下载一种半离线式等离子体处理设备及其使用方法的技术资料

文档序号:24697672

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本发明涉及一种半离线式等离子体处理设备及使用方法,该处理设备包括输送线机架、传输组件、真空腔、运动组件、真空吸盘组件及支撑架;所述传输组件设置在所述输送线机架上方,所述传输组件用于传输工件托盘;所述动力组件设置在所述支撑架上方,所述动力组件...
该专利属于苏州市奥普斯等离子体科技有限公司;苏州德睿源等离子体研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市奥普斯等离子体科技有限公司;苏州德睿源等离子体研究院有限公司授权不得商用。

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