一种支撑组件及碳化硅炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种支撑组件及碳化硅炉，其中，支撑组件应用于碳化硅炉中，碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架，且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中，通过设置用于支撑盖板的至少两个支架，将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上，以减轻盖板对石英管的压力，从而减轻石英管的承重，防止石英管因承受的压力过重而损坏。

A supporting component and silicon carbide furnace

【技术实现步骤摘要】
一种支撑组件及碳化硅炉
本技术涉及晶体生长
，尤其涉及一种支撑组件及碳化硅炉。
技术介绍
碳化硅炉是一种用于碳化硅单晶生长的设备，设备采用物理气相传输法(PVT法)，并采用感应线圈加热的方式将生长腔体内部加热至2600℃，石墨坩埚中的碳化硅粉末在该温度下升华，然后在碳化硅籽晶上凝结成体单晶。由于采用感应线圈加热的方式，要避免感应圈周围零件产生感应加热，故碳化硅主体采用内外双层石英管，上下加盖结构，盖板采用不锈钢材质。原结构将上部分零件直接支撑在石英管上，增加石英管受力，提高石英管破损的可能性。
技术实现思路
本技术提供一种支撑组件及碳化硅炉，用以支撑盖合在石英管上方的盖板，减轻石英管的承重。第一方面，本技术提供了一种支撑组件，应用于碳化硅炉中，碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架，且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中，通过设置用于支撑盖板的至少两个支架，将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上，以减轻盖板对石英管的压力，从而减轻石英管的承重，防止石英管因承受的压力过重而损坏。在一个具体的实施方式中，支撑组件还包括与所述至少两个支架一一对应且用于与盖板连接的连接板，且每个连接板与对应的支架固定连接，以便于装配。在一个具体的实施方式中，支撑组件还包括用于固定盖板且与至少两个连接板连接的法兰盘，以便于对盖板及石英管的固定。在一个具体的实施方式中，每个支架为T型结构、L型结构或I型结构，以简化结构。具体设置时，在支架为T型结构时，T型结构的竖直部分为支柱，T型结构的水平部分为横梁，以提高支架的稳定性。在支架为L型结构时，L型结构的竖直部分为支柱，L型结构的水平部分为横梁，以简化结构。在支架为I型结构时，I型结构只有竖直部分，竖直部分为支柱，以简化结构。在一个具体的实施方式中，支柱及横梁为一体结构，以便于设置。在一个具体的实施方式中，支架还包括连接支柱与横梁的加强肋，以加固支柱及横梁，提高支架的稳定性。在一个具体的实施方式中，每个连接板通过至少一个螺钉与对应的支架中的横梁固定连接，以便于连接板的安装与拆卸。在一个具体的实施方式中，支架的个数为3个，且3个支架呈环形排布，以提高支撑组件的稳定性。在一个具体的实施方式中，3个支架沿石英管的周向均匀排布，以改善每个支架的受力状况。第二方面，本技术还提供了一种碳化硅炉，该碳化硅炉包括石英管、盖合在石英管上方的盖板、以及支撑盖板的上述任意一种支撑组件。通过采用支撑组件支撑石英管的盖板，将盖板对石英管的压力部分或全部传递到至少两个支架上，以减轻盖板对石英管的压力，从而减轻石英管的承重，防止石英管因承受的压力过重而损坏。附图说明图1为本技术实施例提供的一种支撑组件的剖视图。附图标记：10-支架11-支柱12-横梁13-加强肋20-连接板30-法兰盘40-石英管41-盖板具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述。为了方便理解本技术实施例提供的支撑组件，首先说明一下其应用场景。该支撑组件应用于碳化硅炉中，碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板，支撑组件用于支撑盖合在石英管上方的盖板。下面结合附图对本技术实施例提供的支撑组件进行详细的描述。参考图1，本技术实施例提供了一种支撑组件，该支撑组件包括用于支撑盖板41的至少两个支架10。其中，支架10的数量可以为2个、3个、4个等两个或两个以上的任意值。如图1所示出的支撑组件，其包括两个支架10，且两个支架10位置相对，从而在两个支架10之间形成用于容纳石英管40的空间。