下载一种集成式小型晶片甩干装置的技术资料

文档序号:24640400

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本实用新型公开了一种集成式小型晶片甩干装置,包括驱动底座,所述驱动底座包括转动部,所述转动部连接有旋转底盘,所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘,所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽,所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环,所述晶片盘上以六边形环...
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