一种半导体激光器叠阵结构制造技术

技术编号:24549672 阅读:75 留言:0更新日期:2020-06-17 17:57
本实用新型专利技术提供的一种半导体激光器叠阵结构,包括两个相对设置的正极块和负极块,正极块和负极块之间形成有封装空间;固定在所述封装空间内的阵列激光器,所述阵列激光器内设置冷却液通道;正极块上设有与冷却液通道连通的进液孔和回水孔,负极块上设有与冷却液通道连通的缓冲孔,缓冲孔为盲孔。此结构的半导体激光器叠阵结构,通过在负极块上对应冷却液通道设置缓冲孔,冷却液在缓冲孔孔底壁受到碰撞能量损失,降低了水流压力,大大减小了水流对器件的冲击力;同时由于缓冲孔为盲孔,水流受到撞击会回流并经冷却液通道流至回液孔然后流出,冷却液与阵列激光器发生热交换以对阵列激光器进行散热降温。

An array structure of semiconductor laser

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器叠阵结构
本技术属于激光器封装
,具体涉及一种半导体激光器叠阵结构。
技术介绍
半导体激光器叠阵是由半导体激光器列阵芯片垂直叠放并通过定位结构、紧固结构封装而成的,半导体激光器列阵芯片由很多个半导体激光器发光单元组成,这些发光单元在一个没有解理开的芯片上,形成列阵芯片(Bar条),达到大功率输出的效果。目前半导体激光器叠阵的封装是非常核心的技术。这其中,激光器叠阵工作时产生热量的及时有效散出和单个激光器巴条的精准定位是尤其关键的因素。目前的半导体激光器叠阵的封装多采用水冷散热,而且由于激光器叠阵的输出功率一般可以达到数千瓦,但是半导体激光器的转换效率较低,一般在50%左右,这意味着一半的功率将以热量的形式散出,这就对散热能力提出了很大的要求。因此在叠阵散热过程中,冷却水的流量、水压势必较大,这对于整个叠阵结构的稳定性和正常工作造成很大的影响。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于现有的半导体激光器封装水冷结构的水流量和水压力较大,对整个叠阵结构的稳定性和正常工作造成影响。<br>为此,本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体激光器叠阵结构,包括:/n两个相对设置的正极块(1)和负极块(2),所述正极块(1)和所述负极块(2)之间形成有封装空间;/n固定在所述封装空间内且分别与所述正极块(1)和所述负极块(2)连接的阵列激光器(3),所述阵列激光器(3)内设置冷却液通道(4);其特征在于,/n所述正极块(1)上设有分别与所述冷却液通道(4)连通的进液孔(5)和回液孔(7),所述负极块(2)上设有与所述冷却液通道(4)连通的缓冲孔(6),所述缓冲孔(6)为开设于所述负极块(2)上的盲孔,所述盲孔的开口朝向所述阵列激光器(3)布置。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器叠阵结构,包括:
两个相对设置的正极块(1)和负极块(2),所述正极块(1)和所述负极块(2)之间形成有封装空间;
固定在所述封装空间内且分别与所述正极块(1)和所述负极块(2)连接的阵列激光器(3),所述阵列激光器(3)内设置冷却液通道(4);其特征在于,
所述正极块(1)上设有分别与所述冷却液通道(4)连通的进液孔(5)和回液孔(7),所述负极块(2)上设有与所述冷却液通道(4)连通的缓冲孔(6),所述缓冲孔(6)为开设于所述负极块(2)上的盲孔,所述盲孔的开口朝向所述阵列激光器(3)布置。


2.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵结构,其特征在于,所述盲孔呈T字型,沿其轴向方向分为第一段和第二段,所述第一段靠近所述冷却液通道(4)布置且内径与所述冷却液通道(4)内径一致,所述第二段的内径大于所述第一段的内径。


3.根据权利要求2所述的一种半导体激光器叠阵结构,其特征在于,所述盲孔呈十字型且中段内径大于两端内径。


4.根据权利要求1所述的一种半导体激光器叠阵结构,其特征在于,所述冷却液通道(4)包括由所述进液孔(5)朝向所述缓冲孔(6)的方向上依次贯穿所述阵列激光器(3)的进液通道(41)和由所述负极块(2)朝向所述回液孔(7)的方向上依次贯穿所述阵列激光器(3)的出液通道(42),所述出液通道(42)通过设置于所述阵列激光器(3)中的连通通道与所述进液通道(41)连通,所述进液通道(41)与所述进液孔(5)及所述缓冲孔(6)相连,所述出液通道(42)的出口端和所述回液孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员:陆翼森雷谢福张艳春陈家洛
申请(专利权)人:度亘激光技术苏州有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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