一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其包括反应容器和测量组件，反应容器具有至少两个气体进口，每个测量组件的两端分别连接在外部气源与气体进口之间。每个测量组件均包括第一流量计、第一控制阀、第二流量计和第二控制阀，第一流量计的一端与气体进口相连，另一端与外部气源相连，第一控制阀为两个，其中一个第一控制阀设在第一流量计与气体进口之间，另一个第一控制阀设在第一流量计与外部气源之间，第二流量计与第一流量计并联设置，第二控制阀为两个，两个第二控制阀分别设在第二流量计的两端，第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。该管式镀膜装置能够快速的锁定异常流量计，检测速度较快。

A tube type coating device capable of quickly locking abnormal flowmeter

【技术实现步骤摘要】
一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置
本技术涉及光伏设备
，尤其涉及一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置。
技术介绍
管式镀膜装置在镀SiNx(氮化硅)时，在工艺参数未变动情况下出现整舟电池片膜色偏厚或偏薄的异常现象通常是由一般由SiH4(硅烷)流量计或NH3(氨气)流量计实际值与显示值不同步导致，也就是说在工艺参数未变动情况下出现整舟电池片膜色偏厚或偏薄的异常现象是由硅烷流量计或者氨气流量计异常导致的。在现有的管式镀膜装置发生膜色异常时一般采用如下步骤进行甄别：1.异常炉管暂停生产，使用备用流量计分别针对性逐一更换硅烷流量计(标记为M)和氨气流量计(标记为H)，其中M和H优先级相同；2.采用更换M流量计后开机，如果膜色回复正常说明M流量计异常，如果膜色仍然异常，则更换H流量计后膜色恢复正常，则说明H流量计异常或者H流量计与M流量计同时异常，如果需要确认M是否异常需要将二次关机，且M再次装回，再次开机才能够判定。在整个判断过程中需要停机拆卸流量计，且当两个流量计同时异常时需要重复安装和拆卸流量计才能够确认，操作非常复杂，费时费力。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，该管式镀膜装置能够快速的锁定异常流量计，并且在检测的过程中无需反复装拆流量计。为实现上述技术效果，本技术实施例的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置的技术方案如下：一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，包括：反应容器，所述反应容器具有至少两个气体进口；测量组件，所述测量组件为至少两个，每个所述测量组件的两端分别连接在外部气源与所述气体进口之间；每个所述测量组件均包括：第一流量计，所述第一流量计的一端与所述气体进口相连，另一端与所述外部气源相连，第一控制阀，所述第一控制阀为两个，其中一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述气体进口之间，另一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述外部气源之间；第二流量计，所述第二流量计与所述第一流量计并联设置；第二控制阀，所述第二控制阀为两个，两个所述第二控制阀分别设在所述第二流量计的两端，所述第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。在一些实施例中，所述气体进口包括氨气进口和硅烷进口，所述第一流量计包括第一氨气流量计及第一硅烷流量计，所述第一控制阀包括第一氨气控制阀及第一硅烷控制阀；所述第二流量计包括第二氨气流量计及第二硅烷流量计，所述第二控制阀包括第二氨气控制阀及第二硅烷控制阀。在一些具体的实施例中，所述第一氨气流量计与所述氨气进口之间设有氨气调整控制阀，所述第一硅烷流量计与所述硅烷进口之间设有第一硅烷调整控制阀。在一些可选的实施例中，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：吹扫管道，所述吹扫管道与所述第一硅烷流量计并联，所述吹扫管道上设有吹扫控制阀，所述吹扫管道被配置为运输吹扫气体；连接管道，所述连接管道的一端与所述硅烷进口相连，所述连接管道的另一端与所述吹扫管道及所述第一硅烷流量计相连，所述第一硅烷调整控制阀位于所述连接管道的远离所述硅烷进口的一端与所述第一控制阀之间。在一些可选的实施例中，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：分接管道，所述分接管道的一端与所述连接管道相连，所述分接管道分别与所述第一硅烷流量计及所述第二硅烷流量计相连，所述第一硅烷调整控制阀设在所述分接管道上；溢流管道，所述溢流管道的一端与外部收集装置相连，另一端与所述分接管道相连，所述溢流管道上设有沿气体流动方向排布的第二硅烷调整控制阀和溢流控制阀，其中，所述分接管道与所述第一硅烷流量计及所述第二硅烷流量计相连的连接处位于所述第二硅烷调整控制阀和所述第一硅烷调整控制阀之间。在一些更具体的实施例中，所述第一硅烷流量计与外部硅烷源之间设有第一硅烷输送控制阀，所述第二硅烷流量计与所述外部硅烷源之间设有第二硅烷输送控制阀。在一些可选的实施例中，所述第一流量计还包括第一氮气流量计，所述第一控制阀还包括第一氮气控制阀，所述第二流量计还包括第二氮气流量计，所述第二控制阀还包括第二氮气控制阀，所述第一氮气流量计及所述第二氮气流量计的一端与外部氮气源相连，所述第一氮气流量计及所述第二氮气流量计的另一端与所述氨气进口相连。在一些可选的实施例中，所述第一流量计还包括第一一氧化二氮流量计，所述第一控制阀还包括第一一氧化二氮控制阀，所述第二流量计还包括第二一氧化二氮流量计，所述第二控制阀还包括第二一氧化二氮控制阀，所述第一一氧化二氮流量计及所述第二一氧化二氮流量计的一端与外部一氧化二氮源相连，所述第一一氧化二氮流量计及所述第二一氧化二氮流量计的另一端与所述氨气进口相连。在一些可选的实施例中，所述第一控制阀及所述第二控制阀均为手动控制阀。在一些可选的实施例中，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括冷凝管，所述冷凝管为两个，两个所述冷凝管分别设置在所述反应容器的两端，两个所述冷凝管内有设有冷凝水以降低所述反应容器的温度。本实施例的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，由于设置有与第一流量计的两端设置的第一控制阀、和第一流量计并联的第二流量计以及设置在第二流量计两端的第二控制阀，第一流量计和第一控制阀组成的管路与第二流量计和第二控制阀组成的管路构成了镜像管路，实现了在判定异常的过程中无需反复停开机，无需反复拆卸第一流量计，简化了判定过程中的操作，提升了判断效率，减少了产能损失。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明图1是本技术具体实施方式提供的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置的结构示意图。附图标记：1、反应容器；11、气体进口；111、氨气进口；112、硅烷进口；2、氨气测量组件；21、第一氨气流量计；22、第一氨气控制阀；23、第二氨气流量计；24、第二氨气控制阀；25、氨气调整控制阀；3、硅烷测量组件；31、第一硅烷流量计；32、第一硅烷控制阀；33、第二硅烷流量计；34、第二硅烷控制阀；35、第一硅烷调整控制阀；36、第二硅烷调整控制阀；37、第一硅烷输送控制阀；38、第二硅烷输送控制阀；4、氮气测量组件；42、第一氮气流量计；41、第一氮气控制阀；43、第二氮气流量计；44、第二氮气控制阀；45、氮气调整控制阀；5、一氧化二氮测量组件；51、第一一氧化二氮流量计；52、第一一氧化二氮控制阀；53、第二一氧化二氮流量计；54、第二一氧化二氮控制阀；55、一氧化二氮调整控制阀；6、吹扫管道；61、吹扫控制阀；7、连接管道；8、分接管道；9、溢流管道；91、溢流控制阀；10、冷凝管。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中，需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，包括：/n反应容器(1)，所述反应容器(1)具有至少两个气体进口(11)；/n测量组件，所述测量组件为至少两个，每个所述测量组件的两端分别连接在外部气源与所述气体进口(11)之间；/n每个所述测量组件均包括：/n第一流量计，所述第一流量计的一端与所述气体进口(11)相连，另一端与所述外部气源相连，/n第一控制阀，所述第一控制阀为两个，其中一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述气体进口(11)之间，另一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述外部气源之间；/n第二流量计，所述第二流量计与所述第一流量计并联设置；/n第二控制阀，所述第二控制阀为两个，两个所述第二控制阀分别设在所述第二流量计的两端，所述第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，包括：
反应容器(1)，所述反应容器(1)具有至少两个气体进口(11)；
测量组件，所述测量组件为至少两个，每个所述测量组件的两端分别连接在外部气源与所述气体进口(11)之间；
每个所述测量组件均包括：
第一流量计，所述第一流量计的一端与所述气体进口(11)相连，另一端与所述外部气源相连，
第一控制阀，所述第一控制阀为两个，其中一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述气体进口(11)之间，另一个所述第一控制阀设在所述第一流量计与所述外部气源之间；
第二流量计，所述第二流量计与所述第一流量计并联设置；
第二控制阀，所述第二控制阀为两个，两个所述第二控制阀分别设在所述第二流量计的两端，所述第二流量计可拆卸的连接在两个所述第二控制阀之间。


