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本实用新型提供了一种支撑组件及碳化硅炉,其中,支撑组件应用于碳化硅炉中,碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架,且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中,通过设...该专利属于北京京运通科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京运通科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种支撑组件及碳化硅炉,其中,支撑组件应用于碳化硅炉中,碳化硅炉包括石英管、以及盖合在石英管上方的盖板。该支撑组件包括用于支撑盖板的至少两个支架,且至少两个支架环绕石英管分布以形成用于容纳石英管的空间。在上述的方案中,通过设...