微机电的流体控制装置制造方法及图纸

本案提供一种微机电的流体控制装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振膜、致动膜、压电膜及出口板依序堆叠设置，共振膜与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电膜驱动致动膜时，流体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振膜的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制流体的流通。

Micro electro mechanical fluid control device

【技术实现步骤摘要】
微机电的流体控制装置
本案是关于一种微机电的流体控制装置，尤指一种透过微型、薄型且静音的微机电的流体控制装置。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的流体输送装置已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。于现有技术中，流体输送装置主要以传统的机构部件堆叠而构成，并以每一个机构部件极小化或厚度薄化的方式，来达到整体装置微型化、薄型化的目的。然而，传统机构件在微小化后，其尺寸精度控制不易，且组装精度同样难以掌控，进而造成产品良率不一，甚至有流体传送的流量不稳定等问题。再者，已知的流体传输装置亦具有输送流量不足的问题，透过单一流体传输装置难以因应大量流体传输的需求，且已知的流体传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电的流体控制装置，其由至少两个导流单元所构成，该导流单元包含：/n一入口板，具有至少一入口孔；/n一基材；/n一共振膜，为面型微加工技术制成的悬浮结构，具有一中空孔洞及多个可动部，且该共振膜与该入口板之间具有一汇流腔室；/n一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；/n一压电膜，贴附于该致动膜的该悬浮部的一表面；以及/n一出口板，具有一出口孔；/n其中，该入口板、该基材、该共振膜、该致动膜及该出口板依序对应堆叠设置，该导流单元的该共振膜及该致动膜之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动膜及该出口板之间形成一第二腔室，当该导流单元的该压电膜驱动该...

【技术特征摘要】
1.一种微机电的流体控制装置，其由至少两个导流单元所构成，该导流单元包含：
一入口板，具有至少一入口孔；
一基材；
一共振膜，为面型微加工技术制成的悬浮结构，具有一中空孔洞及多个可动部，且该共振膜与该入口板之间具有一汇流腔室；
一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；
一压电膜，贴附于该致动膜的该悬浮部的一表面；以及
一出口板，具有一出口孔；
其中，该入口板、该基材、该共振膜、该致动膜及该出口板依序对应堆叠设置，该导流单元的该共振膜及该致动膜之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动膜及该出口板之间形成一第二腔室，当该导流单元的该压电膜驱动该致动膜时，流体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室，并流经该共振膜的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以控制流体的流通。


2.如权利要求1所述的微机电的流体控制装置，其特征在于，该致动膜为一金属材料薄膜或一多晶硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，薛达伟，张英伦，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，韩永隆，黄启峰，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71