一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于激光应用及印刷电子技术领域，具体涉及一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置，包括弹簧片1、材料基片2、接收基片3、空气吸盘4、竖直位移平台5、侧板6、转接板7和水平位移平台8，其特征是通过在水平位移平台上8搭建带有转接板7、竖直位移平台5、空气吸盘4、弹簧片1和侧板6的装置对材料基片2和接收基片3进行装夹，保证了接收基片3位置的固定和两基片间距的灵活调节，使操作简单化，避免了重复装夹对加工结果的影响。该装置可广泛应用于激光诱导向前转移包括金属、油墨、复合物甚至生物材料在内的各种基质薄膜的工艺中，可以制作出高精度和高分辨率的液滴、金属导线、电路板和微传感器。

A clamping device for laser-induced forward transfer technology

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置
本技术属于激光应用及印刷电子
，具体涉及了一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置。
技术介绍
激光诱导向前转移技术是新发展起来的一种激光加工技术，由于其具有快速灵活、加工精度高、成本低廉、适用范围广、绿色环保等诸多特点，因此在各种微电子器件和电路板的制作方面具有广泛的应用前景。激光诱导向前转移是利用激光照射材料基片产生高温高压的等离子体，部分源膜材料在力的推动下转移到接收基片上。在该技术中，材料基片和接收基片的装夹以及两个基片之间的间距都是必须精确控制的因素。目前相关专利和大部分文献中只是给出了激光诱导向前转移技术的实验装置简图，并没有明确具体的装夹方式。华中科技大学的陈继文在其硕士论文中提出了一种装夹示意图，从上到下分别是夹具顶端、金属原膜片、垫片、接收基片、承重片、夹具底端，在夹具顶端设有开窗透光区，通过固定螺栓连接夹具顶端和夹具底端实现整个装置的固定，该装置虽然简单，但是弊端也非常明显：固定螺栓的拆卸非常麻烦；在更换材料基片、接收基片和调节间距时都需要拆卸整个装置，而在微、纳级别的实验本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置，主要包括：弹簧片(1)，材料基片(2)，接收基片(3)，空气吸盘(4)，竖直位移平台(5)，侧板(6)，转接板(7)，水平移动平台(8)，其特征是两块侧板(6)通过螺钉安装在转接板(7)上，侧板(6)顶部均开有螺纹孔，用来安装弹簧片(1)，材料基片(2)通过弹簧片(1)的另一端压紧在两块侧板(6)上方，接收基片(3)通过空气吸盘(4)固定，空气吸盘(4)安装在竖直位移平台(5)上，竖直位移平台(5)安装在转接板(7)上，整个装夹装置通过转接板(7)安装在水平位移平台8上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于激光诱导向前转移技术的装夹装置，主要包括：弹簧片(1)，材料基片(2)，接收基片(3)，空气吸盘(4)，竖直位移平台(5)，侧板(6)，转接板(7)，水平移动平台(8)，其特征是两块侧板(6)通过螺钉安装在转接板(7)上，侧板(6)顶部均开有螺纹孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王兴盛，徐斌，缪洁良，章剑，黄宇珂，
申请(专利权)人：南京农业大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32