2.根据权利要求1所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述气体进口(11)包括氨气进口(111)和硅烷进口(112)，所述第一流量计包括第一氨气流量计(21)及第一硅烷流量计(31)，所述第一控制阀包括第一氨气控制阀(22)及第一硅烷控制阀(32)；所述第二流量计包括第二氨气流量计(23)及第二硅烷流量计(33)，所述第二控制阀包括第二氨气控制阀(24)及第二硅烷控制阀(34)。


3.根据权利要求2所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述第一氨气流量计(21)与所述氨气进口(111)之间设有氨气调整控制阀(25)，所述第一硅烷流量计(31)与所述硅烷进口(112)之间设有第一硅烷调整控制阀(35)。


4.根据权利要求3所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：
吹扫管道(6)，所述吹扫管道(6)与所述第一硅烷流量计(31)并联，所述吹扫管道(6)上设有吹扫控制阀(61)，所述吹扫管道(6)被配置为运输吹扫气体；
连接管道(7)，所述连接管道(7)的一端与所述硅烷进口(112)相连，所述连接管道(7)的另一端与所述吹扫管道(6)及所述第一硅烷流量计(31)相连，所述第一硅烷调整控制阀(35)位于所述连接管道(7)的远离所述硅烷进口(112)的一端与所述第一硅烷控制阀(32)之间。


5.根据权利要求4所述的能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置，其特征在于，所述能够快速锁定异常流量计的管式镀膜装置还包括：
分接管道(8)，所述分接管道(8...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜长，刘恩华，潘岳林，姜大俊，
申请(专利权)人：盐城阿特斯阳光能源科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32