其特征在于,所述正极板(311)上设置有均匀分布的托盘隔条(313),所述托盘隔条(313)用于放置工件托盘(8)。
5.根据权利要求1-4任一项所述的半离线式等离子体处理设备,其特征在于,所述传输组件(2)包括传输架(201)、传输皮带(202)、主动轴、从动轴、传输电机(203),所述传输架(201)上设置有凹槽,所述主动轴、从动轴分别设置在所述凹槽的两端,所述传输皮带(202)设置在所述凹槽内,所述传输电机(203)驱动所述主动轴转动。
6.根据权利要求1-4任一项所述的半离线式等离子体处理设备,其特征在于,所述输送线机架(1)包括第一输送线机架(101)和第二输送线机架(102),所述第一输送线机架(101)和第二输送线机架(102)分别设置在所述真空腔(3)的两侧;
所述传输组件(2)包括第一传输组件(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈文凯,檀靓,刘鑫培,王红卫,
申请(专利权)人:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司,苏州德睿源等离子体研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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