一种基于干涉方式的激光波长测量装置与方法制造方法及图纸

技术编号:23312908 阅读:54 留言:0更新日期:2020-02-11 17:14
本发明专利技术涉及一种基于干涉方式的激光波长测量装置与方法,包括:待测激光源,用于发射待测激光束;分光镜,用于接收待测激光束,并将待测激光束透射至楔形反光镜,以及反射至透镜;楔形反光镜,用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜;透镜,用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束,并将待测激光束透射至光电探测器;光电探测器,用于接收透镜透射的待测激光束;处理器,与光电探测器电连接,用于检测光电探测器上产生的干涉现象。本发明专利技术中测量装置所使用的光学器件简单,无需标准波长激光源参与测量,大大降低了测量装置的复杂度,并且也提高了装置对待测激光波长的测量精度。

A laser wavelength measurement device and method based on interference mode

【技术实现步骤摘要】
一种基于干涉方式的激光波长测量装置与方法
本专利技术涉及激光波长测量
,特别涉及一种基于干涉方式的激光波长测量装置与方法。
技术介绍
激光波长的精确测量对于光学精密测量领域至关重要,以激光干涉仪为例,其测量精度与激光波长的精度直接相关,如何提高激光波长的测量精度,降低激光波长测量装置的复杂度与成本,成了相关领域的重要研究内容。
技术实现思路
本专利技术的目的在于改善现有技术中所存在的不足,提供一种基于干涉方式的激光波长测量装置与方法。为了实现上述专利技术目的,本专利技术实施例提供了以下技术方案:一种基于干涉方式的激光波长测量装置,包括:待测激光源,用于发射待测激光束;分光镜,用于接收待测激光束,并将待测激光束透射至楔形反光镜,以及反射至透镜;楔形反光镜,用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜;透镜,用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束,并将待测激光束透射至光电探测器;光电探测器,用于接收透镜透射的待测激光束;处理器,与光电探测器电连接,用于检测光电探本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:包括:/n待测激光源,用于发射待测激光束;/n分光镜,用于接收待测激光束,并将待测激光束透射至楔形反光镜,以及反射至透镜;/n楔形反光镜,用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜;/n透镜,用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束,并将待测激光束透射至光电探测器;/n光电探测器,用于接收透镜透射的待测激光束;/n处理器,与光电探测器电连接,用于检测光电探测器上产生的干涉现象。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:包括:
待测激光源,用于发射待测激光束;
分光镜,用于接收待测激光束,并将待测激光束透射至楔形反光镜,以及反射至透镜;
楔形反光镜,用于将分光镜透射的待测激光束反射至透镜;
透镜,用于接收分光镜和楔形反光镜反射的待测激光束,并将待测激光束透射至光电探测器;
光电探测器,用于接收透镜透射的待测激光束;
处理器,与光电探测器电连接,用于检测光电探测器上产生的干涉现象。


2.根据权利要求1所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述楔形反光镜连接有精密位移装置,用于带动楔形反光镜在其水平方向上移动。


3.根据权利要求1所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机。


4.根据权利要求3所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述楔形反光镜包括反光面,所述分光镜与楔形反光镜的反光面平行设置。


5.根据权利要求1-4任一项所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述透镜为凸透镜。


6.根据权利要求5所述的一种基于干涉方式的激光波长测量装置,其特征在于:所述光电探测器设置于凸透镜的焦点处。


7.根据权利要求1所述的一种基...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵虎毛建东周春艳张白
申请(专利权)人:北方民族大学
类型:发明
国别省市:宁夏;64

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