一种高精度的全自动专用去边机的控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，包括骨架包板、中转台总成和控制器，所述骨架包板的内部分别安装有水槽与HF槽，所述骨架包板的顶面内侧安装有机械手，所述骨架包板内部靠近HF槽的位置处安装有上料机器人，所述上料机器人的右上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有中转台总成，所述上料机器人的左上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有巡边仪。本发明专利技术通过内部设置喷淋系统，通过吸盘真空吸附硅片，吸盘保护住不需要腐蚀的背封膜部分，将硅片正面、倒角面以及背面边缘裸露部分通过喷淋氢氟酸进行腐蚀，通过DIW喷淋进行冲洗，从而有效提高了去边过程的精度。

The control system of a high precision full-automatic special edge remover

【技术实现步骤摘要】
一种高精度的全自动专用去边机的控制系统
本专利技术属于去边机
，具体涉及一种高精度的全自动专用去边机的控制系统。
技术介绍
目前，去边机广泛应用于金属加工中，是一种常规的加工装置，在计算机硬件生产领域也会用到去边机。传统的去边机在内部并未设置任何喷淋系统，工作中全是物理方法对工件进行去边处理，导致有些地方去边的较为粗糙，对于计算机领域的生产要求极其精准，而传统的去边机无法达到要求的去边精度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高精度的全自动专用去边机的控制系统，包括骨架包板、中转台总成和控制器，所述骨架包板的内部分别安装有水槽与HF槽，所述骨架包板的顶面内侧安装有机械手，所述骨架包板内部靠近HF槽的位置处安装有上料机器人，所述上料机器人的右上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有中转台总成，所述上料机器人的左上方位于所述骨架包板内部安装的隔板上安装有巡边仪，所述水槽的右侧位于骨架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度的全自动专用去边机，包括骨架包板(1)、中转台总成(4)和控制器，其特征在于：所述骨架包板(1)的内部分别安装有水槽(2)与HF槽(3)，所述骨架包板(1)的顶面内侧安装有机械手(5)，所述骨架包板(1)内部靠近HF槽(3)的位置处安装有上料机器人(7)，所述上料机器人(7)的右上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有中转台总成(4)，所述上料机器人(7)的左上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有巡边仪(6)，所述水槽(2)的右侧位于骨架包板(1)内部安装有下料机构(8)，所述水槽(2)的中部位置安装有环形喷淋歧管a(9)，所述环形喷淋歧管a(9)上方位于水槽(...

【技术特征摘要】
1.一种高精度的全自动专用去边机，包括骨架包板(1)、中转台总成(4)和控制器，其特征在于：所述骨架包板(1)的内部分别安装有水槽(2)与HF槽(3)，所述骨架包板(1)的顶面内侧安装有机械手(5)，所述骨架包板(1)内部靠近HF槽(3)的位置处安装有上料机器人(7)，所述上料机器人(7)的右上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有中转台总成(4)，所述上料机器人(7)的左上方位于所述骨架包板(1)内部安装的隔板上安装有巡边仪(6)，所述水槽(2)的右侧位于骨架包板(1)内部安装有下料机构(8)，所述水槽(2)的中部位置安装有环形喷淋歧管a(9)，所述环形喷淋歧管a(9)上方位于水槽(2)的内部安装有环形喷淋歧管b(10)，所述水槽(2)的底部安装有喷头(11)，所述中转台总成(4)由吸盘(16)、微调滑台固定板(19)与中转台总成固定板(20)组成，所述吸盘(16)通过其一侧外壁上安装的吸盘连接板(17)安装在微调滑台连接板(18)的一侧外壁上，所述吸盘连接板(17)与微调滑台连接板(18)之间通过吸盘连接板固定螺钉连接，所述微调滑台连接板(18)的一侧外壁上安装有微调滑台固定板(19)，所述微调滑台固定板(19)的一侧外壁上通过中转台总成固定板(20)安装有支撑立板(23)，所述支撑立板(23)的右侧分别安装有支撑底板(24)与支撑基板(25)，所述吸盘(16)的顶部分别安装有定位销(21)与滑动销(22)。


2.根据权利要求1所述的一种高精度的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12