本发明专利技术公开了一种源瓶控制器监控系统。本发明专利技术的源瓶控制器监控系统包括源瓶控制器、扩散炉及电连接线，源瓶控制器包括温度模拟量输出端口，扩散炉包括气体接口板，气体接口板具有流量计输出端口，电连接线的两端分别接入温度模拟量输出端口及流量计输出端口；扩散炉还包括控制器和显示器，控制器连接至流量计输出端口，控制器配置为，接收自温度模拟量输出端口输出并经流量计输出端口传输的电压信号，并将电压信号转换为温度读数，由显示器显示温度读数。本发明专利技术的源瓶控制器监控系统，能够利用扩散炉设备的显示器直接监视源瓶控制器的监测温度，并且及时发现故障及断电的发生，从而有助于减少源瓶控制器异常导致的扔片，提高设备的可靠性。
Source bottle controller monitoring system
【技术实现步骤摘要】
源瓶控制器监控系统
本专利技术涉及扩散炉及源瓶控制器的领域，尤其涉及一种源瓶控制器监控系统。
技术介绍
源瓶控制器在发生一些故障或者断电的情况无法发出任何报警，只能依靠人为检查发现，并且源瓶控制器的温度是否超出适当范围而过高过低，也依赖于人为检查才能发现，无法直接显示在设备上。这对于生产而言是非常不可靠的。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术的源瓶控制器在发生一些故障或者断电的情况无法发出任何报警，并且源瓶控制器的温度过高过低的问题也依赖于人为检查才能发现，因而导致可靠性不高的缺陷，提出一种源瓶控制器监控系统。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：本专利技术提供了一种源瓶控制器监控系统，其特点在于，包括源瓶控制器、扩散炉及电连接线，所述源瓶控制器包括温度模拟量输出端口，所述扩散炉包括气体接口板，所述气体接口板具有流量计输出端口，所述电连接线的两端分别接入所述温度模拟量输出端口及所述流量计输出端口；所述扩散炉还包括控制器和显示器，所述控制器连接至所述流量计输出端口，所述控制器配置为，接收自所述温度模拟量输出端口输出并经所述流量计输出端口传输的电压信号，并将所述电压信号转换为温度读数，由所述显示器显示所述温度读数。较佳地，所述温度模拟量输出端口和所述流量计输出端口适配的模拟信号区间相同。较佳地，所述模拟信号区间为0-5V。较佳地，所述温度模拟量输出端口和所述流量计输出端口的针数分别为20针和2针，所述电连接线的两端分别具有20股电线接头和2股电线接头，其中所述2股电线接头对应的电线用于传输所述电压信号。较佳地，所述控制器配置为，将0-5V的所述电压信号转换为0-100摄氏度的所述温度读数。较佳地，所述源瓶控制器监控系统包括多个源瓶控制器和一个扩散炉，每个源瓶控制器具有一个温度模拟量输出端口，每个扩散炉包括多个流量计输出端口，各个源瓶控制器的所述温度模拟量输出端口经由所述电连接线连接至不同的所述流量计输出端口。较佳地，所述显示器为扩散炉的控制计算机的一部分，所述显示器显示各个流量计输出端口分别对应的温度读数。较佳地，所述控制计算机预设有第一温度区间，并用于判断是否有处于第一温度区间以外的温度读数，若有，则发出报警信号。在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本专利技术各较佳实例。本专利技术的积极进步效果在于：本专利技术的源瓶控制器监控系统，能够利用扩散炉设备的显示器直接监视源瓶控制器的监测温度，并且及时发现故障及断电的发生，从而有助于减少源瓶控制器异常导致的扔片，提高设备的可靠性。附图说明图1为本专利技术一较佳实施例的源瓶控制器监控系统的示意图。具体实施方式下面结合附图给出本专利技术较佳实施例，以详细说明本专利技术的技术方案，但并不因此将本专利技术限制在的实施例范围之中。参考图1所示，本专利技术一较佳实施例的一种源瓶控制器监控系统，包括多个源瓶控制器1(图1中仅示意性地绘出一个)和一个扩散炉2，每个源瓶控制器1具有一个温度输出端口11(用作温度模拟量输出)，每个扩散炉2包括气体接口板21，气体接口板21包括多个流量计输出端口(图中未示出具体的端口)。各个源瓶控制器1的所述温度模拟量输出端口11经由所述电连接线3连接至气体接口板21中的不同流量计输出端口，即，电连接线3的两端分别接入所述温度输出端口11及气体接口板21中的流量计输出端口。