一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法技术

本发明专利技术公开了一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法，在掩模图像采集中，精密工件台呈横向纵向平移的工作模式，相邻两幅图像存在大量重复特征和横纵向的偏移。在掩模图像拼接过程中，针对掩模图像大数据量，单元重复，旋转尺度变化小等特征，根据步距预设图像重叠区域作为ROI区域，确定前后两幅图像的对应关系按照顺序拼接两幅图像后，将此图像作为原图，后一张图像作为待匹配图像，重新划定ROI区域，每次拼接只对固定数据量的ROI区域和后一张图像进行变换处理，避免了因图像数量增加所导致的速度降低和数据溢出等问题，大幅提高了拼接速度，避免了特征匹配重复图形误匹配的问题，拼接效果良好。

A fast multi image mosaic method for mask defect detection

【技术实现步骤摘要】
一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法
本专利技术属于缺陷检测中图像处理
，具体涉及一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法。
技术介绍
随着计算机技术和图像处理技术逐步深入应用到掩模检测系统中，计算机视觉检测方法已成为当前自动化掩模检查的主流方式。掩模版通常面积较大，而为了保证检测精度，相机的视场较小，掩模图像的全景图拼接就成为了缺陷检测中必不可少的图像处理环节。在掩模图像采集系统中，精密工件台呈横向纵向平移的工作模式，相邻两幅图像存在横向和纵向的偏移。针对掩模图像大数据量，单元重复，旋转尺度变化小等特征。掩模图像拼接指的是将同一幅场景的多幅相互重叠的掩模版区域图像拼接成一幅全景图像的过程。在现实环境中，由于图像采集设备的限制，想要获得一幅场景的全景图像是不可能的，为了能够获得同一幅场景的完整景象，人们尝试了很多不同的方法，人们考虑采用图像拼接的方法，对采集到的图像，采取适当的匹配算法，利用软件自动完成对多幅图像的无缝拼接，以生成全视角的高清晰的图像。全景图像拼接模型的提出为图像拼接的进一步跨越式的发展提供了有效工具，在使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法，其特征是：所述方法包括如下步骤：/n步骤S1：横纵Z字形步进扫描采集掩模图像；/n步骤S2：对图像进行降噪预处理，根据步进距离预设相邻两幅图像的ROI区域，对预设区域通过模板粗精匹配，确定偏移量，从而获得相邻两图重叠区域；/n步骤S3：图像融合，使用均值或中值等方法融合偏移重叠区域，非重叠区域图像移动至重叠区域两侧，完成相邻图像拼接；/n步骤S4：以步骤S3中的图像为原始图像，依次选取后幅图像为相邻图像，重复步骤S2、S3，全景拼接。/n

【技术特征摘要】
1.一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法，其特征是：所述方法包括如下步骤：
步骤S1：横纵Z字形步进扫描采集掩模图像；
步骤S2：对图像进行降噪预处理，根据步进距离预设相邻两幅图像的ROI区域，对预设区域通过模板粗精匹配，确定偏移量，从而获得相邻两图重叠区域；
步骤S3：图像融合，使用均值或中值等方法融合偏移重叠区域，非重叠区域图像移动至重叠区域两侧，完成相邻图像拼接；
步骤S4：以步骤S3中的图像为原始图像，依次选取后幅图像为相邻图像，重复步骤S2、S3，全景拼接。


2.根据权利要求1所述的可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法，其特征是：步骤S2中根据步进距离预设ROI区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏宏斌，胡松，刘磊，位浩杰，赵立新，唐燕，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51