【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备用石英晶体探头挡板机构
本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种真空镀膜设备用石英晶体探头挡板机构。
技术介绍
镀膜的过程实际就是让靶材成分的物质在一定的条件下按照一定的成膜速率溅射（或沉积）在符合条件的基片上。对于膜层质量的影响是多方面的，比如真空设备本底真空度、基片质量、沉积源性能控制，温度控制等，这些条件保障镀膜工艺的稳定性。生产过程中工艺人员通过膜层性能的各种监测设备反馈的参数来调整一系列的工艺参数最终生产出符合要求的镀膜产品，其中膜层厚度的监测非常关键。石英晶体检测是常用的一种控制膜层厚度的方法，在使用过程中为了延长石英晶体的寿命，也为了满足工艺的要求，要对探头进行适时的遮挡。目前探头的挡板机构一般是气动的，气动执行元件和探头紧靠放置在真空腔室内部，气动元件存在漏气影响工艺腔体真空度的风险，并且价格昂贵。
技术实现思路
本技术采用的技术方案如下：真空镀膜设备用石英晶体探头挡板机构，包括安装在真空腔室内部的检测仪探头，检测仪探头连接有水冷管，在真空腔室内部还固定有挡板安装板，在挡板安装板上设...
【技术保护点】
1.真空镀膜设备用石英晶体探头挡板机构，包括安装在真空腔室内部的检测仪探头，检测仪探头连接有水冷管，其特征在于，在真空腔室内部还固定有挡板安装板，在挡板安装板上设有与检测仪探头相对应的掩遮挡板，掩遮挡板通过安装块与挡板安装板铰接，安装块的另一端铰接有挡板推杆，挡板推杆穿过真空腔室壁延伸至真空腔室外部，挡板推杆通过高真空焊接波纹管和真空腔室壁密封连接，并通过转接板与驱动气缸连接。/n
【技术特征摘要】
1.真空镀膜设备用石英晶体探头挡板机构，包括安装在真空腔室内部的检测仪探头，检测仪探头连接有水冷管，其特征在于，在真空腔室内部还固定有挡板安装板，在挡板安装板上设有与检测仪探头相对应的掩遮挡板，掩遮挡板通过安装块与挡板安装板铰接，安装块的另一端铰接有挡板推杆，挡板推杆穿过真空腔室壁延伸至真空腔室外部，挡板推杆通过高真空焊接波纹管和真空腔室壁密封连接，并通过转接板与驱动气缸连接。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国利，周毅，李国强，
申请(专利权)人：湖南玉丰真空科学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43
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