载物台测定夹具及涂敷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种载物台测定夹具及涂敷装置。浮起载物台(3)对由搬运往复装置(5)沿规定的搬运方向(D1)搬运的基板(W)施加浮起力。浮起载物台(3)的各上表面(31S～33S)形成有喷出空气的多个孔。载物台测定夹具(8)具有：五个载物台测定器(81)，在搬运宽度方向D2上配置；架桥结构(83)，作为使各载物台测定器(81)与搬运往复装置(5)连接的连接部。各载物台测定器(81)测定浮起载物台(3)的上表面(31S～33S)的铅垂位置。搬运往复装置(5)与架桥结构(83)一起使各载物台测定器(81)沿搬运方向(D1)移动。

Measuring fixture and coating device of loading platform

【技术实现步骤摘要】
载物台测定夹具及涂敷装置
本技术涉及载物台测定夹具以及涂敷装置。作为涂敷装置的处理对象的基板，例如包括半导体基板、液晶显示装置及有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示装置等的FPD(FlatPanelDisplay：平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板及印刷基板等。
技术介绍
在半导体装置、液晶显示装置等电子部件等的制造工序中，使用向基板的表面涂敷涂敷液的涂敷装置。作为这样的涂敷装置，已知具有如下装置：一边在向基板的背面吹送空气而使基板浮起的状态下搬运该基板，一边从沿基板的宽度方向延伸的喷嘴向该基板的表面(相当于基板的主面)喷出涂敷液，来对基板涂敷涂敷液(例如，专利文献1)。在专利文献1所记载的基板处理装置中，一边在浮起载物台上使基板以水平姿势浮起，一边保持基板的周缘部来使基板沿水平方向行进，由此搬运该基板，从配置于基板搬运路径的上方的狭缝喷嘴喷出涂敷液。然而，为了在浮起载物台上精密地搬运基板，要求浮起载物台的上表面是水平的。为了使浮起载物台的上表面水平，以往，使用千分表和激光水准仪等进行调平。具体而言，在浮起载物台中，通过在搬运方向上不同的地点测定铅垂位置，测定浮起载物台的倾斜。专利文献1：日本特开2012-142583号公报然而，以往的调平的操作需要擦作者使用千分表测定各地点的铅垂位置的操作，因此，操作内容变得繁杂。另外，在为了使浮起载物台的倾斜适当化而调整了一部分的铅垂位置的情况下，其周边部分的铅垂位置被变更。因此，存在每当调整一部分时，就再次测定周边的铅垂位置的情况，从而存在操作工时增大的问题。因此，需要一种高效地测定浮起载物台的倾斜的技术。
技术实现思路
因此，本技术的目的在于，提供一种高效地测定浮起载物台的倾斜的技术。为了解决上述问题，第一方式的载物台测定夹具，测定形成有喷出空气的多个孔的铅垂方向向上的上表面的铅垂位置，该上表面是对由搬运往复装置沿规定的搬运方向搬运的基板施加浮起力的浮起载物台所具有的平面，其中，所述载物台测定夹具具有：至少一个载物台测定器，测定所述浮起载物台的所述上表面的铅垂位置；以及连接部，与所述搬运往复装置连接，以能够使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动。第二方式的载物台测定夹具，在第一方式的载物台测定夹具中，所述连接部具有：梁部，在与所述搬运方向正交的搬运宽度方向上延伸，并在所述上表面的上方支撑所述载物台测定器；以及连结件，使所述梁部以能够拆卸的方式与所述搬运往复装置连结。第三方式的载物台测定夹具，在第一方式或第二方式的载物台测定夹具中，作为所述上表面的一部分的对象部分的铅垂位置能够通过设置于浮起载物台的调整机构进行调整，所述载物台测定器设置于能够测定所述对象部分的铅垂位置的位置。第四方式的载物台测定夹具，在第一方式或第二方式的载物台测定夹具中，在与所述搬运方向正交的搬运宽度方向上隔开间隔地设置有多个所述载物台测定器。第五方式的涂敷装置，向基板涂敷处理液，其中，所述涂敷装置具有：搬运往复装置，将基板沿规定的方向搬运；浮起载物台，通过从设置于铅垂向上的上表面的多个孔喷出空气，对所述搬运往复装置沿搬运方向搬运的基板施加浮起力；空气供给部，供给所述空气；至少一个载物台测定器，测定所述上表面的铅垂位置；连接部，与所述搬运往复装置连接，以能够使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动；调整件，对作为所述上表面的一部分的对象部分的铅垂位置进行调整；以及喷嘴，向由所述搬运往复装置沿所述搬运方向搬运的基板喷出处理液。