一种贴抛光皮装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种贴抛光皮装置，包括机架，其特征在于：所述机架上沿水平方向滑移设置有用于放置抛光盘的滑台，所述机架位于滑台上方转动设置有与滑台平行以用于将抛光皮压在抛光盘上的压辊，所述机架位于压辊上方设置有两个与压辊平行以用于使抛光皮穿过的送料辊，所述机架位于两个送料辊下方平行设置有分离辊，所述分离辊与送料辊之间供背纸片穿过，所述机架上设置有与压辊连接以用于驱动压辊转动的电机，其技术方案要点是，通过将抛光皮放入两个送料辊之间，并将背纸片从送料辊与压辊之间反向穿出，通过拉动背纸片可将抛光皮向下送，使抛光皮的端部进入压辊与抛光盘之间，在压辊的压力下，抛光皮均匀平整的贴附在抛光盘上。

A polishing device

【技术实现步骤摘要】
一种贴抛光皮装置
本技术涉及晶片抛光
，更具体地说，它涉及一种贴抛光皮装置。
技术介绍
晶片抛光是利用化学抛光、机械抛光或化学机械抛光去除晶片表面的机械损伤层并呈镜面的半导体晶片加工的重要工序。化学抛光是利用化学非选择性腐蚀达到表面抛光的目的，晶片表面残留的机械损伤层少但表面状态和几何尺寸的精度较差。机械抛光是靠机械摩擦达到表面抛光目的，易于得到光亮如镜的晶片表面，晶片几何尺寸精度较高，但残留的机械损伤层的深度受抛光种类、粒度粗细的影响。化学机械抛光是使晶片表面与抛光料发生化学反应，生成水溶性化物，并通过受控的机械摩擦把化学反应物擦去，以达到抛光的目的。其中化学机械抛光由于抛光精度、效率高被广泛采用，由于晶片材料相对脆，在抛光的处理过程中应选择较软的抛光皮（布）、较轻的正向压力，以保证不损坏晶片，良好的抛光过程应使化学腐蚀作用与机械摩擦作用趋于平衡，晶片化学机械抛光在专用的抛光机上完成。晶片一般进行单面抛光，操作时，把晶片用石蜡粘贴在载片板上，或用特殊的衬垫靠表面张力效应使晶片吸附在载片板上，加工表面与抛光机的抛光盘接触，抛光盘表面贴有丝绒毛呢、绒面革或聚氨醋类抛光皮，向旋转的抛光盘表面注入一定流量的抛光液，经化学机械加工过程完成晶片的抛光加工。但是，在抛光盘表面贴附抛光皮的过程主要以人工操作为主，在粘贴一些面积较大的抛光皮时，首先需要手动将抛光皮与背纸片分离，然后一侧对准抛光盘边缘，慢慢贴附在抛光盘上，该过程需保证抛光皮均匀平整的贴附在抛光盘上。但是，手动贴皮的方式极易形成空鼓气泡、皱褶和变形，抛光皮越大，越难以操作，且人眼无法完全分辨这些瑕疵，抛光后的晶片的厚度公差、表面平整度均不符合要求，直接导致报废，不紧贴皮效率低，还造成了成本浪费。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种贴抛光皮装置，其就有能够减少人工干预，提升贴皮质量，防止贴皮出现气泡、皱褶和变形等不良因素。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种贴抛光皮装置，包括机架，其特征在于：所述机架上沿水平方向滑移设置有用于放置抛光盘的滑台，所述机架位于滑台上方转动设置有与滑台平行以用于将抛光皮压在抛光盘上的压辊，所述机架位于压辊上方设置有两个与压辊平行以用于使抛光皮穿过的送料辊，所述机架位于两个送料辊下方平行设置有分离辊，所述分离辊与送料辊之间供背纸片穿过，所述机架上设置有与压辊连接以用于驱动压辊转动的电机。优选的，所述压辊的转动方向与位于最上方的送料辊一致，两个所述送料辊转向相反，所述分离辊与所述压辊的转向一致。优选的，所述压辊与分离辊通过传动带连接，所述分离辊与两个送料辊依次通过齿轮啮合。优选的，所述压辊、分离辊的送料辊的线速度相一致。优选的，所述机架转动设置有贴近压辊以用于将抛光皮送至抛光盘的导向辊。优选的，所述机架设置有用于将抛光皮导向至压辊与导向辊之间的导向弯板。优选的，所述压辊上表面包覆有增阻皮。优选的，所述机架上设置有用于定位滑台的标杆。