一种干涉式激光波长测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种干涉式激光波长测量装置，包括：已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。只要利用一束已知波长的激光束，即可通过本装置得到任何待测激光束的波长，且本装置操作简便，计算得到的待测激光束波长精度也高。

An interference laser wavelength measuring device

【技术实现步骤摘要】
一种干涉式激光波长测量装置
本技术涉及测量仪器
，特别涉及一种干涉式激光波长测量装置。
技术介绍
激光干涉仪的测量精度与其激光波长的精度直接相关，传统对于未知波长的激光的测量很麻烦，并且不准确，对激光波长的精度要求难以得到保证。
技术实现思路
本技术的目的在于改善现有技术中所存在的不足，提供一种干涉式激光波长测量装置，使用已知激光束得到的干涉现场为参考，得到待测激光束的波长。为了实现上述技术目的，本技术实施例提供了以下技术方案：一种干涉式激光波长测量装置，包括：已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：包括：/n已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；/n待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；/n第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。/n

【技术特征摘要】
1.一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：包括：
已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；
待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；
第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。


2.根据权利要求1所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：
所述已知激光光学组件包括：
已知激光源，用于发射已知激光束；
第一分光镜，用于接收已知激光源发射的已知激光源，并将接收到的已知激光束透射至第一聚光透镜，以及反射至第一直角反射镜；
第一聚光透镜，用于接收第一分光镜透射的已知激光束，以及第二直角反射镜反射的已知激光束，并将接收到的已知激光束透射至第一光电探测器；
第一光电探测器，用于接收第一聚光透镜透射的已知激光束；
第一处理器，用于检测第一光电探测器上产生的干涉现象，并得到参考干涉数据。


3.根据权利要求1所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：
所述待测激光光学组件包括：
第二分...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘俊涛，张巍巍，张鹏辉，肖岩，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：新型
国别省市：宁夏;64