【技术实现步骤摘要】
一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法
本专利技术涉及激光波长测量
，特别涉及一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法。
技术介绍
激光波长的精确测量对于光学精密测量领域至关重要，以激光干涉仪为例，其测量精度与激光波长的精度直接相关，如何提高激光波长的测量精度，降低激光波长测量装置的复杂度与成本，成了相关领域的重要研究内容。
技术实现思路
本专利技术为简化激光波长测量装置的复杂性，提高测量激光束波长的精度，提供一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法。为了实现上述专利技术目的，本专利技术实施例提供了以下技术方案：一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，包括读数头，还包括三角波反射镜，用于接收分光镜透射的激光束，以及反射镜反射的激光束，并将反射镜反射的激光束反射至聚光透镜；所述读数头包括：激光器，用于发射激光束；分光镜，用于将激光器发射的激光束透射至三角波反射镜，以及反射至聚光透镜；反射镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束...
【技术保护点】
1.一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，包括读数头，其特征在于：还包括三角波反射镜，用于接收分光镜透射的激光束，以及反射镜反射的激光束，并将反射镜反射的激光束反射至聚光透镜；/n所述读数头包括：/n激光器，用于发射激光束；/n分光镜，用于将激光器发射的激光束透射至三角波反射镜，以及反射至聚光透镜；/n反射镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将三角波反射镜反射的激光束再次反射至三角波反射镜；/n聚光透镜，用于接收分光镜、三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束透射至光电探测器；/n光电探测器，用于接收聚光透镜透射的激光束；/n处理器，用于检测光电探测器上产生的干涉...
【技术特征摘要】
1.一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，包括读数头，其特征在于：还包括三角波反射镜，用于接收分光镜透射的激光束，以及反射镜反射的激光束，并将反射镜反射的激光束反射至聚光透镜；
所述读数头包括：
激光器，用于发射激光束；
分光镜，用于将激光器发射的激光束透射至三角波反射镜，以及反射至聚光透镜；
反射镜，用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将三角波反射镜反射的激光束再次反射至三角波反射镜；
聚光透镜，用于接收分光镜、三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束透射至光电探测器；
光电探测器，用于接收聚光透镜透射的激光束；
处理器，用于检测光电探测器上产生的干涉现象，并记录读数头与三角波反射镜之间的相对移动位移。
2.根据权利要求1所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述分光镜倾斜设置于三角波反射镜的上方，且与水平方向存在30度夹角；所述反射镜与分光镜相互平行。
3.根据权利要求2所述的一种，其特征在于：所述反射镜包括多个，每个反射镜用于接收三角波反射镜反射的激光束，并将接收到的激光束再次反射至三角波反射镜。
4.根据权利要求2所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述三角波反射镜包括N个结构相同的反射结构，每个所述反射结构包括第一反射面、第二反射面，所述第一反射面或第二反射面与反射镜平行，且第一反射面与第二反射面之间存在120度夹角。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述聚光透镜为凸透镜，且平行于水平方向设置。
6.根据权利要求5所述的一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置，其特征在于：所述三角波反射镜、读数头均设置于壳体内，且三角波反射镜与壳体相对固定设置，以及读数头相对于壳体移动设置；或三角波反射镜与壳体相对移动设置，以及读数头相对于壳体固定设置。
7.一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤S1：将三角波反射镜固定设置于壳体内，并将读数头滑动设置于壳体内；
步骤S2：开启激光源，使用处理器检测光探测器上产生的干涉现象，在水平方向上移...
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