一种基于干涉方式的激光波长测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基于干涉方式的激光波长测量装置，包括：待测激光源，用于发射待测激光束；分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束透射至楔形反光镜，以及反射至透镜；楔形反光镜，用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜；透镜，用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束，并将待测激光束透射至光电探测器；光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象。本实用新型专利技术中测量装置所使用的光学器件简单，无需标准波长激光源参与测量，大大降低了测量装置的复杂度，并且也提高了装置对待测激光波长的测量精度。

A laser wavelength measurement device based on interference mode

【技术实现步骤摘要】
一种基于干涉方式的激光波长测量装置
本技术涉及激光波长测量
，特别涉及一种基于干涉方式的激光波长测量装置。
技术介绍
激光波长的精确测量对于光学精密测量领域至关重要，以激光干涉仪为例，其测量精度与激光波长的精度直接相关，如何提高激光波长的测量精度，降低激光波长测量装置的复杂度与成本，成了相关领域的重要研究内容。
技术实现思路
本技术的目的在于改善现有技术中所存在的不足，提供一种基于干涉方式的激光波长测量装置。为了实现上述技术目的，本技术实施例提供了以下技术方案：一种基于干涉方式的激光波长测量装置，包括：待测激光源，用于发射待测激光束；分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束透射至楔形反光镜，以及反射至透镜；楔形反光镜，用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜；透镜，用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束，并将待测激光束透射至光电探测器；光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述楔形反光镜连接有精密位移装置，用于带动楔形反光镜在其水平方向上移动。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述楔形反光镜包括反光面，所述分光镜与楔形反光镜的反光面平行设置。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述透镜为凸透镜。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述光电探测器设置于凸透镜的焦点处。更进一步地，为了更好的实现本技术，还包括壳体，所述基于干涉方式的激光波长测量装置设置于壳体内，且待测激光源、分光镜、透镜、光电探测器、精密位移装置分别相对于壳体固定设置。一种基于干涉方式的激光波长测量方法，包括以下步骤：步骤S1：将待测激光源、分光镜、透镜、光电探测器以及精密位移装置固定设置在壳体内；步骤S2：开启待测激光源，移动楔形反光镜的位置，使得楔形反光镜能接收到待测激光束；步骤S3：控制精密位移装置带动楔形反光镜在水平方向上移动，使得光电探测器上产生相长干涉/相消干涉现象，处理器记录楔形反光镜的位移量X1；步骤S4：继续控制精密位移装置带动楔形反光镜在水平方向上移动，直到光电探测器上产生下一个相长干涉/相消干涉现象，处理器记录楔形反光镜的位移量X2；步骤S5：处理器根据楔形反光镜两次水平移动的位移量以及楔形反光镜的反光面与水平方向上的角度、入射至反光面的待测激光束与反光面的角度，计算出待测激光束的波长。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述步骤S1中将分光镜与楔形反光镜的反光面平行设置。更进一步地，为了更好的实现本技术，所述步骤S1中将光电探测器设置于透镜的焦点处。与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术中测量装置所使用的光学器件简单，无需加入标准波长激光源参与测量，大大降低了测量装置的复杂度，并且也提高了装置对待测激光波长的测量精度。本技术的精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机，避免了导轨加工误差对波长测量的影响，提高了波长测量结果的精度。本技术可使用精密位移装置带动楔形反光镜在其竖直方向上移动，排除精密位移装置和楔形反光镜在移动时因重力影响而产生竖直方向上的微小位移，使得光程差测量的精度更加准确，即提高了激光波长测量结果的精度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例1的测量装置的结构示意图；图2为本技术实施例1的测量装置移动后的示意图；图3为本技术实施例1中夹角推算示意图；图4为本技术实施例1中光程差变化量计算示意图；图5为本技术实施例2的测量装置的结构示意图；图6为本技术实施例2的测量装置移动后的示意图；图7为本技术实施例2中光程差变化量计算示意图；图8为本技术实施例3的测量装置的结构示意图。主要元件符号说明待测激光源100，分光镜200，楔形反光镜300，反光面301，透镜400，光电探测器500，精密位移装置600。具体实施方式下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。实施例1：本技术通过下述技术方案实现，一种基于干涉方式的激光波长测量装置，如图1所示，包括待测激光源100、一个分光镜200、一个楔形反光镜300、一个透镜400、一个光电探测器500、处理器、精密位移装置600，其中：待测激光源100，用于向分光镜200发射待测激光束。分光镜200，设置于待测激光源100与楔形反光镜300之间，用于将接收到的待测激光束透射至楔形反光镜300，以及反射至凸透镜。为了便于区分，将分光镜200透射至楔形反光镜300的待测激光束定义为待测透射激光束，将分光镜200反射至透镜400的待测激光束定义为待测反射激光束。楔形反光镜300，用于接收分光镜200透射的待测透射激光束，并将待测透射激光束反射至透镜400。所述楔形反光镜300包括反光面301，分光镜200透射的待测激光束即射入所述反光面301，再从反光面301反射至透镜400。所述分光镜200与楔形反光镜300的反光面301平行设置，以至于从分光镜200反射至透镜400的待测反射激光束与楔形反光镜300反射至透镜400的待测透射激光束平行。透镜400，用于接收分光镜200反射的待测反射激光束和楔形反光镜300反射的待测透射激光束，并将这两束激光束透射至光电探测器500。光电探测器500，设置与透镜400的焦点处，用于接收透镜400透射的待测反射激光束和待测透射激光束。处理器，用于记录楔形反光镜300的水平位移量，以及检测光电探测器500上产生的相长干涉或相消干涉现象，最后计算出待测激光束的波长。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于干涉方式的激光波长测量装置，其特征在于：包括：/n待测激光源，用于发射待测激光束；/n分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束透射至楔形反光镜，以及反射至透镜；/n楔形反光镜，用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜；/n透镜，用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束，并将待测激光束透射至光电探测器；/n光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；/n处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于干涉方式的激光波长测量装置，其特征在于：包括：
待测激光源，用于发射待测激光束；
分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束透射至楔形反光镜，以及反射至透镜；
楔形反光镜，用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜；
透镜，用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束，并将待测激光束透射至光电探测器；
光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；
处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象。


2.根据权利要求1所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置，其特征在于：所述楔形反光镜连接有精密位移装置，用于带动楔形反光镜在其水平方向上移动。


3.根据权利要求2所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵虎，毛建东，周春艳，张白，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：新型
国别省市：宁夏;64