在应用时，使石英管40位于两个支架10之间，以便于两个支架10对石英管40的支撑。应当理解的是，支架10的个数并不限于上述示出的两个的设置方式，例如支架10的个数可以为3个，3个支架10沿石英管的周向环形分布，从而形成用于容纳石英管40的空间。在具体排列3个支架10时，3个支架10可以沿石英管的周向均匀排列，以使每个支架10所承受的力较为均匀，且提高支撑组件支撑盖板41的稳定性。在设置每个支架10时，如图1所示出的支架10，其包括支柱11、以及与支柱11固定连接的横梁12。具体设置时，支柱11具体可以为圆柱体、方柱体等柱体结构。横梁12可以为与支柱11通过螺钉紧固、焊接等方式固定连接的方柱体结构。参考图1，可以设置支架10为T型结构，其中，T型结构的竖直部分为支柱11，T型结构的水平部分为横梁12，以提高支架10的稳定性，且减少支架10所占用的空间。在具体连接支柱11及横梁12时，支柱11可以通过焊接、螺钉紧固、粘接等方式与横梁12固定连接，还可以采用铸造的方式加工出一体的支柱11及横梁12。支柱11及横梁12的材料可以为铝、铁、不锈钢等金属材料，也可以为木材、塑料等其他能够承载的材料。应当理解的是，上述仅仅示出了设置支架10的一种方式，除此之外，还可以采用其他的设置方式。例如，可以设置支架为L型结构，其中，L型结构的竖直部分为支架10的支柱11，L型结构的水平部分为支架10的横梁12。例如，还可以设置支架为I型结构，连接板20直接连接在支柱11上。即只要是现有技术中能够对盖板41进行支撑的支撑结构都在本技术实施例的保护范围之内。如图1所示，在每个支架10的支柱11及横梁12的连接处还设置有用于加固支柱11及横梁12的加强肋13，以加固支柱11及横梁12。在具体设置加强肋13时，加强肋13可以为杆体结构，杆体结构的一端通过螺钉紧固、焊接、粘接等方式与支柱11固定连接，杆体结构的另一端通过螺钉紧固、焊接、粘接等方式与横梁12固定连接。加强肋13还可以为三角板结构，三角板结构中两个相邻的直角边中的一个直角边通过焊接、粘接、螺钉紧固的方式与支柱11固定连接，三角板结构中的另一个直角边通过焊接、粘接、螺钉紧固的方式与横梁12固定连接。如图1所示，每个支架10上加强肋13的个数为两个，且两个加强肋13分别设置在支柱11的两侧。应当理解的是，加强肋13的个数并不限于图1示出的2个，加强肋13的个数还可以为1个、3个、4个等至少一个中的任意值。在支架10具体支撑盖合在石英管40上方的盖板41时，可以使支架10与石英管40上方的盖板41之间连接，具体的，可以设置盖板41与支架10上的横梁12通过螺钉紧固、卡接等方式可拆卸的连接。还可以采用支架10与盖板41通过间接连接的方式，具体的，参考图1，支撑组件还包括与至少两个支架10一一对应且用于与盖板41连接的连接板20，通过连接板20连接支架10及盖板41，从而实现支架10与盖板41之间的间接连接。在具体设置连接板20时，连接板20可以为一个长条形的板体结构，连接板20的一端与盖板41连接，连接板20的另一端与支架10连接。具体的，参考图1，连接板20的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种支撑组件，应用于碳化硅炉中，所述碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板，其特征在于，所述支撑组件包括：/n用于支撑所述盖板的至少两个支架，所述至少两个支架环绕所述石英管分布以形成用于容纳所述石英管的空间。/n

【技术特征摘要】
1.一种支撑组件，应用于碳化硅炉中，所述碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板，其特征在于，所述支撑组件包括：
用于支撑所述盖板的至少两个支架，所述至少两个支架环绕所述石英管分布以形成用于容纳所述石英管的空间。


2.如权利要求1所述的支撑组件，其特征在于，还包括与所述至少两个支架一一对应且用于与所述盖板连接的连接板，且每个连接板与对应的支架固定连接。


3.如权利要求2所述的支撑组件，其特征在于，还包括用于固定所述盖板且与所述至少两个连接板连接的法兰盘。


4.如权利要求1-3任一项所述的支撑组件，其特征在于，每个支架为T型结构、L型结构或I型结构。


5.如权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天舒，夏树胜，
申请(专利权)人：北京京运通科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11