基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法技术

本发明专利技术公开了一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法，包括以下步骤：流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；判定本圈内本段定时时间是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束。

A single turn sectioning method of resonant frequency of quartz wafer based on rotation speed judgment

【技术实现步骤摘要】
基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法此申请专利为2019年03月27日提交的申请号为201910240598.4，名称为基于晶片区分的石英晶片谐振频率及散差统计方法的分案申请。
本专利技术属于晶片研磨在线测频
，具体涉及一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法。
技术介绍
现有技术中谐振频率和散差统计机制及自动搜索方法如下：(1)谐振频率瞬时值存储数组用于存储每次测到晶片的瞬时谐振频率，该数组内所有数据的平均值用于与目标频率比较，当达到目标频率次数超过设定值时，关停研磨机；(2)用于求实时谐振频率(谐振频率平均值)的谐振频率瞬时值存储数组大小为固定值，数据存储采用堆栈先进先出的方式；(3)一圈内所有瞬时谐振频率踢除最值后，用标准差滤波后再求极值作为本盘晶片的散差；(4)当前自动搜索在全频段分段搜索谐振频率，在指定的时间内搜索到的谐振频率次数超过设定值，即认为搜索成功。现有技术存在如下问题：如，自动搜索过程中，当前自动搜索方法通过指定时间测到的谐振频率次数大于设定值即认为自动搜索成功，若自动搜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法，其特征在于，包括以下步骤：/n流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；/n判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；/n判定本圈内本段定时时间到是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；/n判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；/n判定是否需要停机，若是，关停...

【技术特征摘要】
1.一种基于转速判断的石英晶片谐振频率的单圈分段方法，其特征在于，包括以下步骤：
流程开始，判断本次扫频采样是否完成，若已完成，进入晶片区分和数据处理流程，完成后，进入连续圈转速是否稳定判断流程；若未完成，进入连续圈转速是否稳定判断流程；
判定连续圈转速是否稳定，若是，进一步判定本圈内本段定时时间是否到；若否，进行圈数进入判定；
判定本圈内本段定时时间到是否到，若是，进行本圈内本段定时时间到数据处理流程；若否，进行圈数进入判定；
判定是否圈数进入，若是，进入转速稳定判断流程和本圈数据结束处理流程，然后进入实时频率处理流程；若否，直接进入实时频率处理流程；
判定是否需要停机，若是，关停研磨机，流程结束；若否，判定数据发送定时时间是否到，若是，将谐振频率平均值发送到触摸屏显示，进入新一轮流程；若否，直接进入新一轮流程，
所述晶片区分和数据处理流程如下：
流程开始，基于波形匹配方法求谐振频率；
判断是否检测到谐振频率，若无，继续判断连续未测到谐振频率次数Y是否大于未测到谐振频率次数设定阈值N，若是，继续判断连续测到谐振频率次数X是否大于连续测到谐振频率次数设定阈值M，若是，连续测到谐振频率后连续未测到谐振频率次数Y’+1，继续判断连续测到谐振频率后连续未测到谐振频率次数Y’是否大于未测到谐振频率次数设定阈值N，若是，进行以下步骤：(a)进行单片晶片谐振频率处理方法；进行测到谐振频率堆栈处理方法；(b)1圈测到晶片数+1；1圈测到谐振频率数+X；计算片内散差；(c)X＝0，Y＝Y’，Y’＝0后结束处理流程；判断流程中，若Y不大于N，且X不大于M，则进行以下设定：X＝0，Y++，Y’＝0；若Y’不大于N，则结束处理流程；
若检测到谐振频率，继续判断连续未测到谐振频率次数Y是否大于未测到谐振频率次数设定阈值N，若是，进行以下步骤：存储谐振频率瞬时值，记录谐振频率时间点，X++，Y’＝0；若否，进行以下步骤：X＝0，Y++，Y’＝0，
所述单片晶片谐振频率处理方法具体如下：
对单片晶片所有谐振所有频率求平均值；
对单片瞬时谐振频率数组采用冒泡排序法排序；
判定数据个数是否大于设定值，若是，进行以下步骤：求标准差，根据标准差及设定系数对数据进行过滤，对剩余的数据求平均值后作为该片的频率值，数据滤波后的最大值和最小值的差值作为单片散差；若否，取所有数据的平均值后作为该片的频率值，原始数据最大值和最小值的差值作为单片散差，
所述测到谐振频率堆栈处理方法具体如下：
设定圈数内转速稳定判断结果标志位TurnsStableFlag，该标志位在有圈数进入时进行判断设定；
a)TurnsStableFlag＝0，转速不稳定；
b)TurnsStableFlag＝1，转速稳定；
c)TurnsStableFlag＝2，转速从不稳定进入稳定的第一圈；...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘凌锋，郭彬，陈一信，陈浙泊，白振兴，
申请(专利权)人：浙江大学台州研究院，
类型：发明
国别省市：浙江;33