温度调节装置及研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术为温度调节装置及研磨装置，课题在于改善研磨装置中的研磨的面内均匀性。本发明专利技术提供一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，所述温度调节装置具备：传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触。

Temperature regulating device and grinding device

【技术实现步骤摘要】
温度调节装置及研磨装置
本专利技术涉及一种研磨装置以及用于对研磨装置中的研磨垫的温度进行调节的温度调节装置。
技术介绍
以往，在对例如半导体晶片等被研磨物进行研磨的研磨装置中，利用了用于对研磨垫的温度进行调节的温度调节装置。温度调节装置具备传热体，该传热体构成为能够对研磨垫进行冷却或加热，温度调节装置利用臂来支承该传热体而使其与研磨垫接触，由此调节研磨垫的温度(例如参照专利文献1及2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-148933号公报专利文献2：日本专利第4902433号公报若传热体一直被牢固地固定于臂，则有时会导致传热体被以过度的力按压于研磨垫，在那样的情况下，研磨垫上的研磨液的流动被传热体阻碍，其结果是，可能会产生研磨速率的面内均匀性降低的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题而做出的，其目的之一在于改善研磨装置中的研磨的面内均匀性。根据本专利技术的第一方式，提供一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，所述温度调节装置具备：传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及该下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触。根据该方式的温度调节装置，在使臂下降而使传热体与研磨垫已接触时，与上游侧柱部件及下游侧柱部件连接的伸出部件与臂分离。因此，能够使传热体仅利用自身的重量来与研磨垫的表面接触，而不会将其从臂以过度的力按压于研磨垫。由此，能够防止或抑制研磨垫的表面上的研磨液的流动被传热体阻碍，其结果是，能够提高被研磨物上的研磨的面均匀性。另外，在使臂上升而将传热体从研磨垫拉开时，臂会抵接于伸出部件，由此能够抬起传热体。根据本专利技术的第二方式，在第一方式中，在所述传热体接触到所述研磨垫时，所述伸出部件从所述臂已分离。根据该方式的温度调节装置，能够使传热体仅利用自身的重量来与研磨垫的表面接触，而不会将其从臂以过度的力按压于研磨垫。根据本专利技术的第三方式，在第二方式中，在所述臂与所述伸出部件接触时，所述传热体从所述研磨垫分离。根据该方式的温度调节装置，通过臂抵接于伸出部件，能够将传热体从研磨垫抬起。根据本专利技术的第四方式，在第一方式中，所述上游侧柱部件能够与所述臂的第一侧面和第二侧面中的一方接触，所述下游侧柱部件能够与所述臂的所述第一侧面和所述第二侧面中的另一方接触，所述第一侧面是朝向所述旋转的上游侧的面，所述第二侧面是朝向所述旋转的下游侧的面。根据该方式的温度调节装置，通过上游侧柱部件及下游侧柱部件与臂的第一侧面及第二侧面接触，能够将传热体与臂在与研磨垫平行的面内的相对移动限制在规定范围。由此，能够将传热体的研磨垫上的位置保持在规定位置附近。根据本专利技术的第五方式，在第四方式中，所述上游侧柱部件和所述下游侧柱部件中的至少一方能够与所述臂的第三侧面接触，所述上游侧柱部件和所述下游侧柱部件中的至少一方能够与所述臂的第四侧面接触，所述第三侧面是朝向所述研磨垫的半径方向的内周侧的面，所述第四侧面是朝向所述研磨垫的半径方向的外周侧的面。根据该方式的温度调节装置，通过上游侧柱部件及下游侧柱部件与臂的第三侧面及第四侧面接触，能够将传热体与臂在与研磨垫平行的面内的相对移动限制在规定范围。由此，能够将传热体的研磨垫上的位置保持在规定位置附近。根据本专利技术的第六方式，在第四或第五方式中，所述上游侧柱部件及所述下游侧柱部件限制所述传热体与所述臂在与所述传热体的上表面平行的方向上的相对移动。根据该方式的温度调节装置，能够将传热体的研磨垫上的位置保持在规定位置附近。根据本专利技术的第七方式，在第一方式中，所述臂的与所述伸出部件接触的部分由弹性部件构成。根据该方式的温度调节装置，在将传热体从研磨垫抬起时，能够缓和伸出部件与臂的接触的冲击。根据本专利技术的第八方式，在第四或第五方式中，所述臂的与所述上游侧柱部件或所述下游侧柱部件接触的部分由弹性部件构成。根据该方式的温度调节装置，能够缓和臂与上游侧柱部件及下游侧柱部件的接触的冲击。根据本专利技术的第九方式，在第一方式中，所述伸出部件在所述研磨垫的半径方向上延伸。根据该方式的温度调节装置，臂能够借助伸出部件来保持传热体。根据本专利技术的第十方式，在第一方式中，在所述传热体与所述研磨垫接触时，所述上游侧柱部件上的所述伸出部件与所述臂之间的高度方向的间隙与所述下游侧柱部件上的所述伸出部件与所述臂之间的高度方向的间隙不同。根据该方式的温度调节装置，在为了将传热体从研磨垫拉开而使臂进行了上升时，臂会首先抵接于上游侧柱部件和下游侧柱部件中的一方上的伸出部件，因此与将整个传热体均等地抬起的情况相比，能够以较小的力将传热体从研磨垫剥离。根据本专利技术的第十一方式，在第十方式中，在所述传热体与所述研磨垫接触时，所述上游侧柱部件上的所述伸出部件与所述臂之间的高度方向的间隙比所述下游侧柱部件上的所述伸出部件与所述臂之间的高度方向的间隙小。根据该方式的温度调节装置，在为了将传热体从研磨垫拉开而使臂进行了上升时，臂会首先抵接于上游侧柱部件上的伸出部件，因此与将整个传热体均等地抬起的情况相比，能够以较小的力来将传热体从研磨垫剥离。另外，研磨液容易从研磨垫的上游侧进入到传热体与研磨垫之间，因此能够更进一步减小将传热体从研磨垫剥离所需的力。根据本专利技术的第十二方式，在第十一方式中，所述上游侧柱部件的直径比所述下游侧柱部件的直径大。根据该方式的温度调节装置，在臂抵接于上游侧柱部件上的伸出部件而传热体被从研磨垫剥离的瞬间，比被剥离了之后大的力会暂时地施加于上游侧柱部件，但能够通过直径大的上游侧柱部件来对抗该力。根据本专利技术的第十三方式，在第一方式中，所述上游侧柱部件以及所述下游侧柱部件配置于所述臂的周围。根据该方式的温度调节装置，能够将传热体与臂在与研磨垫平行的面内的相对移动限制在规定范围，从而将传热体的研磨垫上的位置保持在规定位置附近。根据本专利技术的第十四方式，在第一方式中，所述上游侧柱部件及所述下游侧柱部件配置在设置于所述臂的贯通孔中。根据该方式的温度调节装置，能够将传热体与臂在与研磨垫平行的面内的相对移动限制在规定范围，从而将传热体的研磨垫上的位置保持在规定位置附近。根据本专利技术的第十五方式，在第一方式中，温度调节装置还具备用于使所述传热体上下移动的可动机构。根据该方式的温度调节装置，能够使传热体下降而与研磨垫接触，并且能够将传热体向上方抬起而从研磨垫拉开。根据本专利技术的第十六方式，在第十五方式中，所述可动机构还能够使所述传热体在水平方向上移动。根据该方式的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，其特征在于，具备：/n传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；/n臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；/n上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及该下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及/n伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，/n所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触。/n

