一种球形纳米二氧化硅的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种球形二氧化硅的制备方法，包括以下步骤，在电磁波的作用下，使得氧气和悬浮在氧气中的硅粉进行反应后，得到球形纳米二氧化硅；所述电磁波的波长为1～150mm。本发明专利技术采用特定波长在1～150毫米波段的电磁波作为反应赋能方式，可以同时对反应体系内的所有粉体颗粒进行沉浸式加热，促使其与氧气发生反应，同时发生氧化，生成纳米二氧化硅微球。本发明专利技术提供的电磁感应氧化法对粉尘浓度没有特殊要求，具有更高的安全型；而且氧化反应过程不引入可燃气体，避免了燃烧气体中杂质的引入，同时也避免了氧化反应过程中除二氧化硅以外的其他物质的生成，从而可以得到更高纯度的球形纳米二氧化硅，也更加安全，可控性更高。

A preparation method of spherical nano silica

【技术实现步骤摘要】
一种球形纳米二氧化硅的制备方法
本专利技术属于球形二氧化硅材料制备
，涉及一种纳米二氧化硅的制备方法，尤其涉及一种球形纳米二氧化硅的制备方法。
技术介绍
二氧化硅是非常常见的化合物，其化学式为SiO2，具有晶态和无定形两种形态，硅原子和氧原子长程有序排列形成晶态二氧化硅，短程有序或长程无序排列则形成非晶态二氧化硅。二氧化硅是制造玻璃、石英玻璃、水玻璃、光导纤维、电子工业的重要部件、光学仪器、工艺品和耐火材料的原料，也是科学研究的重要材料，特别是近些年，随着电子工业的迅猛发展，二氧化硅产业也随之蓬勃发展。这其中，球形二氧化硅是大规模集成电路封装及基板等高端电子信息产品的必备关键材料，如用于芯片封装的环氧模塑料和液体封装料以及高性能基板(主要领域有通信、超级计算机、IC封装、汽车电子和服务器等)，在航空、航天、汽车、物联网及特种陶瓷等高新
也有诸多应用。专家预计，世界对球形硅微粉的需求量将超过30万吨，价值数百亿元。随着我国微电子工业的迅猛发展，大规模、超大规模集成电路对封装材料的要求越来越高，不仅要求其超细，而且要求高纯度，特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种球形二氧化硅的制备方法，其特征在于，包括以下步骤，/na)在电磁波的作用下，使得氧气和悬浮在氧气中的硅粉进行反应后，得到球形纳米二氧化硅；/n所述电磁波的波长为1～150mm。/n

【技术特征摘要】
1.一种球形二氧化硅的制备方法，其特征在于，包括以下步骤，
a)在电磁波的作用下，使得氧气和悬浮在氧气中的硅粉进行反应后，得到球形纳米二氧化硅；
所述电磁波的波长为1～150mm。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧气的压力为0.05～0.5Mpa；
所述悬浮在氧气中的硅粉的浓度为大于等于1g/m3。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述电磁波的功率为1～100KW；
所述反应的时间小于等于5min；
所述反应的温度大于等于400℃。


4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述电磁波的作用具体为感应加热；
所述电磁波可以同时对悬浮在氧气中的硅粉进行沉浸式加热。


5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，通过调节所述电磁波的波长可以调控所述球形二氧化硅的粒径；
所述反应中不包括其他可燃气体。


6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述硅粉包括由原料硅粉经过物理提纯后的硅粉；
所述硅粉包括高纯硅粉；
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【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡昌，刘永，
申请(专利权)人：汤姆逊新材料科技嘉兴有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33