【技术实现步骤摘要】
一种气体传感器及其制备方法
本专利技术实施例涉及气体传感器
，尤其涉及一种气体传感器及其制备方法。
技术介绍
在气体探测系统中会大量使用多种类型的气体传感器。这些传感器因适用的测试条件不同，如测试电压、测试电流等，会被分装为不同的传感器。通常，不同用途的气体传感器的设计都是进行单独封装设计的。这样可以获得多个具有不同功能的气体传感器，但这种单独的设计封装会提高探测系统的维护成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种气体传感器及其制备方法，以实现将多个不同功能的气体传感器集成，降低成本。第一方面，本专利技术实施例提供了一种气体传感器，该气体传感器包括：衬底；至少两个气体传感单元，位于所述半导体衬底上，所述气体传感单元包括异质结，位于所述异质结之上的源极、漏极以及功能性膜层构成的栅极，其中，所述气体传感单元之间的异质结相互隔断，所述功能性膜层用于探测气体，且不同气体传感单元中的功能性膜层能够探测的气体不同；钝化层，覆盖除所述功能性膜层以外的全部器件区域。第二方面，本专利技术...
【技术保护点】
1.一种气体传感器，其特征在于，包括：/n衬底；/n至少两个气体传感单元，位于所述衬底上，所述气体传感单元包括异质结，位于所述异质结之上的源极、漏极以及功能性膜层构成的栅极，其中，所述气体传感单元之间的异质结相互隔断，所述功能性膜层用于探测气体，且不同气体传感单元中的功能性膜层能够探测的气体不同；/n钝化层，覆盖除所述功能性膜层以外的全部器件区域。/n
【技术特征摘要】
1.一种气体传感器，其特征在于，包括：
衬底；
至少两个气体传感单元，位于所述衬底上，所述气体传感单元包括异质结，位于所述异质结之上的源极、漏极以及功能性膜层构成的栅极，其中，所述气体传感单元之间的异质结相互隔断，所述功能性膜层用于探测气体，且不同气体传感单元中的功能性膜层能够探测的气体不同；
钝化层，覆盖除所述功能性膜层以外的全部器件区域。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，各所述气体传感单元的异质结位于同一层且对应膜层的材料相同。
3.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，任意相邻两个所述气体传感单元之间设置有用于隔断所述异质结的隔离槽。
4.根据权利要求3所述的气体传感器，其特征在于，所述钝化层覆盖所述隔离槽的内壁。
5.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，每个所述气体传感单元还包括封装管脚；
所述封装管脚包括与所述栅极电连接的栅极管脚、与所述源极电连接的源极管脚以及与所述漏极电连接的漏极管脚。
6.根据权利要求5所述的气体传感器，其特征在于，各所述气体传感单元中的源极管脚相互电连接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李汶懋，于洪宇，罗伯特·索科洛夫斯基，汪青，何明浩，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：广东;44
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