探针卡及WAT测试机台制造技术

本发明专利技术公开了一种WAT测试机台，包括WAT自动参数测试仪和自动探针台，WAT自动参数测试仪的测试头设置在自动探针台测试机台柜的顶部，测试机台柜内设有用于承载被测试晶圆的承载盘，晶圆装载柜与测试机台柜相邻；第一风源，其形成在所述测试头顶部；第二风源，其形成在所述顶部；第三风源，其形成在所述测试机台柜左侧壁；第四风源，其形成在所述晶圆装载柜右侧壁；其中，所述测试头中心设有第一风道，测试机台柜右侧壁和探针卡装载柜左侧壁密闭相邻且其间形成有第二风道。本发明专利技术克服了WAT测试机台现有技术方案带来的弊端，有效提高了晶圆的测试洁净度。

Probe card and Wat testing machine

【技术实现步骤摘要】
探针卡及WAT测试机台
本专利技术涉及半导体领域，特别是涉及一种用于半导体WAT测试机台的探针卡。本专利技术还涉及一种利用所述探针卡的WAT测试机台。
技术介绍
目前，主流的洁净型WAT测试机台的解决方案如图1所示，在WAT自动参数测试仪上安装两个新风风源FFU，两个新风风源FFU分别在测试机台柜Stage的侧面和测试仪Loader的顶端，让机台内部气流循环起来带走污染/杂质颗粒particle。其中机台Stage的新风风源FFU安装在机台侧面，气流从新风风源FFU一侧流向另一侧，再从侧面的排风扇流出从而带走机台内部污染/杂质颗粒particle。现有洁净型WAT测试机台的解决方案有一个缺点：气流从新风风源FFU一侧流向另一侧，在经过晶圆wafer的时候有可能会把携带的污染/杂质颗粒particle引入到晶圆wafer上，所以结果可能适得其反，洁净并不理想。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种能用于被测试晶圆上方具有新风风源半导体WAT测试机台的探针卡。本专利技术要解决的另一技术问题是提供一种能避免污本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡，其用于半导体WAT测试机台，其特征在于：/n该探针卡由多个结构相同的探针单元连接固定在探针卡支架上形成，所述探针单元包括：环形PCB基板，内置引线的支撑架固定在所述PCB基板内环，探针固定在所述支撑架上。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针卡，其用于半导体WAT测试机台，其特征在于：
该探针卡由多个结构相同的探针单元连接固定在探针卡支架上形成，所述探针单元包括：环形PCB基板，内置引线的支撑架固定在所述PCB基板内环，探针固定在所述支撑架上。


2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于：所述支撑架为两根，呈十字形固定在PCB基板内环，探针固定在两根支撑架的交叉处。


3.一种利用权利要求1所述探针卡的WAT测试机台，包括：WAT自动参数测试仪和自动探针台，WAT自动参数测试仪的测试头设置在自动探针台测试机台柜的顶部，测试机台柜内设有用于承载被测试晶圆的承载盘，晶圆装载柜与测试机台柜相邻；其特征在于：
第一风源，其形成在所述测试头顶部；
第二风源，其形成在所述探针卡装载柜顶部；
第三风源，其形成在所述测试机台柜左侧壁；
第四风源，其形成在所述晶圆装载柜右侧壁；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晶，肖尚刚，周波，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31