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本实用新型公开了一种真空镀膜设备用石英晶体探头挡板机构，包括安装在真空腔室内部的检测仪探头，检测仪探头连接有水冷管，在真空腔室内部还固定有挡板安装板，在挡板安装板上设有与检测仪探头相对应的掩遮挡板，掩遮挡板通过安装块与挡板安装板铰接，安装块...
该专利属于湖南玉丰真空科学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南玉丰真空科学技术有限公司授权不得商用。

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