蓄冷式冷冻机制造技术

一种蓄冷式冷冻机，是可高速进行对被冷却对象的冷却和升温的蓄冷式冷冻机。具体的构成是包括：由压缩机（４ａ）和高压切换阀（４ｂ）及低压切换阀（４ｃ）构成的压力控制装置（４），和具有室温端部（１ａ）和低温端部（１ｂ）的膨胀压缩部（１），和具有室温端部（２ａ）和低温端部（２ｂ）的蓄冷部（２），并对被冷却对象进行热传导；还设有连接膨胀压缩部的低温端部（１ｂ）和蓄冷部的低温端部（２ｂ）、并延长到被冷却对象（７）的工作气体的流动路径（８）。由此，可以大幅地提高冷冻机的运转率，能够广泛适用于对传感器类及半导体制造装置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种蓄冷式冷冻机，是涉及以GM冷冻机和脉冲管冷冻机等为对象的蓄冷式冷冻机，更详细地说是涉及能够高效地进行被冷却对象的冷却和恢复原状态的升温的蓄冷式冷冻机的专利技术。
技术介绍
作为小型超低温用冷冻机而使用的蓄冷式冷冻机，从过去就开发有各种性能的冷冻机，可以看到前后有斯特林冷冻机、GM冷冻机、进而脉冲管冷冻机的发展过程。不管哪种冷冻机都是在机内将用作制冷剂的工作气体压缩和膨胀而产生制冷的方式，近年广泛使用GM冷冻机和脉冲管冷冻机。特别是在脉冲管冷冻机中，如后述的图2所示，由于是在低温部没有可动部件的简单的结构，所以在制冷部几乎没有振动发生，即使长时间运转也能够得到高可靠性。进而，在冷冻机运转时，能够期待不需要维护，作为传感器类及半导体制造装置用的冷却装置可发挥重要的作用。图1是说明GM冷冻机的基本构成和动作原理的概略图。在膨胀压缩部1中，作为膨胀活塞设置有排出器1c，在动作中排出器1c是通过步进电机进行往复运动的结构。室温端部1a位于膨胀压缩部1的上端，低温端部1b位于相反侧的下端。同样，蓄冷部2，为使室温端部2a位于上端、低温端部2b位于下端的圆筒状管体，在其内部叠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓄冷式冷冻机，包括：由压缩机和高压切换阀以及低压切换阀构成的压力控制装置，和在两端具有室温端部和低温端部的膨胀压缩部，和在两端具有室温端部和低温端部的蓄冷部，并对被冷却对象进行热传导，其特征在于：　　　　设有连接所述膨胀压缩部的低温端部和所述蓄冷部的低温端部、并延长到所述被冷却对象的工作气体的流动路径。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：国谷晋吾，宫本笃，三条大辅，垣见康浩，渡边岳利，
申请(专利权)人：爱沃特株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]