一种晶圆扩膜机用运输保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了运输箱技术领域的一种晶圆扩膜机用运输保护装置，包括有运输箱，所述运输箱底端左右对称设置有滚轮，所述运输箱内腔中部水平设置有横隔板，本实用新型专利技术通过设计的特制运输箱，能够将多组扩膜机间隔存放，避免多组扩膜机之间相互挤压碰撞，通过在放置腔两侧设置充气气囊，能够有效夹持住扩膜机，且使得扩膜机在横向上有较好的对抗震动的能力，通过设置在横隔板内部的主管道，能够同时为多组气囊充气，且管道分布设计合理美观，占容较小，通过设置的支撑板、复位弹簧以及弹性片，使得装置在纵向上具有减震效果，通过设置的滚轮，使得运输箱本体具有移动性，便于短距离运输或箱体装车。

A transport protection device for wafer expanding machine

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆扩膜机用运输保护装置
本技术涉及运输箱
，具体为一种晶圆扩膜机用运输保护装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆在生产过程中涉及到贴膜、激光切膜、去膜、倒模、扩膜等工艺。为了保证晶圆的晶粒满足检测需求，需要对其进行剔粒操作。但是，由于晶圆各相邻芯粒之间无任何空隙，会导致在剔粒过程中，相邻芯粒出现崩边、划伤的异常问题，严重影响晶圆质量，不利于后续的生产需求。因此，需要对晶圆进行扩膜处理，增大晶粒之间的间隙便于剔粒扩膜机广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产中的晶粒扩张工序。扩膜机是将排列紧密的LED晶片均匀分开，使之更好地植入焊接工件上。它利用LED薄膜的加热可塑性，将单张LED晶片均匀地向四周扩散，达到满意的晶片间隙后自动成型，膜片紧绷不变行，恒温设计，操作简单。因为扩膜机是较为贵重的机械设备，现有技术缺乏专门用于运输扩膜机的保护装置，现有扩膜机运输一般都是将扩膜机存放于一个纸质盒体内，然后将盒体堆积装车，这种搬运方式在运输过程常常因为挤压而导致箱体变形，从而使得箱内的扩膜机受损。基于此，本技术设计了一种晶圆扩膜机用运输保护装置，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆扩膜机用运输保护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的因为扩膜机是较为贵重的机械设备，现有技术缺乏专门用于运输扩膜机的保护装置，现有扩膜机运输一般都是将扩膜机存放于一个纸质盒体内，然后将盒体堆积装车，这种搬运方式在运输过程常常因为挤压而导致箱体变形，从而使得箱内的扩膜机受损的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆扩膜机用运输保护装置，包括有运输箱，所述运输箱底端左右对称设置有滚轮，所述运输箱内腔中部水平设置有横隔板，所述横隔板上下端中部对称设置有竖隔板，所述横隔板与竖隔板将运输箱内腔分隔为多个放置腔，所述放置腔内左右对称设置有侧板，所述侧板相对一侧设置有气囊，所述横隔板内设置有主管道，所述主管道右端贯穿运输箱右侧壁连接有抽送气设备，所述抽送气设备上间隔连接有分管道，所述分管道另一端连接气囊输入端，所述分管道位于侧板相背一侧，所述放置腔顶端中部设置有弹性片，所述放置腔底部水平设置有支撑板，所述支撑板两端与侧板侧板滑动抵接，所述支撑板底端均匀设置有复位弹簧，所述运输箱前侧壁铰接设置有门板，所述门板左侧与运输箱之间设置有锁紧机构。优选的，所述弹性片包括有连接焊片，所述连接焊片底端左右对称设置有弧形金属片。优选的，所述锁紧机构包括有插槽、带孔插板和插销，所述插槽设置于门板左侧，所述带孔插板设置于运输箱开口左边沿，所述带孔插板配合插槽插接，所述插销配合插接带孔插板上的销孔。优选的，所述滚轮为自锁万向轮。优选的，所述支撑板顶端横向设置有防滑纹路。优选的，所述门板内侧面上设置有减震缓冲垫。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过设计的特制运输箱，能够将多组扩膜机间隔存放，避免多组扩膜机之前相互挤压碰撞，通过在放置腔两侧设置充气气囊，能够有效夹持住扩膜机，且使得扩膜机在横向上有较好的对抗震动的能力，通过设置在横隔板内部的主管道，能够同时为多组气囊充气，且管道分布设计合理美观，占容较小，通过设置的支撑板、复位弹簧以及弹性片，使得装置在纵向上具有减震效果，通过设置的滚轮，使得运输箱本体具有移动性，便于短距离运输或箱体装车。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术结构示意图；图2为本技术正视图；图3为本技术A处放大示意图；图4为本技术弹性片结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-运输箱，2-滚轮，3-横隔板，4-竖隔板，5-放置腔，6-侧板，7-气囊，8-主管道，9-抽送气设备，10-分管道，11-弹性片，12-支撑板，13-复位弹簧，14-门板，15-锁紧机构，111-连接焊片，112-弧形金属片，151-插槽，152-带孔插板，153-插销。