一种集成式小型晶片甩干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种集成式小型晶片甩干装置，包括驱动底座，所述驱动底座包括转动部，所述转动部连接有旋转底盘，所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘，所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽，所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环，所述晶片盘上以六边形环向外偏置设置有若干环的晶片槽，所述晶片盘设置有接通任意相邻的两个晶片槽的过水槽，所述晶片盘的外圆周设置有与过水槽相通的排水槽，其技术方案要点是，采用集成式的晶片盘结构，晶片槽呈六边形环环均匀分布，一次可装夹多个晶片，通过旋转底盘旋转带动晶片盘旋转，在晶片盘的离心作用下，将晶片上残留的水等脏污沿过水槽向外环甩离晶片盘的中心，并从排水槽向外甩出。

An integrated small chip dryer

【技术实现步骤摘要】
一种集成式小型晶片甩干装置
本技术涉及晶片生产
，更具体地说，它涉及一种集成式小型晶片甩干装置。
技术介绍
晶片打磨和抛光完成后，表面残留有晶片粉末以及水溶液等脏污，需要对晶片进行清洗甩干，现有技术主要采用在离心甩干的方式，利用固定的夹持装置，通过旋转的底座，对单个晶片进行甩干。但是，当需要对小型的晶片进行甩干时，由于晶片小，需要较高的转速才能将其甩干，此外，当晶片数量较多时，效率十分低，且浪费大量时间、电能和人力成本。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种集成式小型晶片甩干装置，其具有能够集成多个晶片，批量甩干的优势。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种集成式小型晶片甩干装置，包括驱动底座，所述驱动底座包括转动部，其特征在于：所述转动部连接有旋转底盘，所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘，所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽，所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环，所述晶片盘上以六边形环向外偏置设置有若干环的晶片槽，所述晶片盘设置有接通任意相邻的两个晶片槽的过水槽，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成式小型晶片甩干装置，包括驱动底座，所述驱动底座包括转动部，其特征在于：所述转动部连接有旋转底盘，所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘，所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽，所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环，所述晶片盘上以六边形环向外偏置设置有若干环的晶片槽，所述晶片盘设置有接通任意相邻的两个晶片槽的过水槽，所述晶片盘的外圆周设置有与过水槽相通的排水槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成式小型晶片甩干装置，包括驱动底座，所述驱动底座包括转动部，其特征在于：所述转动部连接有旋转底盘，所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘，所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽，所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环，所述晶片盘上以六边形环向外偏置设置有若干环的晶片槽，所述晶片盘设置有接通任意相邻的两个晶片槽的过水槽，所述晶片盘的外圆周设置有与过水槽相通的排水槽。


2.根据权利要求1所述的集成式小型晶片甩干装置，其特征在于：每一所述晶片槽底部贯穿设置有第一下水孔。


3.根据权利要求2所述的集成式小型晶片甩干装置，其特征在于：每一所述过水槽底部贯穿设置有第二下水孔。


4.根据权利要求1所述的集成式小型晶片甩干装置，其特征在于：所述晶片盘的中心贯穿设置有中心孔下水孔，所述中心孔下水孔与最内...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢聪，
申请(专利权)人：苏州爱彼光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32