传感器试验系统技术方案

本发明专利技术的课题在于提供吞吐量优异的传感器试验系统。传感器试验系统(1)具备包含以能传递传感器(90)的方式相互连结的多个传感器试验装置(30A～30D)的试验装置组(20)，各个传感器试验装置(30A～30D)具备：施加组件(40)，其包含施加装置(42)，施加装置(42)包含电连接传感器(90)的插座(445)、以及对传感器(90)施加压力的压力腔室(43)；试验组件(35)，其经由插座(445)对传感器(90)进行试验；以及输送机器人(33)，其相对于施加组件(40)搬入搬出传感器(90)。

Sensor test system

【技术实现步骤摘要】
传感器试验系统
本专利技术涉及对传感器进行试验的传感器试验系统。
技术介绍
在对磁阻效应元件施加磁场并使该磁阻效应元件冷却的同时评价该磁阻效应元件的评价装置是已知的(例如，参照专利文献1)。该评价装置具备在对磁阻效应元件进行载置的载置台的下方设置的珀耳帖元件，该珀耳帖元件经由载置台来冷却磁阻效应元件。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开平11-339232号公报
技术实现思路
(专利技术要解决的课题)在上述评价装置中，在以多个条件对同一磁阻效应元件进行评价的情况下，每当改变温度条件时，需要重新设定载置台的温度，因此存在评价装置的吞吐量会显著下降的问题。本专利技术要解决的课题在于，提供一种吞吐量优异的传感器试验系统。(用于解决课题的技术方案)[1]本专利技术所涉及的传感器试验系统是对检测第一物理量的传感器进行试验的传感器试验系统，所述传感器试验系统具备试验装置组，所述试验装置组包含以能传递所述传感器的方式相互连结的多个传感器试验装置，各个所述传感器试验装置具备：施加组件，其包含至少一个施加装置，所述施加装置包含电连接所述传感器的插座、以及对所述传感器施加所述第一物理量的第一施加部；试验组件，其经由所述插座对所述传感器进行试验；以及第一输送装置，其相对于所述施加组件搬入搬出所述传感器。[2]在上述专利技术中，可以是，各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行收容的装置主体，所述装置主体具有：第一开口，通过所述第一开口，所述传感器被供给至所述传感器试验装置内的第一位置；以及第二开口，通过所述第二开口，所述传感器被从所述传感器试验装置内的第二位置排出，多个所述传感器试验装置包含彼此相邻的第一传感器试验装置以及第二传感器试验装置，所述第一传感器试验装置的所述第二开口与所述第二传感器试验装置的所述第一开口相互对置。[3]在上述专利技术中，可以是，所述试验装置组包含第二输送装置，所述第二输送装置使从所述第一传感器试验装置的所述第二位置移动至所述第二传感器试验装置的所述第一位置，所述第二输送装置经由所述第一传感器试验装置的所述第二开口和所述第二传感器试验装置的所述第一开口，从所述第一传感器试验装置向所述第二传感器试验装置传递所述传感器。[4]在上述专利技术中，可以是，各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行控制的控制组件，一个所述传感器试验装置的所述控制组件对其余的所述传感器试验装置的所述控制组件进行控制。[5]在上述专利技术中，可以是，所述传感器试验系统具备：投入装置，其将未试验的所述传感器投入所述试验装置组；以及排出装置，其将试验完成的所述传感器从所述试验装置组排出。[6]在上述专利技术中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加压力的压力施加部。[7]在上述专利技术中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加2种压力的差压施加部。[8]在上述专利技术中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加磁场的磁场施加部。[9]在上述专利技术中，可以是，所述施加装置包含对所述传感器施加与所述第一物理量不同的第二物理量的第二施加部，多个所述传感器试验装置包括对所述传感器施加第一值的所述第二物理量的传感器试验装置、以及对所述传感器施加与所述第一值不同的第二值的所述第二物理量的传感器试验装置。[10]在上述专利技术中，可以是，所述第二施加部是对所述传感器施加热应力来对所述传感器的温度进行调整的温度调整部。[11]在上述专利技术中，可以是，所述施加装置包含与所述传感器接触并将所述传感器压贴至所述插座的顶推件，所述温度调整部设置于所述顶推件。(专利技术效果)在本专利技术中，传感器试验系统具备多个传感器试验装置，该传感器试验装置彼此能传递传感器地相互连结。故而，能对同一传感器高效地进行多个条件的测试，因此能提高吞吐量优异的传感器试验系统。附图说明图1是示出本专利技术的实施方式中的传感器试验系统的立体图。图2的(a)是示出作为本专利技术的实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的俯视图，图2的(b)是示出作为本专利技术的实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的变形例的俯视图。图3是示出本专利技术的实施方式中的装载器的内部的布局的图，是沿着图1的III-III线的剖视图。图4是示出本专利技术的实施方式中的卸载器的内部的布局的图，是沿着图1的IV-IV线的剖视图。图5是示出本专利技术的实施方式中的测试单元的立体图。图6是示出本专利技术的实施方式中的测试单元的内部的布局的图，是沿着图1的VI-VI线的剖视图。图7是示出本专利技术的实施方式中的输送机器人的主视图。图8是示出本专利技术的实施方式中的输送机器人的俯视图。图9是示出本专利技术的实施方式中的施加组件的立体图。图10是示出本专利技术的实施方式中的施加组件的图，是沿着图9的X-X线的剖视图。图11是示出本专利技术的实施方式中的压力腔室的剖视图。图12是示出本专利技术的实施方式中的压力腔室的基座部的俯视图，是图11的XII方向箭视图。图13是示出本专利技术的实施方式中的测试单元的控制系统的框图。图14是示出本专利技术的实施方式中的测试单元的基台的内部的透视图。图15是本专利技术的实施方式中的温度调整组件的配管回路图。图16的(a)～图16的(c)是示出本专利技术的实施方式中的施加组件的动作的剖视图(其1～3)。图17的(a)～图17的(c)是示出本专利技术的实施方式中的施加组件的动作的剖视图(其4～6)。图18是示出本专利技术的实施方式中的压力腔室的剖视图，是图17的(c)的XVIII部的放大图。图19是示出本专利技术的实施方式中的传感器试验系统的控制系统的框图。图20是示出本专利技术的实施方式中的施加装置的第一变形例的图，是差压传感器用的施加装置的剖视图。图21是示出本专利技术的实施方式中的施加装置的第二变形例的图，是磁传感器用的施加装置的剖视图。具体实施方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示出本实施方式中的传感器试验线的立体图，图2的(a)是示出作为本实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的俯视图，图2的(b)是示出作为本实施方式中的传感器试验系统的试验对象的压力传感器的变形例的俯视图。如图1所示，本实施方式中的传感器试验系统1是具备试验装置组20的传感器试验线，该试验装置组20是将用于检查传感器90的多个(本例中为四个)测试单元30(30A～30D)连结而构成的。本实施方式中的测试单元30相当于本专利技术中的“传感器试验装置”的一例。另外，构成试验装置组20的测试单元30的数量并无特别限定，能够根据利用该传感器试验系统1进行的试验的种类的数量等来设定。作为该传感器试验系统1的试验对象的传感器90是检测(测定)压力并输出与该检测结果(测定结果)相应的电信号的压力传感器。如图2的(a)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器试验系统，是对检测第一物理量的传感器进行试验的传感器试验系统，/n所述传感器试验系统具备试验装置组，所述试验装置组包含以能传递所述传感器的方式相互连结的多个传感器试验装置，/n各个所述传感器试验装置具备：/n施加组件，其包含至少一个施加装置，所述施加装置包含电连接所述传感器的插座、以及对所述传感器施加所述第一物理量的第一施加部；/n试验组件，其经由所述插座对所述传感器进行试验；以及/n第一输送装置，其相对于所述施加组件搬入搬出所述传感器。/n