图1中下方示出的扩散炉2和源瓶控制器1之间的连接线，示意性地绘出了二者之间通有DCE气体(二氯乙烷)的气体管道4。所述扩散炉2还包括控制器22和显示器，所述控制器连接至所述流量计输出端口，所述控制器配置为，接收自所述温度模拟量输出端口输出并经所述流量计输出端口传输的电压信号，并将所述电压信号转换为温度读数，由所述显示器显示所述温度读数。其中，显示器可以为控制电脑23的一部分。优选地，所述温度模拟量输出端口和所述流量计输出端口适配的模拟信号区间相同，同为0-5V。这也正是诸如thermco公司的扩散炉与诸如Schumacher公司的ATCS15-SS系列的源瓶控制器所具有的技术参数。这种情况下，利用本专利技术提供的方案，以扩散炉设备的原有组件，诸如控制器、显示器等来监测及监视源瓶控制器的温度及可能发生的故障、断电等情形，是极为有利，且节省成本的。在此基础上，举例来说，所述控制器可配置为，将0-5V的所述电压信号转换为0-100摄氏度的所述温度读数，而所述显示器可显示各个流量计输出端口分别对应的温度读数，亦即，各个源瓶控制器对应的温度读数。如若某个源瓶控制器对应的温度读数为零，则表示该源瓶控制器失电或者发生故障。进一步优选地，扩散炉的控制电脑23可经由网线连接至运行扩散炉设备的公司的公司局域网5，以便利用网络监控的方式以一台电脑或服务器远程监控系统中的多个扩散炉。根据本专利技术的一些优选实施例，所述温度模拟量输出端口和所述流量计输出端口的针数分别为20针和2针，所述电连接线的两端分别具有20股电线接头和2股电线接头，其中所述2股电线接头对应的电线用于传输所述电压信号。举例来说，可将原本配置为20针的电连接线的一头剪成仅剩适配2针的电线接头。根据本专利技术的一些优选实施例，所述控制计算机预设有第一温度区间，并用于判断是否有处于第一温度区间以外的温度读数，若有，则发出报警信号。由此，可实现自动化地监控及报警。虽然以上描述了本专利技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本专利技术的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本专利技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种源瓶控制器监控系统，其特征在于，包括源瓶控制器、扩散炉及电连接线，所述源瓶控制器包括温度模拟量输出端口，所述扩散炉包括气体接口板，所述气体接口板具有流量计输出端口，所述电连接线的两端分别接入所述温度模拟量输出端口及所述流量计输出端口；/n所述扩散炉还包括控制器和显示器，所述控制器连接至所述流量计输出端口，所述控制器配置为，接收自所述温度模拟量输出端口输出并经所述流量计输出端口传输的电压信号，并将所述电压信号转换为温度读数，由所述显示器显示所述温度读数。/n
【技术特征摘要】
1.一种源瓶控制器监控系统，其特征在于，包括源瓶控制器、扩散炉及电连接线，所述源瓶控制器包括温度模拟量输出端口，所述扩散炉包括气体接口板，所述气体接口板具有流量计输出端口，所述电连接线的两端分别接入所述温度模拟量输出端口及所述流量计输出端口；
所述扩散炉还包括控制器和显示器，所述控制器连接至所述流量计输出端口，所述控制器配置为，接收自所述温度模拟量输出端口输出并经所述流量计输出端口传输的电压信号，并将所述电压信号转换为温度读数，由所述显示器显示所述温度读数。
2.如权利要求1所述的源瓶控制器监控系统，其特征在于，所述温度模拟量输出端口和所述流量计输出端口适配的模拟信号区间相同。
3.如权利要求2所述的源瓶控制器监控系统，其特征在于，所述模拟信号区间为0-5V。
4.如权利要求1所述的源瓶控制器监控系统，其特征在于，所述温度模拟量输出端口和所述流量计输出端口的针数分别为20针和2针，所述电连接线的两端分别具...
【专利技术属性】
技术研发人员：晁磊，陈崇山，沈震，
申请(专利权)人：上海先进半导体制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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