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本发明公开了一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法，在掩模图像采集中，精密工件台呈横向纵向平移的工作模式，相邻两幅图像存在大量重复特征和横纵向的偏移。在掩模图像拼接过程中，针对掩模图像大数据量，单元重复，旋转尺度变化小等特征，根据步距预...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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