一种用于观察强光源的减光滤光片制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于观察强光源的减光滤光片，包括由玻璃制成的基底，该基底上从内至外依次镀有第一二氧化钛层、第一铬层、第一二氧化硅层、第二二氧化钛层、第二铬层、第三二氧化钛层、第二二氧化硅层、第四二氧化钛层、第三铬层、第五二氧化钛层、第三二氧化硅层、第六二氧化钛层、第四铬层、第七二氧化钛层、第四二氧化硅层。本实用新型专利技术提供以常用的二氧化硅、二氧化钛和高反射高吸收的铬金属为原料，结合滤光曲线和加工工艺，在玻璃表面以特定顺序和厚度进行镀膜，形成一种用于观察强光源的滤光片，不仅具有光衰减特性，并且制造成本低、经济效益高。

A kind of light reducing filter for observing strong light source

【技术实现步骤摘要】
一种用于观察强光源的减光滤光片
本技术涉及一种滤光片，尤其是指一种用于观察强光源的减光滤光片。
技术介绍
电子束蒸发镀膜机在工作时，由电子枪发出高能电子束通过磁场偏转后照射在坩埚内材料表面，使材料熔化蒸发。在此过程中电子束照射在坩埚内材料表面的位置是蒸发工艺中的重要条件，位置的偏移对产品内外圈的光学曲线一致性产生影响，所以需要对光斑的位置进行观察确认。现多采用数码像机对光斑进行监控，但是因为高能电子束光斑光能量强度大，监视设备不能直接进行观察，需要在镜头前增加减光滤光片对光斑光强度进行衰减。现在市面上使用的是有掺杂金属制备的玻璃以吸收方式对强光进行衰减，达到可以观察强光的作用，但掺杂金属制备的吸收玻璃单价较贵，使镀膜成本增加。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术目的在于以常用的二氧化硅、二氧化钛和铬金属为原料，提供一种用于观察强光源的、具有光衰减特性的、经济效益高的滤光片。为实现上述之目的，本技术采取如下技术方案：(二)技术方案一种用于观察强光源的减光滤光片，包括由玻璃制成的基底，该基底上从内至外依次镀有第一二氧化钛层、第一铬层、第一二氧化硅层、第二二氧化钛层、第二铬层、第三二氧化钛层、第二二氧化硅层、第四二氧化钛层、第三铬层、第五二氧化钛层、第三二氧化硅层、第六二氧化钛层、第四铬层、第七二氧化钛层、第四二氧化硅层；各层的厚度分别为142.5-143nm、13-13.5nm、151-152nm、12-13nm、15-15.5nm、35-35.5nm、89.5-90nm、34.5-35nm、16-16.5nm、45.5-46nm、94.5-95nm、46-46.5nm、10.5-11nm、40-40.5nm、19-21nm。进一步，所述各层的厚度分别为142.87nm、13.21nm、151.48nm、12.5nm、15.31nm、35.09nm、89.97nm、34.97nm、16.16nm、45.62nm、94.69nm、46.48nm、10.63nm、40.39nm、20nm。(三)有益效果本技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，以常用的二氧化硅、二氧化钛和高反射高吸收的铬金属为原料，结合滤光曲线和加工工艺，在玻璃表面以特定顺序和厚度进行镀膜，形成一种用于观察强光源的滤光片，不仅具有光衰减特性，并且制造成本低、经济效益高。附图说明下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的描述。图1是本技术膜层结构示意图；图2是本技术的透光率光谱示意图。附图标号说明：1、基底2、第一二氧化钛层3、第一铬层4、第一二氧化硅层5、第二二氧化钛层6、第二铬层7、第三二氧化钛层8、第二二氧化硅层9、第四二氧化钛层10、第三铬层11、第五二氧化钛层12、第三二氧化硅层13、第六二氧化钛层14、第四铬层15、第七二氧化钛层16、第四二氧化硅层具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步描述。请参阅图1和图2所示，一种用于观察强光源的减光滤光片，包括由玻璃制成的基底1，该基底1上从内至外依次镀有第一二氧化钛层2、第一铬层3、第一二氧化硅层4、第二二氧化钛层5、第二铬层6、第三二氧化钛层7、第二二氧化硅层8、第四二氧化钛层9、第三铬层10、第五二氧化钛层11、第三二氧化硅层12、第六二氧化钛层13、第四铬层14、第七二氧化钛层15、第四二氧化硅层16；各层的厚度分别为142.5-143nm、13-13.5nm、151-152nm、12-13nm、15-15.5nm、35-35.5nm、89.5-90nm、34.5-35nm、16-16.5nm、45.5-46nm、94.5-95nm、46-46.5nm、10.5-11nm、40-40.5nm、19-21nm。进一步，综合材料选择、滤光曲线和加工工艺，如表1所示，所述各层的厚度分别为142.87nm、13.21nm、151.48nm、12.5nm、15.31nm、35.09nm、89.97nm、34.97nm、16.16nm、45.62nm、94.69nm、46.48nm、10.63nm、40.39nm、20nm。表一本技术的膜层设计原理是：应用(HL)n(n＝n次循环)膜系结构(其中H是高折射率材料，L是低折射率材料)，在此选择高折射率的金属铬作为高折射率材料H、相对较低折射率的二氧化硅作为低折射率材料L；而两种材料折射率相差较大，因此，为优化滤光曲线，在铬和二氧化硅之间增加二氧化钛材料作为匹配层。本技术的设计要点在于以常用的二氧化硅、二氧化钛和高反射高吸收的铬金属为原料，结合滤光曲线和加工工艺，在玻璃表面以特定顺序和厚度进行镀膜，形成一种用于观察强光源的滤光片，不仅具有光衰减特性，并且制造成本低、经济效益高。以上所述，仅是本技术较佳实施例而已，并非对本技术的技术范围作任何限制，故凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于观察强光源的减光滤光片，其特征在于：包括由玻璃制成的基底，该基底上从内至外依次镀有第一二氧化钛层、第一铬层、第一二氧化硅层、第二二氧化钛层、第二铬层、第三二氧化钛层、第二二氧化硅层、第四二氧化钛层、第三铬层、第五二氧化钛层、第三二氧化硅层、第六二氧化钛层、第四铬层、第七二氧化钛层、第四二氧化硅层，各层的厚度分别为142.5-143nm、13-13.5nm、151-152nm、12-13nm、15-15.5nm、35-35.5nm、89.5-90nm、34.5-35nm、16-16.5nm、45.5-46nm、94.5-95nm、46-46.5nm、10.5-11nm、40-40.5nm、19-21nm。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于观察强光源的减光滤光片，其特征在于：包括由玻璃制成的基底，该基底上从内至外依次镀有第一二氧化钛层、第一铬层、第一二氧化硅层、第二二氧化钛层、第二铬层、第三二氧化钛层、第二二氧化硅层、第四二氧化钛层、第三铬层、第五二氧化钛层、第三二氧化硅层、第六二氧化钛层、第四铬层、第七二氧化钛层、第四二氧化硅层，各层的厚度分别为142.5-143nm、13-13.5nm、151-152nm、12-13nm、15-15.5nm、35-35.5nm、89.5-90nm、34.5-35nm...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴临红，刘军，邹维，刘辉，叶永洋，刘功豪，
申请(专利权)人：江西水晶光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36