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1、通过将抛光皮放入两个送料辊之间，并将背纸片从送料辊与压辊之间反向穿出，通过拉动背纸片可将抛光皮向下送，使抛光皮的端部进入压辊与抛光盘之间，在压辊的压力下，抛光皮均匀平整的贴附在抛光盘上，并通过摩擦力带动滑台滑动，实现自动贴抛光皮的效果，取代人工贴皮的操作，贴皮效率高，不会发生空鼓气泡、皱褶和变形；2、通过电机带动压辊转动，压辊通过传动带和齿轮带动送料辊和分离辊联动，且线速度均一致，实现自动、稳定分离背纸片、送料、贴皮，无需人力驱动，贴皮更精准，效率更高；3、通过导向弯板和导向辊，便于自动将抛光皮送至抛光盘上，通过增阻皮提升贴皮的摩擦力，防止打滑，通过标杆能够便于定位滑台的初始位置。附图说明图1为本实施例的结构示意图。图中：1、机架；11、导轨；111、滑台；12、压辊；121、增阻皮；122、传动带；13、送料辊；14、分离辊；15、导向辊；16、导向弯板；17、标杆；2、电机；3、抛光盘；4、抛光皮；5、背纸片；6、齿轮。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。一种贴抛光皮4装置，参照图1，其包括机架1，机架1上包括导轨11，导轨11上沿水平方向滑移设置有滑台111，滑台111上具有用于放置抛光盘3的凹槽；机架1位于滑台111上方通过轴承转动设置有压辊12，压辊12与滑台111平行，与抛光盘3之间留有间隙，通过压辊12转动将抛光皮4贴在抛光盘3上，机架1位于压辊12上方通过轴承转动设置有两个送料辊13，两个送料辊13与压辊12平行，用于使抛光皮4穿过，机架1位于两个送料辊13下方通过轴承转动设置有分离辊14，分离辊14与送料辊13平行，分离辊14与送料辊13之间供背纸片5穿过，通过拉动背纸片5进行分离，机架1上设置有与压辊12连接以用于驱动压辊12转动的电机2，通过电机2带动压辊12，将抛光皮4平整的压紧在抛光盘3上，滑台111跟随移动直至贴完整张抛光皮4，抛光皮4平整不鼓泡、不皱褶和变形。压辊12的转动方向与位于最上方的送料辊13一致，两个送料辊13转向相反，分离辊14与压辊12的转向一致。压辊12与分离辊14的中心轴通过传动带122连接，分离辊14与两个送料辊13的中心轴依次通过齿轮6啮合，压辊12、分离辊14的送料辊13的线速度相一致，实现电机2带动各个辊转动，并且线速度保持一致，传动平稳不打滑，实现自动化的贴膜。机架1通过轴承转动设置有导向辊15，导向辊15与压辊12贴近，并平行，用于将抛光皮4的端部送至抛光盘3上；机架1设置有用于将抛光皮4导向至压辊12与导向辊15之间的导向弯板16，用于将抛光皮4顺势送向压辊12与导向辊15之间。压辊12上表面包覆有增阻皮121，增阻皮121为橡胶材质，用于增加摩擦力，防止打滑，机架1上设置有用于定位滑台111的标杆17，便于操作人员定位滑台111，使抛光皮4的端部对准抛光盘3。本实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种贴抛光皮装置，包括机架，其特征在于：所述机架上沿水平方向滑移设置有用于放置抛光盘的滑台，所述机架位于滑台上方转动设置有与滑台平行以用于将抛光皮压在抛光盘上的压辊，所述机架位于压辊上方设置有两个与压辊平行以用于使抛光皮穿过的送料辊，所述机架位于两个送料辊下方平行设置有分离辊，所述分离辊与送料辊之间供背纸片穿过，所述机架上设置有与压辊连接以用于驱动压辊转动的电机。/n

【技术特征摘要】
1.一种贴抛光皮装置，包括机架，其特征在于：所述机架上沿水平方向滑移设置有用于放置抛光盘的滑台，所述机架位于滑台上方转动设置有与滑台平行以用于将抛光皮压在抛光盘上的压辊，所述机架位于压辊上方设置有两个与压辊平行以用于使抛光皮穿过的送料辊，所述机架位于两个送料辊下方平行设置有分离辊，所述分离辊与送料辊之间供背纸片穿过，所述机架上设置有与压辊连接以用于驱动压辊转动的电机。


2.根据权利要求1所述的贴抛光皮装置，其特征在于：所述压辊的转动方向与位于最上方的送料辊一致，两个所述送料辊转向相反，所述分离辊与所述压辊的转向一致。


3.根据权利要求2所述的贴抛光皮装置，其特征在于：所述压辊与分离辊通过传动...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗泽民，
申请(专利权)人：苏州爱彼光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32