【技术特征摘要】
20181128 JP 2018-2222661.一种温度调节装置，用于对旋转的研磨垫的温度进行调节，其特征在于，具备：
传热体，该传热体能够与所述研磨垫的上表面接触；
臂，该臂用于将所述传热体保持在所述研磨垫上；
上游侧柱部件及下游侧柱部件，该上游侧柱部件及该下游侧柱部件是竖立设置于所述传热体的上表面的柱部件，分别配置于成为所述研磨垫的旋转的上游侧的位置和成为所述研磨垫的旋转的下游侧的位置；以及
伸出部件，该伸出部件从所述上游侧柱部件及下游侧柱部件沿与所述传热体的上表面平行的方向伸出，
所述伸出部件能够与所述臂的上表面接触。


2.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
在所述传热体接触到所述研磨垫时，所述伸出部件已从所述臂分离。


3.根据权利要求2所述的温度调节装置，其特征在于，
在所述臂与所述伸出部件接触时，所述传热体从所述研磨垫分离。


4.根据权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，
所述上游侧柱部件能够与所述臂的第一侧面和第二侧面中的一方接触，
所述下游侧柱部件能够与所述臂的所述第一侧面和所述第二侧面中的另一方接触，
所述第一侧面是朝向所述旋转的上游侧的面，
所述第二侧面是朝向所述旋转的下游侧的面。


5.根据权利要求4所述的温度调节装置，其特征在于，
所述上游侧柱部件和所述下游侧柱部件中的至少一方能够与所述臂的第三侧面接触，
所述上游侧柱部件和所述下游侧柱部件中的至少一方能够与所述臂的第四侧面接触，
所述第三侧面是朝向所述研磨垫的半径方向的内周侧的面，
所述第四侧面是朝向所述研磨垫的半径方向的外周侧的面。


6.根据权利要求4或5所述的温度调节装置，其特征在于，
所述上游侧柱部件及所述下游侧柱部件限制所述传热体与所述臂在与所述传热体的上表面平行的方向上的相对移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：本岛靖之，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP