一种线性蒸发源机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种线性蒸发源机构：包括坩埚腔室，坩埚腔室下方均匀分隔着若干个独立的点源坩埚，所述坩埚腔室上方两侧设有可升降的限制板，所述限制板顶端连接着角度板，两侧角度板的方向指向二者之间上方的中间位置。通过机构中限制板的上下升降，来改变蒸镀气流在坩埚腔室内的行程，从而增加蒸发气流的混合时间，改善混合气流均匀性，同时通过调节角度板的角度来调节蒸发气流喷射角，使得蒸发气流预先混合均匀后再均匀沉积到基板表面，进而不仅改善膜层厚度不良，也可以减轻阴影效应问题。

A linear steam source mechanism

【技术实现步骤摘要】
一种线性蒸发源机构
本技术涉及OLED蒸镀设备
，特别是一种线性蒸发源机构。
技术介绍
有机电致发光显示器件(OLED)可以通过蒸镀设备制作得到，其主要用到的蒸发源由最初的点蒸发源发展到线性蒸发源，利用线性蒸发源蒸发镀膜形成OLED器件结构。而在蒸发材料镀膜时，由于基板和掩膜板之间存在一定的空隙，升华的有机材料分子会在预设的蒸镀区域之外进行沉积造成掩膜阴影效应，同时由于蒸发气流的喷射角度问题，造成膜层厚度不均匀性(一般膜厚会呈现出中间厚，两边薄)，而膜层厚度不良会影响CIE数据(一种色彩描述标准)，进而直接影响OLED产品的品质。
技术实现思路
为此，需要提供一种线性蒸发源机构，解决现有蒸镀设备造成的膜层厚度不均匀的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种线性蒸发源机构，包括坩埚腔室，坩埚腔室下方均匀分隔着若干个独立的点源坩埚，所述坩埚腔室上方两侧设有可升降的限制板，所述限制板顶端连接着角度板，两侧角度板的方向指向二者之间上方的中间位置。进一步地，所述限制板顶端与角度板的连接为活动连接进一步地，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线性蒸发源机构，包括坩埚腔室，坩埚腔室下方均匀分隔着若干个独立的点源坩埚，其特征在于，所述坩埚腔室上方两侧设有可升降的限制板，所述限制板顶端连接着角度板，两侧角度板的方向指向二者之间上方的中间位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源机构，包括坩埚腔室，坩埚腔室下方均匀分隔着若干个独立的点源坩埚，其特征在于，所述坩埚腔室上方两侧设有可升降的限制板，所述限制板顶端连接着角度板，两侧角度板的方向指向二者之间上方的中间位置。


2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源机构，其特征在于，所述限制板顶端与角度板的连接为活动连接。


3.根据权利要求2所述的一种线性蒸发源机构，其特征在于，所述活动连接为铰链连接。


4.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄逸臻，王海燕，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35