一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口技术方案

本实用新型专利技术涉及材料工程技术领域，且公开了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀，所述闸板阀顶部的一侧设有真空密封口，所述真空密封口的顶部设有固定螺丝，所述真空密封口内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口。该一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，通过采用可拆卸的激光玻璃密封窗口装置，能够在不破坏真空腔体内部的气体氛围的条件下，将激光玻璃密封窗口拆卸下来，实现对玻璃窗口的高效清洁，解决了在脉冲激光沉积技术中存在的激光入射玻璃难以清洗的问题，确保了高质量的入射激光能透过玻璃窗口进入腔体。

A detachable sealing window for laser incidence in pulsed laser deposition system

【技术实现步骤摘要】
一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口
本技术涉及材料工程
，具体为一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口。
技术介绍
随着现代微电子行业的发展，人们对小型化高性能集成电子器件的需求日益增加，用于制造这种电子器件的材料也趋于复杂化，因此需要制备高性能的新型薄膜材料来满足市场需求。当薄膜制备技术达到原子精度时，就能精确的调控薄膜材料的微观结构从而进一步实现对其性能的精密调控。脉冲激光沉积技术是目前世界范围内使用最广的一种先进的新型薄膜制备技术，能实现对薄膜沉积在原子精度上的调控，它是伴随着激光技术的进步而发展起来的，其主要优点有：更容易获得与靶材组分相一致的薄膜材料；沉积效率高，实验周期相对较短；制备的薄膜材料样品组分均一；对靶材原料的限制较少，可以用于制备多种薄膜材料；工艺参数的可调节性腔，对薄膜质量控制的手段多样；系统兼容性强，可以搭载多种组合配件。真空沉积系统作为脉冲激光沉积系统的重要组件之一，其主体是一个封闭的真空腔体，是薄膜材料生长的关键装置，高能准分子激光脉冲从脉冲激光器发射出，经过光学透镜的聚焦本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀(2)，其特征在于：所述闸板阀(2)顶部的一侧设有真空密封口(3)，所述真空密封口(3)的顶部设有固定螺丝(4)，所述真空密封口(3)内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口(5)，所述闸板阀(2)正面的另一侧设有进气口(6)，且进气口(6)的正面设有进气管(7)，所述闸板阀(2)的另一侧设有连接口(8)，且连接口(8)的另一侧设有阀门制动杆(9)，所述阀门制动杆(9)的另一侧设有阀门开关旋转手柄(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀(2)，其特征在于：所述闸板阀(2)顶部的一侧设有真空密封口(3)，所述真空密封口(3)的顶部设有固定螺丝(4)，所述真空密封口(3)内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口(5)，所述闸板阀(2)正面的另一侧设有进气口(6)，且进气口(6)的正面设有进气管(7)，所述闸板阀(2)的另一侧设有连接口(8)，且连接口(8)的另一侧设有阀门制动杆(9)，所述阀门制动杆(9)的另一侧设有阀门开关旋转手柄(10)。


2.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，其特征在于：所述激光入射玻璃窗口(5)的外径值与真空密封口(3)的内径值相等，且激光入射玻璃窗口(5)的制作材质透光。


3.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄传威，魏思聪，廖肇龙，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：新型
国别省市：广东;44