【技术特征摘要】
20181214 JP 2018-2341161.一种传感器试验系统，是对检测第一物理量的传感器进行试验的传感器试验系统，
所述传感器试验系统具备试验装置组，所述试验装置组包含以能传递所述传感器的方式相互连结的多个传感器试验装置，
各个所述传感器试验装置具备：
施加组件，其包含至少一个施加装置，所述施加装置包含电连接所述传感器的插座、以及对所述传感器施加所述第一物理量的第一施加部；
试验组件，其经由所述插座对所述传感器进行试验；以及
第一输送装置，其相对于所述施加组件搬入搬出所述传感器。


2.根据权利要求1所述的传感器试验系统，其中，
各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行收容的装置主体，
所述装置主体具有：
第一开口，通过所述第一开口，所述传感器被供给至所述传感器试验装置内的第一位置；以及
第二开口，通过所述第二开口，所述传感器被从所述传感器试验装置内的第二位置排出，
多个所述传感器试验装置包含彼此相邻的第一传感器试验装置以及第二传感器试验装置，
所述第一传感器试验装置的所述第二开口与所述第二传感器试验装置的所述第一开口相互对置。


3.根据权利要求2所述的传感器试验系统，其中，
所述试验装置组包含第二输送装置，所述第二输送装置使从所述第一传感器试验装置的所述第二位置移动至所述第二传感器试验装置的所述第一位置，
所述第二输送装置经由所述第一传感器试验装置的所述第二开口和所述第二传感器试验装置的所述第一开口，从所述第一传感器试验装置向所述第二传感器试验装置传递所述传感器。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅和成，高野大介，花村聪，千叶道郎，西崎久夫，早川敦，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：日本;JP