光罩及曝光方法技术

本发明专利技术公开了一种光罩，包括：显示区部：用于形成显示区图形；电路区部：设置于所述显示区部的外侧，用于形成栅极驱动电路，其中，所述电路区部包括至少两个电路分支区部，任意一个所述的电路分支区部用于形成独立的栅极驱动电路；以及，拼接区部：设置于所述电路分支区部靠近所述显示区部的一侧并与该电路分支区部连接，用于形成连接显示区与栅极驱动电路的拼接电路。通过将需验证的GOA架构设计于一张光罩中，降低了光罩的制造成本，避免了因频繁切换光罩造成的曝光机台产能损失，且能保证GOA验证实验中的单一变量，增加验证结果可靠性，另一方面，可根据实验结果降验证光罩转入量产使用，进一步降低光罩成本。

Mask and exposure method

【技术实现步骤摘要】
光罩及曝光方法
本申请涉及显示
，具体涉及一种光罩及曝光方法。
技术介绍
在显示面板的设计开发过程中，通常会进行不同GOA(GateDriveronArray，栅极驱动电路设计于阵列基板上)设计验证，每种GOA方案会进行先行测试，而每种GOA方案通常会设计一个对应的Mask(光罩)，来进行生产测试，根据实验结果最终确定一个最佳的GOA设计架构。对于大尺寸的面板，常用的设计方案每种电路设计方案皆需设计一套对应光罩，光罩成本较高，且生产制作过程复杂，切换mask对曝光机台造成较大的产能损失，且不同方案采用不同光罩实验对比，无法实现在单一变量条件下对比，实验结果可靠性不足。
技术实现思路
本专利技术提供一种光罩，可实现使用一张光罩进行多种GOA验证方案。为解决上述问题，第一方面，本专利技术提供一种光罩，所述光罩包括：显示区部：用于形成显示区图形；以及电路区部：设置于所述显示区部的外侧，其中，所述电路区部包括至少两个电路分支区部，任意一个所述的电路分支区部用于形成独立的栅极驱动电路。进一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光罩，其特征在于，所述光罩包括：/n显示区部：用于形成显示区图形；以及/n电路区部：设置于所述显示区部的外侧，其中，所述电路区部包括至少两个电路分支区部，任意一个所述的电路分支区部用于形成独立的栅极驱动电路。/n

【技术特征摘要】
1.一种光罩，其特征在于，所述光罩包括：
显示区部：用于形成显示区图形；以及
电路区部：设置于所述显示区部的外侧，其中，所述电路区部包括至少两个电路分支区部，任意一个所述的电路分支区部用于形成独立的栅极驱动电路。


2.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，任意一所述的电路分支区部上还连接设置有一个拼接区部，设置于对应的所述电路分支区部与所述显示区部之间，用于形成连接显示区与栅极驱动电路的拼接电路。


3.如权利要求2所述的光罩，其特征在于，当所述电路分支区部与所述显示区部相邻时，所述电路分支区部对应的拼接区部与所述显示区部直接连接。


4.如权利要求2所述的光罩，其特征在于，所述拼接区部与所述至少两个电路分支区部中的除了对应电路分支区部以外的一者之间设有间隙。


5.如权利要求2所述的光罩，其特征在于，所述光罩还包括副拼接区部，设置于所述显示区部及所述拼接区部之间，所述拼接区部形成的图形与所述副拼接区部形成的图形相叠加，形成完整的拼接电路，其中所述副拼接区部与所述显示区部直接连接，且所述副拼接区部与所述拼接区部之间设有间隙。


6.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述栅极驱动电路为单边驱动架构，所述至少两个电路分支区部中的任意两者彼此...

【专利技术属性】
技术研发人员：应见见，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44