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一种集成式小型晶片甩干装置制造方法及图纸
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下载一种集成式小型晶片甩干装置的技术资料
文档序号:24640400
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本实用新型公开了一种集成式小型晶片甩干装置,包括驱动底座,所述驱动底座包括转动部,所述转动部连接有旋转底盘,所述旋转底盘上同轴设置有晶片盘,所述晶片盘关于中心对称设置有六个晶片槽,所述六个晶片槽的中心连线形成六边形环,所述晶片盘上以六边形环...
该专利属于苏州爱彼光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州爱彼光电材料有限公司授权不得商用。
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