一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其结构包括安装环、连接管、通口、连接罩、压力盘、密封连接片、抛光盘、第一陶瓷盘、第二陶瓷盘、水管、第一水路和第二水路，该可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘通过选择在不是实心的金属盘内部设置两个水路，两个水路可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。

Pressure plate of polishing machine for controlling the thermal deformation of ceramic plate

【技术实现步骤摘要】
一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘
本技术涉及抛光机
，具体涉及一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘。
技术介绍
抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽(消光)，通常以抛光轮作为抛光工具，抛光轮一般用多层帆布、毛毡或皮革叠制而成，两侧用金属圆板夹紧，其轮缘涂敷由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光剂，需要对进行抛光时需要使用抛光机，压力盘是抛光机内部不可缺少的部件。当加工时，现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘粘贴晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了克服现有技术不足，现提出一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。(二)技术方案本技术通过如下技术方案实现：本技术提出了一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，包括安装环、密封连接片和水管，所述安装环紧密固定在连接管上端，并且连接管内侧开设有通口，所述连接管底部与连接罩进行固定，所述连接罩底部与压力盘进行连接，所述密封连接片上下两端分别与压力盘和抛光盘紧密粘附，所述抛光盘底部分别与第一陶瓷盘和第二陶瓷盘进行固定，所述水管竖直伸入通口内侧，并且水管底部与第一水路和第二水路进行连接，所述第一水路和第二水路紧固在压力盘中部。进一步的，所述安装环外径与连接管相同，并且安装环和连接管相互平行安装。进一步的，所述密封连接片厚度为3mm，并且密封连接片外径是压力盘和抛光盘外径的百分之九十。进一步的，所述压力盘和抛光盘外径相同，并且压力盘和抛光盘厚度相同。进一步的，所述第一陶瓷盘和第二陶瓷盘大小相同，并且第一陶瓷盘和第二陶瓷盘相互平行安装。进一步的，所述水管外径是通口内径的三分之二。进一步的，所述第一水路和第二水路相互交错安装，并且第一水路和第二水路分为上下两层，上水路冷水下水路为热水，上水路连接处为凸反之为凹。(三)有益效果本技术相对于现有技术，具有以下有益效果：通过选择在不是实心的金属盘内部设置两个水路，两个水路可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的主视结构示意图；图3为本技术的压力盘内部俯视结构示意图。图中：安装环-1、连接管-2、通口-3、连接罩-4、压力盘-5、密封连接片-6、抛光盘-7、第一陶瓷盘-8、第二陶瓷盘-9、水管-10、第一水路-11、第二水路-12。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘：包括安装环1、密封连接片6和水管10，安装环1紧密固定在连接管2上端，并且连接管2内侧开设有通口3，连接管2底部与连接罩4进行固定，连接罩4底部与压力盘5进行连接，密封连接片6上下两端分别与压力盘5和抛光盘7紧密粘附，抛光盘7底部分别与第一陶瓷盘8和第二陶瓷盘9进行固定，水管10竖直伸入通口3内侧，并且水管10底部与第一水路11和第二水路12进行连接，第一水路11和第二水路12紧固在压力盘5中部。其中，所述安装环1外径与连接管2相同，并且安装环1和连接管2相互平行安装。其中，所述密封连接片6厚度为3mm，并且密封连接片6外径是压力盘5和抛光盘7外径的百分之九十。其中，所述压力盘5和抛光盘7外径相同，并且压力盘5和抛光盘7厚度相同。其中，所述第一陶瓷盘8和第二陶瓷盘9大小相同，并且第一陶瓷盘8和第二陶瓷盘9相互平行安装。其中，所述水管10外径是通口3内径的三分之二。其中，所述第一水路11和第二水路12相互交错安装，并且第一水路11和第二水路12分为上下两层，上水路冷水下水路为热水，上水路连接处为凸反之为凹。工作原理：首先将安装环1进行安装，抛光盘7抛光时两侧的第一陶瓷盘8和第二陶瓷盘9能够降低温度，同时通过通口3上端的水管10送水至第一压力盘5内部的第一水路11和第二水路12中降低温度，密封连接盘6起到增加密封性的作用，但现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形，可通过选择在不是实心的金属盘内部设置第一水路11和第二水路12来解决问题，第一水路11和第二水路12可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，并且最终达到降温的效果，通过选择在不是实心的金属盘内部设置两个水路，两个水路可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,并且本技术使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其特征在于：包括安装环(1)、密封连接片(6)和水管(10)，所述安装环(1)紧密固定在连接管(2)上端，并且连接管(2)内侧开设有通口(3)，所述连接管(2)底部与连接罩(4)进行固定，所述连接罩(4)底部与压力盘(5)进行连接，所述密封连接片(6)上下两端分别与压力盘(5)和抛光盘(7)紧密粘附，所述抛光盘(7)底部分别与第一陶瓷盘(8)和第二陶瓷盘(9)进行固定，所述水管(10)竖直伸入通口(3)内侧，并且水管(10)底部与第一水路(11)和第二水路(12)进行连接，所述第一水路(11)和第二水路(12)紧固在压力盘(5)中部。/n

【技术特征摘要】
1.一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其特征在于：包括安装环(1)、密封连接片(6)和水管(10)，所述安装环(1)紧密固定在连接管(2)上端，并且连接管(2)内侧开设有通口(3)，所述连接管(2)底部与连接罩(4)进行固定，所述连接罩(4)底部与压力盘(5)进行连接，所述密封连接片(6)上下两端分别与压力盘(5)和抛光盘(7)紧密粘附，所述抛光盘(7)底部分别与第一陶瓷盘(8)和第二陶瓷盘(9)进行固定，所述水管(10)竖直伸入通口(3)内侧，并且水管(10)底部与第一水路(11)和第二水路(12)进行连接，所述第一水路(11)和第二水路(12)紧固在压力盘(5)中部。


2.根据权利要求1所述的一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其特征在于：所述安装环(1)外径与连接管(2)相同，并且安装环(1)和连接管(2)相互平行安装。


3.根据权利要求1所述的一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其特征在于：所述密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永成，
申请(专利权)人：上海致领半导体科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31