第六方式的载物台测定夹具，测定形成有喷出空气的多个孔的铅垂方向向上的上表面的铅垂位置，该上表面是对沿规定的搬运方向搬运的基板施加浮起力的浮起载物台所具有的平面，其中，所述载物台测定夹具具有：至少一个载物台测定器，测定所述浮起载物台的所述上表面的铅垂位置；以及移动部，使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动。根据第一方式的载物台测定夹具，通过使载物台测定器沿搬运方向移动，能够高效地测定搬运方向上的铅垂位置的分布。因此，能够高效地测定浮起载物台的上表面的倾斜。根据第二方式的载物台测定夹具，能够根据需要将梁部从搬运往复装置卸下。由此，能够抑制梁部与其他构件发生干扰。根据第三方式的载物台测定夹具，能够利用载物台测定器测定能够由调整机构调整铅垂位置的对象部分的铅垂位置。另外，根据测定结果来调整对象部分的铅垂位置，由此，能够高精度地调整浮起载物台的上表面的倾斜。根据第四方式的载物台测定夹具，通过使多个载物台测定器沿搬运方向移动，能够一次测定在搬运宽度方向上不同的各位置的铅垂位置的分布。因此，能够高效地测定浮起载物台的上表面的倾斜。根据第五方式的涂敷装置，通过利用搬运往复装置使载物台测定器沿搬运方向移动，能够高效地测定铅垂位置的分布。根据该测定结果，利用调整件调整上表面的对象部分的铅垂位置，由此，能够高效地修正浮起载物台的上表面的倾斜。根据第六方式的载物台测定夹具，通过使载物台测定器沿搬运方向移动，能够高效地测定搬运方向上的铅垂位置的分布。因此，能够高效地测定浮起载物台的上表面的倾斜。附图说明图1是示意性地表示作为实施方式的基板处理装置的一例的涂敷装置1的整体结构的侧视图。图2是从铅垂方向上侧观察实施方式的涂敷装置1的概略俯视图。图3是表示除去了实施方式的涂敷机构6的涂敷装置1的概略俯视图。图4是沿着图2所示的A-A线的位置的涂敷装置1的概略剖视图。图5是表示实施方式的浮起载物台3的一部分的概略俯视图。图6是表示实施方式的载物台测定夹具8的概略俯视图。图7是表示实施方式的载物台测定夹具8的概略主视图。图8是表示实施方式的载物台测定夹具8的概略俯视图。图9是表示实施方式的控制单元9的概略框图。图10是表示测定及调整浮起载物台3的各上表面31S～33S的铅垂位置的处理流程的图。附图标记的说明：1涂敷装置13调整机构131调平螺栓133支撑板3浮起载物台31入口浮起载物台32涂敷载物台321h喷出口322h吸引口33出口浮起载物台31S、32S、33S上表面31h、33h喷出口35浮起控制机构5搬运往复装置6涂敷机构8载物台测定夹具81载物台测定器83架桥结构831梁部831S侧面832、833支柱部841、843连结件D1搬运方向D2搬运宽度方向W基板具体实施方式以下，参照附图对本技术的实施方式进行说明。此外，该实施方式所记载的结构构件只不过是例示，并不是将本技术的范围仅限定于这些结构构件的意思。在附图中，为了便于理解，有时根据需要夸张或简化各部的尺寸、数量来进行图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载物台测定夹具，测定形成有喷出空气的多个孔的铅垂方向向上的上表面的铅垂位置，该上表面是对由搬运往复装置沿规定的搬运方向搬运的基板施加浮起力的浮起载物台所具有的平面，其中，/n所述载物台测定夹具具有：/n至少一个载物台测定器，测定所述浮起载物台的所述上表面的铅垂位置；以及/n连接部，与所述搬运往复装置连接，以能够使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动。/n

【技术特征摘要】
20180830 JP 2018-1613101.一种载物台测定夹具，测定形成有喷出空气的多个孔的铅垂方向向上的上表面的铅垂位置，该上表面是对由搬运往复装置沿规定的搬运方向搬运的基板施加浮起力的浮起载物台所具有的平面，其中，
所述载物台测定夹具具有：
至少一个载物台测定器，测定所述浮起载物台的所述上表面的铅垂位置；以及
连接部，与所述搬运往复装置连接，以能够使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动。


2.根据权利要求1所述的载物台测定夹具，其中，
所述连接部具有：
梁部，在与所述搬运方向正交的搬运宽度方向上延伸，并在所述上表面的上方支撑所述载物台测定器；以及
连结件，使所述梁部以能够拆卸的方式与所述搬运往复装置连结。


3.根据权利要求1或2所述的载物台测定夹具，其中，
作为所述上表面的一部分的对象部分的铅垂位置能够通过设置于浮起载物台的调整机构进行调整，
所述载物台测定器设置于能够测定所述对象部分的铅垂位置的位置。


4.根据权利要求1或2所述的载物台测...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木启悟，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：新型
国别省市：日本;JP