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆扩膜机用运输保护装置，包括有运输箱1，运输箱1底端左右对称设置有滚轮2，运输箱1内腔中部水平设置有横隔板3，横隔板3上下端中部对称设置有竖隔板4，横隔板3与竖隔板4将运输箱1内腔分隔为多个放置腔5，放置腔5内左右对称设置有侧板6，侧板6相对一侧设置有气囊7，横隔板3内设置有主管道8，主管道8右端贯穿运输箱1右侧壁连接有抽送气设备9，抽送气设备9上间隔连接有分管道10，分管道10另一端连接气囊7输入端，分管道10位于侧板6相背一侧，放置腔5顶端中部设置有弹性片11，放置腔5底部水平设置有支撑板12，支撑板12两端与侧板6侧板滑动抵接，支撑板12底端均匀设置有复位弹簧13，运输箱1前侧壁铰接设置有门板14，门板14左侧与运输箱1之间设置有锁紧机构15。进一步的，弹性片11包括有连接焊片111，连接焊片111底端左右对称设置有弧形金属片112，具有减震保护功能。进一步的，锁紧机构15包括有插槽151、带孔插板152和插销153，插槽151设置于门板14左侧，带孔插板152设置于运输箱1开口左边沿，带孔插板152配合插槽151插接，插销153配合插接带孔插板152上的销孔。进一步的，滚轮2为自锁万向轮。进一步的，支撑板12顶端横向设置有防滑纹路，增加了摩擦系数。进一步的，门板14内侧面上设置有减震缓冲垫，能够减缓碰撞损伤。本实施例的一个具体应用为：本装置为一种晶圆扩膜机用运输保护装置，主要适用于小型扩膜机，使用时，拉动插销153，使得带孔插板152与其分离，再拉开门板14，此时放置腔5内气囊7是压缩状态，按压支撑板12，将扩膜机装载盒放置到放置腔5内，复位弹簧13推动支撑板12上升，使得扩膜机盒被夹紧与弹性片11与支撑板12之间，再启动抽送气设备9，抽送气设备9工作将压力气体通过主管道8以及分管道10进入气囊7内部，气囊7充气膨胀鼓起，逐渐靠近紧贴扩膜机盒，将其稳定夹持，本装置通过在放置腔两侧设置充气气囊，能够有效夹持住扩膜机，且使得扩膜机在横向上有较好的对抗震动的能力，依次装好扩膜机盒之后，盖上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆扩膜机用运输保护装置，包括有运输箱(1)，其特征在于：所述运输箱(1)底端左右对称设置有滚轮(2)，所述运输箱(1)内腔中部水平设置有横隔板(3)，所述横隔板(3)上下端中部对称设置有竖隔板(4)，所述横隔板(3)与竖隔板(4)将运输箱(1)内腔分隔为多个放置腔(5)，所述放置腔(5)内左右对称设置有侧板(6)，所述侧板(6)相对一侧设置有气囊(7)，所述横隔板(3)内设置有主管道(8)，所述主管道(8)右端贯穿运输箱(1)右侧壁连接有抽送气设备(9)，所述抽送气设备(9)上间隔连接有分管道(10)，所述分管道(10)另一端连接气囊(7)输入端，所述分管道(10)位于侧板(6)相背一侧，所述放置腔(5)顶端中部设置有弹性片(11)，所述放置腔(5)底部水平设置有支撑板(12)，所述支撑板(12)两端与侧板(6)侧板滑动抵接，所述支撑板(12)底端均匀设置有复位弹簧(13)，所述运输箱(1)前侧壁铰接设置有门板(14)，所述门板(14)左侧与运输箱(1)之间设置有锁紧机构(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆扩膜机用运输保护装置，包括有运输箱(1)，其特征在于：所述运输箱(1)底端左右对称设置有滚轮(2)，所述运输箱(1)内腔中部水平设置有横隔板(3)，所述横隔板(3)上下端中部对称设置有竖隔板(4)，所述横隔板(3)与竖隔板(4)将运输箱(1)内腔分隔为多个放置腔(5)，所述放置腔(5)内左右对称设置有侧板(6)，所述侧板(6)相对一侧设置有气囊(7)，所述横隔板(3)内设置有主管道(8)，所述主管道(8)右端贯穿运输箱(1)右侧壁连接有抽送气设备(9)，所述抽送气设备(9)上间隔连接有分管道(10)，所述分管道(10)另一端连接气囊(7)输入端，所述分管道(10)位于侧板(6)相背一侧，所述放置腔(5)顶端中部设置有弹性片(11)，所述放置腔(5)底部水平设置有支撑板(12)，所述支撑板(12)两端与侧板(6)侧板滑动抵接，所述支撑板(12)底端均匀设置有复位弹簧(13)，所述运输箱(1)前侧壁铰接设置有门板(14)，所述门板(14)左侧与运输箱(1)之间设置有锁紧机构(15)。

<...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄运军，
申请(专利权)人：上海宏轶电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31